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本实用新型公开了一种MOCVD内置吸尘器,涉及MOCVD技术领域。该一种MOCVD内置吸尘器,包括底板,所述底板上侧的中部设置有安装机构,所述底板右端的上侧固定连接有支撑块,所述安装机构的上侧设置有吸尘器本体,所述吸尘器本体的右侧固定连接有...该专利属于申集半导体科技(徐州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过申集半导体科技(徐州)有限公司授权不得商用。
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