【技术实现步骤摘要】
一种芯片的夹持装置
[0001]本技术涉及芯片分选
，具体涉及一种芯片的夹持装置。
技术介绍
[0002]晶圆通常作为芯片的载体。在同一张晶圆的芯片都是紧密排列在一起，而芯片本身很小，但由于量多，且多个芯片通过粘贴或其他方式固定在晶圆上，而为了方便后续加工，一般会对先对晶圆上的芯片进行分选，而在分选时需要将未分选的晶圆上的芯片夹持到另一个分选之后的晶圆上，若未分选的晶圆夹持不可靠的话将会影响整个分选效果以及分选效率。
[0003]现有技术如中国专利申请号CN201310007497.5，公告日为2015.09.02，其公开了一种全自动晶粒分选设备及全自动晶粒分选方法，具体公开了由晶圆工作台、分选工作台、运输传送系统、晶圆工作台推送装置、分选工作台推送装置、摆臂机构、芯片分选料库，通过运输传送系统将盘片在工作台、推送装置及芯片分料库三者之间自如进出进行取放，实现了全自动晶粒分选，同时运输传送系统具有两个缓冲区位置，能够减少待分选盘片与分选结束后的盘片之间的交换时间，进而加快晶粒分选时间和效率，但是该结构中仅仅是将...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种芯片的夹持装置，包括用于存放晶圆的第一晶圆存放装置，其特征在于：所述第一晶圆存放装置包括第一存放驱动组件和第一存放架；所述第一存放架包括第一存放连接板和第一晶圆存放板，所述第一存放连接板固定在第一存放驱动组件上且第一存放驱动组件驱动第一存放连接板移动以及升降，在第一存放连接板上设有第一晶圆存放板，所述第一晶圆存放板上对应晶圆上芯片放置区域开设有通槽，在通槽两侧的第一晶圆存放板上设有第一晶圆固定组件，所述晶圆通过第一晶圆固定组件固定在第一晶圆存放板上。2.根据权利要求1所述的一种芯片的夹持装置，其特征在于：所述第一存放驱动组件包括第一存放移动部和第一存放升降部，所述第一存放升降部设置在第一存放移动部上，第一存放架设置在第一存放升降部上，所述第一存放移动部驱动第一存放升降部进行水平移动设置，所述第一存放升降部驱动第一存放架进行升降设置。3.根据权利要求2所述的一种芯片的夹持装置，其特征在于：所述第一存放移动部包括固定连接座、第一移动电机、第一移动导轨、第一移动丝杆、第一移动滑块和第一移动导轨滑块，第一移动电机设置在固定连接座的底部，所述第一移动丝杆的一端固定在第一移动电机的驱动轴上，第一移动丝杆的另一端通过第一移动丝杆轴承座连接固定连接座的底部，在第一移动丝杆的两侧设有固定在固定连接座底部的第一移动导轨，在第一移动导轨上设有第一移动导轨滑块，在第一丝杆上设有第一移动滑块，所述第一存放升降部与第一移动滑块连接。4.根据权利要求2所述的一种芯片的夹持装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：冼志军，徐文斌，钱兴健，尹军强，潘水江，
申请(专利权)人：广州蓝海机器人系统有限公司，
类型：新型
国别省市：
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