下载一种晶圆裁切固定装置的技术资料

文档序号:36761777

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本申请公开一种晶圆裁切固定装置,属于晶圆生产制造加工技术领域,其包括支撑台,支撑台的顶端固定连接有支架,支架远离支撑台的一端固定连接有安装板,安装板的底端固定安装有气缸,气缸的输出端外侧固定连接有卡环,卡环的正表面固定连接有排水管,排水管的...
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