搬运装置及半导体设备制造方法及图纸

本申请涉及晶圆运输技术领域，尤其涉及一种搬运装置及半导体设备。该搬运装置包括回转机构、升降机构和伸缩机构，伸缩机构设置于回转机构的一侧，且回转机构用于带动伸缩机构以Z轴为中心轴旋转，升降机构设于回转机构背向伸缩机构的一侧，升降机构用于带动回转机构沿Z轴方向升降，伸缩机构包括多个依次转动连接的连接臂，位于一端部的连接臂转动连接于回转机构，回转机构与位于端部的连接臂的连接处、各个连接臂的连接处均设置有用于磁力密封的磁性密封结构。该搬运装置及半导体设备解决了现有技术洁净度较低、整体结构不够紧凑、占用空间较大的技术问题。空间较大的技术问题。空间较大的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
搬运装置及半导体设备


[0001]本申请涉及晶圆运输
，尤其涉及一种搬运装置及半导体设备。

技术介绍

[0002]现如今，现代工业产品和现代科学实验活动更偏向于微型化、精密化、高质量和高可靠性，特别是随着半导体制造业的迅速发展，还越来越要求半导体元器件要在相当高的洁净度环境下加工，在这种洁净度相当高的环境下搬运半导体元器件，首先要求搬运设备不能产生超出洁净度等级的污染物，其次要求搬运设备本身也要有很高的密封程度，同时还要满足整机的微型化、精密化、高质量和高可靠性等，具体需满足整机的结构紧凑，所占空间小、运动灵活可靠、重复定位精度高等要求。然而，传统的机械手洁净等级较低，其在运转过程中产生的污染物会污染到半导体元器件，导致半导体元器件被污染无法使用，浪费资源，效率较低，显然，人工、传统的机械手根本不满足高洁净环境的要求。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供了一种搬运装置及半导体设备，以解决现有技术洁净度较低、整体结构不够紧凑、占用空间较大的技术问题。
[0004]第一方面，本申请提供的搬运装置，包括：
[0005]伸缩机构；
[0006]回转机构，所述伸缩机构设置于所述回转机构的一侧，且所述回转机构用于带动所述伸缩机构以Z轴为中心轴旋转；
[0007]升降机构，设于所述回转机构背向所述伸缩机构的一侧，所述升降机构用于带动所述回转机构沿Z轴方向升降；
[0008]其中，所述伸缩机构包括多个依次转动连接的连接臂，位于一端部的所述连接臂转动连接于所述回转机构，所述回转机构与位于端部的所述连接臂的连接处、各个所述连接臂的连接处均设置有用于磁力密封的磁性密封结构。
[0009]进一步的，所述伸缩机构至少包括依次转动连接的第一连接臂、第二连接臂和第三连接臂；
[0010]所述第一连接臂的相对两端分别为相互传动连接的第一主动端和第一从动端，所述第二连接臂的相对两端分别为相互传动连接的第二主动端和第二从动端；
[0011]所述第一主动端与所述回转机构转动连接；所述第一从动端与所述第二主动端同轴旋转连接，所述第三连接臂的第一连接端与所述第二从动端同轴旋转连接，所述第二连接臂与所述第一连接臂的旋转方向相反，所述第三连接臂与所述第二连接臂的旋转方向相反。
[0012]进一步的，所述第一主动端和所述第一从动端分别设置有相互传动连接的第一主动轮和第一从动轮，所述第二主动端和所述第二从动端分别设置有相互传动连接的第二主动轮和第二从动轮，所述第二主动轮和所述第一从动轮同轴旋转连接，所述第一连接端与
所述第二从动轮同轴旋转连接，所述第一主动轮与所述回转机构旋转连接。
[0013]更进一步的，所述第一主动轮和所述第一从动轮通过第一同步带传动连接，所述第二主动轮和所述第二从动轮通过第二同步带传动连接；
[0014]所述第一主动轮和所述第一从动轮的传动比为1:2，所述第二主动轮和所述第二从动轮的传动比为2:1。
[0015]进一步的，所述回转机构包括回转平台，所述第一主动端位于所述回转平台上方并与所述回转平台转动连接，所述升降机构位于所述回转平台的下方，所述回转平台与所述第一主动端的连接处、所述第一从动端和所述第二主动端的连接关节处、所述第二从动端与所述第一连接端的连接关节处均包覆设有所述磁性密封结构。
[0016]更进一步的，所述升降机构包括升降电机、与所述升降电机驱动连接的直线模组、与所述直线模组滑动相连的升降连杆和与所述升降连杆相连的升降平台，所述直线模组用于带动所述升降连杆沿其直线升降方向往复运动。
[0017]更进一步的，所述升降机构包括至少三个竖直设置的所述直线模组，各所述直线模组沿周向间隔布置；和/或
[0018]所述升降机构还包括底板，所述升降电机和所述直线模组安装于所述底板。
