本实用新型专利技术公开了一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置，包括箱体，所述箱体左侧壁靠近顶部的位置从上到下依次设置有液泵和电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的右端设置有喷淋管，所述箱体左侧壁靠近顶部的位置设置有三通阀，所述三通阀的外侧设置有进液管，且进液管设有两个，两个所述进液管远离三通阀的一端贯穿箱体左侧壁靠近底部的位置并延伸至箱体的内部，使液泵工作通过三通阀、进液管和喷淋管将研磨液喷洒在物品的上表面，通过研磨装置对物品进行研磨，观察物品研磨表面的研磨情况能够对研磨液的效果进行判断，通过三通阀能够改变进液管的进液位置，能够对研磨液进行循环使用，得知研磨液多次使用后的研磨情况。研磨液多次使用后的研磨情况。研磨液多次使用后的研磨情况。
【技术实现步骤摘要】
一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置
[0001]本技术属于研磨液加工设备
，具体涉及一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置。
技术介绍
[0002]研磨液主要适用于超硬材料、硬质合金等硬质材料的研磨抛光，既可以提高磨削速率，又可以将磨削过程中产生的大量热量迅速排走，从而避免工件表面被烧伤。
[0003]纳米晶圆研磨液在加工完成后，通常需要对研磨液的使用效果进行测试，从而能够对研磨液的效果有准确的了解，目前市面上的研磨液测试装置对研磨液进行测试时，工作效率较低，且测试功能较为单一，对研磨液进行单次研磨测试，为此我们提出一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置，包括箱体，所述箱体左侧壁靠近顶部的位置从上到下依次设置有液泵和电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的右端设置有喷淋管，所述箱体左侧壁靠近顶部的位置设置有三通阀，所述液泵均与喷淋管和三通阀相连通，所述三通阀的外侧设置有进液管，且进液管设有两个，两个所述进液管远离三通阀的一端贯穿箱体左侧壁靠近底部的位置并延伸至箱体的内部，所述箱体内侧壁靠近中的位置设置有安装杆，且安装杆设有六个，六个所述安装杆相互靠近的一端设置有安装板，所述安装板的上表面设有夹紧机构，所述箱体的内部设有过滤机构和振动机构，所述箱体内顶壁的中部设置有研磨装置主体。
[0006]优选的，所述夹紧机构包括安装块，且安装块设有两个，两个所述安装块分别设置在安装板上表面的两侧，两个所述安装块相互靠近的表面均设置有套杆，且套杆设有六个，六个所述套杆的内部均设置有夹紧弹簧，六个所述夹紧弹簧远离安装块的一端均设置有夹紧杆，每三个所述夹紧杆远离安装块的一端设置有夹紧板，两个所述夹紧板远离安装块的表面均设置有防滑垫。
[0007]优选的，所述过滤机构包括固定块，且固定块设有四个，四个所述固定块设置在箱体内中部的四角处，四个所述固定块的内底壁均设置有复位弹簧，四个所述复位弹簧的顶端均设置有连接块，且四个连接块的底部分别滑动连接在四个固定块的内部，四个所述连接块的顶部设置有过滤网。
[0008]优选的，所述振动机构包括电机，且电机通过机箱设置在箱体后表面靠近中部的位置，所述电机的输出轴通过联轴器传动连接有转动轴，且转动轴的前端贯穿箱体的后表面并延伸至箱体的内部，所述转动轴位于过滤网的下方，所述转动轴外表面靠近两端的位置均设置有椭圆块，且两个椭圆块的外表面均设置有缓冲垫。
[0009]优选的，所述箱体内靠近底部的位置设置有隔板，下方所述进液管的下端位于隔板的上方，所述箱体右侧壁靠近底部的位置设置有排液管，且两个排液管分别位于隔板的上方和下方，两个所述排液管内部的左端设置有密封阀。
[0010]优选的，所述箱体正表面的顶部转动连接有密封门，所述密封门正表面的左侧设置有把手，所述密封门正表面的中部设置有观察窗，所述安装板上表面的边缘处开设有漏液口，且漏液口设有多个。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012](1)、该纳米晶圆研磨液加工用测试装置，通过设置的夹紧机构将物品固定在安装板上表面，使液泵工作通过三通阀、进液管和喷淋管将研磨液喷洒在物品的上表面，通过研磨装置对物品进行研磨，观察物品研磨表面的研磨情况能够对研磨液的效果进行判断，通过三通阀能够改变进液管的进液位置，能够对研磨液进行循环使用，得知研磨液多次使用后的研磨情况。
[0013](2)、该纳米晶圆研磨液加工用测试装置，通过设置的过滤机构对研磨液使用后的研磨液进行过滤，使电机工作，通过转动轴能够带动椭圆块转动，配合复位弹簧能够使过滤网进行往复振动，对使用后的研磨液进行过滤，避免研磨液中的杂质和碎屑对后续研磨液的测试造成影响。
附图说明
[0014]图1为本技术的立体结构示意图；
[0015]图2为本技术中夹紧机构的立体爆炸图；
