一种MOCVD内置吸尘器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种MOCVD内置吸尘器，涉及MOCVD技术领域。该一种MOCVD内置吸尘器，包括底板，所述底板上侧的中部设置有安装机构，所述底板右端的上侧固定连接有支撑块，所述安装机构的上侧设置有吸尘器本体，所述吸尘器本体的右侧固定连接有吸入管，所述底板左端的上侧设置有稳固机构。本实用新型专利技术中，通过设置有安装槽、安装块、夹块、螺杆、螺纹杆、压板一与压板，使吸尘器本体的拆卸效率增加，便于工作人员后期进行维修，增加工作人员的维修效率，减少工作人员的工作量。减少工作人员的工作量。减少工作人员的工作量。

【技术实现步骤摘要】
一种MOCVD内置吸尘器


[0001]本技术涉及MOCVD
，尤其涉及一种MOCVD内置吸尘器。

技术介绍

[0002]MOCVD是金属有机物化学气相淀积，采用将液态源送入汽化室得到气态源物质，再经过流量控制送入反应室，或者直接向反应室注入液态先体，在反应室内汽化和沉积，这种方式的优点是简化了源输送方式，对材料的要求降低，便于实现多种薄膜的交替沉积以获得超品格结构等
[0003]经过检索，申请号为“201320559697.7”，提供了MOCVD内置吸尘器，MOCVD内置吸尘器滤网不易堵塞，清洗效率较高，维护使用成本较低，使用寿命较长。但仍存在不足，集尘箱固定在手套箱内部，不容易拆卸掉集尘箱掉将灰尘取出，不便于后期维修人员对集尘箱进行检修。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种MOCVD内置吸尘器。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种MOCVD内置吸尘器，包括底板，所述底板上侧的中部设置有安装机构，所述底板右端的上侧固定连接有支撑块，所述安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MOCVD内置吸尘器，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上侧的中部设置有安装机构(3)，所述底板(1)右端的上侧固定连接有支撑块(2)，所述安装机构(3)的上侧设置有吸尘器本体(4)，所述吸尘器本体(4)的右侧固定连接有吸入管(5)，所述底板(1)左端的上侧设置有稳固机构(6)；所述安装机构(3)包括夹块(302)，所述夹块(302)固定连接在底板(1)左右两端的上侧，所述底板(1)的上侧且位于夹块(302)的左右两侧均开设有安装槽(301)，所述安装槽(301)的内侧设置有安装块(303)，左右两侧所述夹块(302)之间设置有螺杆(304)；所述稳固机构(6)包括固定板(601)，所述固定板(601)固定连接在底板(1)左端的上侧，所述固定板(601)的右侧开设有滑槽(602)，所述滑槽(602)的内侧滑动连接有滑板(603)，所述滑板(603)的右侧固定连接有升降板(604)，所述升降板(604)右端的下侧固定连接有压板二(611)，是升降板(604)下侧的中部固定连接有固定杆(608)，所述固定杆(608)的下侧固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈凯辉，陈亮，
申请(专利权)人：申集半导体科技徐州有限公司，
类型：新型
国别省市：