[0019]进一步的，所述回转机构还包括回转电机与回转减速器件，所述回转电机与所述回转减速器件传动连接并均安装于所述升降平台面向所述伸缩机构的一侧，所述回转减速器件连接于所述回转平台并用于带动所述回转平台以Z轴为中心轴旋转。
[0020]进一步的，所述伸缩机构还包括设于所述回转平台的伸缩电机、与所述伸缩电机驱动连接的伸缩减速器件，所述伸缩电机驱动所述伸缩减速器件进行转速的转换，所述伸缩减速器件与所述第一主动端相连接并用于带动所述第一主动端旋转。
[0021]第二方面，本申请提供的半导体设备包括前述任一项所述的搬运装置。
[0022]与现有技术相比，本申请提供的搬运装置及半导体设备，该搬运装置包括伸缩机构、用于带动伸缩机构以Z轴为中心轴旋转的回转机构以及用于带动回转机构沿Z轴方向升降的升降机构，该伸缩机构设置于回转机构的一侧，升降机构设于回转机构背向伸缩机构的一侧；其中，伸缩机构包括至少三个依次转动连接的连接臂，且位于一端部的连接臂转动连接于回转机构上，使该搬运装置整体结构紧凑，占用空间较小；回转机构与位于一端部的连接臂的连接处、各连接臂的连接处均包覆设置有磁性密封结构进行磁力密封，有效防止连接处的轴承等结构内油污泄漏，同时对结构连接处的缝隙进行密封隔绝，利用磁力密封的作用，使各个关节连接处的零件之间处于密封状态，达到较好的密封效果，提高设备洁净度。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本申请实施例所提供的搬运装置的结构示意图；
[0025]图2为本申请实施例所提供的搬运装置的侧面剖视图；
[0026]图3为本申请一种实施例所提供的伸缩机构的侧面剖视图；
[0027]图4为本申请另一种实施例所提供的伸缩机构的侧面剖视图；
[0028]图5为本申请实施例所提供的伸缩机构的示意图。
[0029]附图标记：
[0030]10
‑
伸缩机构；
[0031]11
‑
第一连接臂；
[0032]111
‑
第一主动轮；
[0033]112
‑
第一从动轮；
[0034]113
‑
第一同步带；
[0035]12
‑
第二连接臂；
[0036]121
‑
第二主动轮；
[0037]122
‑
第二从动轮；
[0038]123
‑
第二同步带；
[0039]13
‑
第三连接臂；
[0040]131
‑
第一连接端；
[0041]132
‑
抓取端；
[0042]14
‑
磁性密封结构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搬运装置，其特征在于，包括：伸缩机构；回转机构，所述伸缩机构设置于所述回转机构的一侧，且所述回转机构用于带动所述伸缩机构以Z轴为中心轴旋转；升降机构，设于所述回转机构背向所述伸缩机构的一侧，所述升降机构用于带动所述回转机构沿Z轴方向升降；其中，所述伸缩机构包括多个依次转动连接的连接臂，位于一端部的所述连接臂转动连接于所述回转机构，所述回转机构与位于端部的所述连接臂的连接处、各个所述连接臂的连接处均设置有用于磁力密封的磁性密封结构。2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述伸缩机构至少包括依次转动连接的第一连接臂、第二连接臂和第三连接臂；所述第一连接臂的相对两端分别为相互传动连接的第一主动端和第一从动端，所述第二连接臂的相对两端分别为相互传动连接的第二主动端和第二从动端；所述第一主动端与所述回转机构转动连接；所述第一从动端与所述第二主动端同轴旋转连接，所述第三连接臂的第一连接端与所述第二从动端同轴旋转连接，所述第二连接臂与所述第一连接臂的旋转方向相反，所述第三连接臂与所述第二连接臂的旋转方向相反。3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述第一主动端和所述第一从动端分别设置有相互传动连接的第一主动轮和第一从动轮，所述第二主动端和所述第二从动端分别设置有相互传动连接的第二主动轮和第二从动轮，所述第二主动轮和所述第一从动轮同轴旋转连接，所述第一连接端与所述第二从动轮同轴旋转连接，所述第一主动轮与所述回转机构旋转连接。4.根据权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，所述第一主动轮和所述第一从动轮通过第一同步带传动连接，所述第二主动轮和所述第二从动轮通过第二同步带传动连接；所述第一主动轮和所述第一从动轮的传动比为1:2，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王月飞，侯魁，陈旭，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：