[0016]图3为本技术的正剖视图；
[0017]图4为本技术的图3中A处的结构放大图；
[0018]图5为本技术的侧剖视图。
[0019]图中：1、箱体；2、安装杆；3、安装板；4、夹紧机构；401、安装块；402、套杆；403、夹紧弹簧；404、夹紧杆；405、夹紧板；5、过滤机构；501、固定块；502、复位弹簧；503、连接块；504、过滤网；6、振动机构；601、电机；602、转动轴；603、椭圆块；7、隔板；8、液泵；9、电动伸缩杆；10、喷淋管；11、三通阀；12、进液管；13、密封门；14、排液管。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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图5，本技术提供一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置，包括箱体1，箱体1左侧壁靠近顶部的位置从上到下依次设置有液泵8和电动伸缩杆9，电动伸缩杆9的右端设置有喷淋管10，箱体1左侧壁靠近顶部的位置设置有三通阀11，液泵8均与喷淋管10和三通阀11相连通，三通阀11的外侧设置有进液管12，且进液管12设有两个，两个进液管12远离三通阀11的一端贯穿箱体1左侧壁靠近底部的位置并延伸至箱体1的内部，箱体1内侧壁靠近中的位置设置有安装杆2，且安装杆2设有六个，六个安装杆2相互靠近的一端设置有
安装板3，安装板3的上表面设有夹紧机构4，箱体1的内部设有过滤机构5和振动机构6，箱体1内顶壁的中部设置有研磨装置主体。
[0022]本实施例中，优选的，夹紧机构4包括安装块401，且安装块401设有两个，两个安装块401分别设置在安装板3上表面的两侧，两个安装块401相互靠近的表面均设置有套杆402，且套杆402设有六个，六个套杆402的内部均设置有夹紧弹簧403，六个夹紧弹簧403远离安装块401的一端均设置有夹紧杆404，每三个夹紧杆404远离安装块401的一端设置有夹紧板405，两个夹紧板405远离安装块401的表面均设置有防滑垫，通过设置的安装块401对套杆402进行安装，当需要对物品进行安装时，通过夹紧弹簧403的弹力能够带动夹紧杆404移动，从而能够带动夹紧板405向着靠近物品的方向进行移动，对物品进行夹紧固定，增加物品的稳定性。
[0023]本实施例中，优选的，过滤机构5包括固定块501，且固定块501设有四个，四个固定块501设置在箱体1内中部的四角处，四个固定块501的内底壁均设置有复位弹簧502，四个复位弹簧502的顶端均设置有连接块503，且四个连接块503的底部分别滑动连接在四个固定块本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)左侧壁靠近顶部的位置从上到下依次设置有液泵(8)和电动伸缩杆(9)，所述电动伸缩杆(9)的右端设置有喷淋管(10)，所述箱体(1)左侧壁靠近顶部的位置设置有三通阀(11)，所述液泵(8)均与喷淋管(10)和三通阀(11)相连通，所述三通阀(11)的外侧设置有进液管(12)，且进液管(12)设有两个，两个所述进液管(12)远离三通阀(11)的一端贯穿箱体(1)左侧壁靠近底部的位置并延伸至箱体(1)的内部，所述箱体(1)内侧壁靠近中的位置设置有安装杆(2)，且安装杆(2)设有六个，六个所述安装杆(2)相互靠近的一端设置有安装板(3)，所述安装板(3)的上表面设有夹紧机构(4)，所述箱体(1)的内部设有过滤机构(5)和振动机构(6)，所述箱体(1)内顶壁的中部设置有研磨装置主体。2.根据权利要求1所述的一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置，其特征在于：所述夹紧机构(4)包括安装块(401)，且安装块(401)设有两个，两个所述安装块(401)分别设置在安装板(3)上表面的两侧，两个所述安装块(401)相互靠近的表面均设置有套杆(402)，且套杆(402)设有六个，六个所述套杆(402)的内部均设置有夹紧弹簧(403)，六个所述夹紧弹簧(403)远离安装块(401)的一端均设置有夹紧杆(404)，每三个所述夹紧杆(404)远离安装块(401)的一端设置有夹紧板(405)，两个所述夹紧板(405)远离安装块(401)的表面均设置有防滑垫。3.根据权利要求1所述的一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置，其特征在于：所述过滤机构(5)包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢长义，
申请(专利权)人：合肥长天化学技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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