一种晶圆裁切固定装置制造方法及图纸

本申请公开一种晶圆裁切固定装置，属于晶圆生产制造加工技术领域，其包括支撑台，支撑台的顶端固定连接有支架，支架远离支撑台的一端固定连接有安装板，安装板的底端固定安装有气缸，气缸的输出端外侧固定连接有卡环，卡环的正表面固定连接有排水管，排水管的底端中部接通有进水管，进水管为伸缩软管，支撑台的后表面开设有放置槽，放置槽的内部固定连接有水箱，水箱的内部固定安装有水泵；本申请通过在放置槽内部放置水箱，在水箱内部安装水泵，水泵通过抽水管将水箱内部的水抽取并排进进水管内部，水经由进水管排进排水管内部，从而排出，在切割时，排出的水对切割晶圆所产生的粉尘进行降尘处理。尘进行降尘处理。尘进行降尘处理。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆裁切固定装置


[0001]本申请涉及晶圆生产制造加工
，尤其涉及一种晶圆裁切固定装置。

技术介绍

[0002]在晶圆生产制造的过程中，经常需要对晶圆进行裁切，在对晶圆进行裁切前，需要将待裁切的晶圆固定。
[0003]已经公布的公开号为CN208674090U的专利文件中，公开了一种晶圆裁切固定装置，包括底板和边框，其中所述底板用于放置待裁切的晶圆，且所述底板在所述晶圆的裁切过程中发生的形变量小于一阈值，且所述底板在所述晶圆的裁切过程中发生的形变量小于一阈值；所述边框设置于所述底板上，所述边框围成的区域用于放置晶圆，并且对晶圆进行限位。上述晶圆裁切固定装置使用底板和边框固定待裁切的晶圆，由于底板在所述晶圆的裁切过程中发生的形变量小于一阈值，在所述晶圆的裁切过程中底板不易发生形变，因此采用上述晶圆裁切固定装置固定晶圆时，能够提高对晶圆的固定精度，从而提高晶圆的裁切精度，降低晶圆在裁切过程中发生偏移、产生缺口的可能性。
[0004]但是晶圆在通过以上装置固定后进行切割时，由于晶圆是通过硅制造而成的，所以与切割片接触时，会本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆裁切固定装置，包括支撑台（1），其特征在于，所述支撑台（1）的顶端固定连接有支架（2），所述支架（2）远离所述支撑台（1）的一端固定连接有安装板（3），所述安装板（3）的底端固定安装有气缸（4），所述气缸（4）的输出端外侧固定连接有卡环（5），所述卡环（5）的正表面固定连接有排水管（6），所述排水管（6）的底端中部接通有进水管（7），所述进水管（7）为伸缩软管，所述支撑台（1）的后表面开设有放置槽（17），所述放置槽（17）的内部固定连接有水箱（18），所述水箱（18）的内部固定安装有水泵（20），所述水泵（20）的一端接通有抽水管（21），所述水泵（20）的顶端接通于所述进水管（7），且所述进水管（7）贯穿所述水箱（18）设置，所述支撑台（1）的顶端贯穿开设有连接槽，所述连接槽内部固定连接有漏网（22），所述水箱（18）位于所述漏网（22）的下方设置。2.根据权利要求1所述的一种晶圆裁切固定装置，其特征在于，所述漏网（22）的底端固定连接有斜板（23），且所述斜板（23）呈倾斜状设置，所述斜板（23）倾斜向下的一端与所述水箱（18）的顶端相接触。3.根据权利要求1所述的一种晶圆裁切固定装置，其特征在于，所述水箱（18）的内部固定连接有过滤板（19），且所述过滤板（19）位于所述水泵（20）的一侧设置。4.根据权利要求1所述的一种晶圆裁切固定装置，其特征在于，所述气缸（4）的输出端固定连接有上夹板（8），所述漏网（22）的顶端固定连接有下夹板（9）。5.根据权利要求4所述的一种晶圆裁切固定装置，其特征在于，所述支撑台（1）的正表面两侧固定连接有固定架（11），两组所述固定架（11）的相对侧之间转动连接有螺杆（12），所述固定架（11）远离所述螺杆（12）的一侧固定安装有电机（10），且所述电机...

【专利技术属性】
技术研发人员：江子标，刘贺，
申请(专利权)人：江苏铨力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：