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本实用新型提供一种芯片的夹持装置，包括第一晶圆存放装置和设置在第一晶圆存放装置上的晶圆，所述第一晶圆存放装置包括第一存放驱动组件和第一存放架；所述第一存放架包括第一存放连接板和第一晶圆存放板，所述第一晶圆存放板中心开设有通槽，在通槽两侧的第...
该专利属于广州蓝海机器人系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州蓝海机器人系统有限公司授权不得商用。

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