本实用新型专利技术公开了一种抽真空装置，包括：用于对装载腔进行抽真空的第一抽真空单元，用于对卸载腔进行抽真空的第二抽真空单元，以及用于连通第一抽真空单元和第二抽真空单元的连通管道，第一抽真空单元包括由抽真空管道依次连接的第一气动阀、第一隔绝阀、以及第一真空泵，第二抽真空单元包括由抽真空管道依次连接的第二气动阀、第二隔绝阀、以及第二真空泵，连通管道的一端与第一气动阀和第一隔绝阀之间的抽真空管道相连通，连通管道的另一端与第二气动阀和第二隔绝阀之间的抽真空管道相连通。通过使用该抽真空装置，可避免现有的因真空泵发生故障而导致整个设备平台无法运行的问题。问题。问题。
【技术实现步骤摘要】
一种抽真空装置
[0001]本技术涉及抽真空领域，具体涉及一种抽真空装置。
技术介绍
[0002]现有的等离子体解耦设备或等离子体加工设备的设备平台中，其装载腔和卸载腔各对应设置一个真空泵，在对装载腔或卸载腔进行抽真空时，各真空泵单独使用，在该种情况下，如果任意一个真空泵发生故障，则整个设备平台将无法运行。
技术实现思路
[0003]本申请实施例提供一种抽真空装置，以解决现有的因真空泵发生故障而导致整个设备平台无法运行的问题。
[0004]本申请实施例提供一种抽真空装置，包括：用于对装载腔进行抽真空的第一抽真空单元，用于对卸载腔进行抽真空的第二抽真空单元，以及用于连通所述第一抽真空单元和所述第二抽真空单元的连通管道，所述第一抽真空单元包括由抽真空管道依次连接的第一气动阀、第一隔绝阀、以及第一真空泵，所述第二抽真空单元包括由抽真空管道依次连接的第二气动阀、第二隔绝阀、以及第二真空泵，所述连通管道的一端与所述第一气动阀和所述第一隔绝阀之间的抽真空管道相连通，所述连通管道的另一端与所述第二气动阀和所述第二隔绝阀之间的抽真空管道相连通。
[0005]可选的，所述装载腔和所述卸载腔内部所用气体相同。
[0006]可选的，所述第一抽真空单元还包括第一压力计，所述第一压力计设置于所述第一气动阀和第一隔绝阀之间。
[0007]可选的，所述第二抽真空单元还包括第二压力计，所述第二压力计设置于所述第二气动阀和第二隔绝阀之间。
[0008]可选的，所述连通管道为波纹管。
[0009]与现有技术相比，本技术具有以下优点：
[0010]本申请实施例提供的抽真空装置，包括：用于对装载腔进行抽真空的第一抽真空单元，用于对卸载腔进行抽真空的第二抽真空单元，以及用于连通第一抽真空单元和第二抽真空单元的连通管道，第一抽真空单元包括由抽真空管道依次连接的第一气动阀、第一隔绝阀、以及第一真空泵，第二抽真空单元包括由抽真空管道依次连接的第二气动阀、第二隔绝阀、以及第二真空泵，连通管道的一端与第一气动阀和第一隔绝阀之间的抽真空管道相连通，连通管道的另一端与第二气动阀和第二隔绝阀之间的抽真空管道相连通。该抽真空装置通过在现有的装载腔和卸载腔对应的抽真空管路上分别增设第一隔绝阀和第二隔绝阀，并在上述两个抽真空管路之间增设连通管道，可在装载腔对应的第一真空泵或卸载腔对应的第二真空泵正常工作时提升抽真空效率，并且可在装载腔对应的第一真空泵或卸载腔对应的第二真空泵发生故障时，通过调整第一隔绝阀或第二隔绝阀的闭合、以实现真空泵的共用，从而保障设备平台正常运行。
附图说明
[0011]图1是本申请实施例提供的抽真空装置的结构示意图；
[0012]附图标注说明：
[0013]装载腔1、卸载腔2、第一气动阀3、第二气动阀4、第一压力计5、第二压力计6、第一真空泵7、第二真空泵8、第一隔绝阀9、第二隔绝阀10、连通管道11、第一抽真空单元100、第二抽真空单元200
具体实施方式
[0014]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似推广，因此本技术不受下面公开的具体实施的限制。
[0015]针对现有的等离子体解耦设备或等离子体加工设备的设备平台的抽真空场景，为了解决因真空泵发生故障而导致整个设备平台无法运行的问题，本申请实施例提供一种抽真空装置，请参考图1理解该实施例，图1为本实施例提供的抽真空装置的结构示意图。
[0016]如图1所示，本实施例提供的抽真空装置包括：用于对装载腔1进行抽真空的第一抽真空单元100，用于对卸载腔2进行抽真空的第二抽真空单元200，以及用于连通所述第一抽真空单元100和所述第二抽真空单元200的连通管道11，所述装载腔1和所述卸载腔2内部所用气体相同。
[0017]所述第一抽真空单元100包括由抽真空管道依次连接的第一气动阀3、第一隔绝阀9、以及第一真空泵7，所述第二抽真空单元200包括由抽真空管道依次连接的第二气动阀4、第二隔绝阀10、以及第二真空泵8，所述连通管道11可以为便于安装的波纹管或其它类型的抽真空管道，连通管道11的一端与所述第一气动阀3和所述第一隔绝阀9之间的抽真空管道相连通，连通管道11的另一端与所述第二气动阀4和所述第二隔绝阀10之间的抽真空管道相连通。上述第一气动阀3、第一隔绝阀9、第二气动阀4、以及第二隔绝阀10。
[0018]第一抽真空单元100还包括第一压力计5，第一压力计5设置于第一气动阀3和第一隔绝阀9之间，用于测量第一抽真空单元一侧的压力。
[0019]第二抽真空单元200还包括第二压力计6，第二压力计6设置于第二气动阀4和第二隔绝阀10之间，用于测量第二抽真空单元一侧的压力。
[0020]本实施例提供的上述抽真空装置可用于具有多个装载腔和卸载腔的设备中，例如氮等离子解耦设备，的装载腔和卸载腔的抽真空过程中。氮等离子解耦设备的工作原理为：采用电感耦合等离子体方式，产生高密度氮等离子体，通过表面势扩散至晶圆栅氧化层表面，将氮掺入氧化硅薄膜内。在该过程中，需要对晶圆进行传输，晶圆传输的过程需依赖装载腔与卸载腔实现，具体为：装载腔与卸载腔通过不断地改变压力状态(真空/大气)，以达到传输晶圆的目的，其中，装载腔用于将晶圆传输至传输模块，卸载腔将晶圆从传输模块传送至大气，具体的，卸载腔在晶圆从反应腔中传输至大气时使用，晶圆先从真空环境下的反应腔传输至真空下的传输模块，再传送至真空下的卸载腔，卸载腔破真空，再将晶圆传输至晶圆传送盒。在软件支持的情况下，装载腔与卸载腔之间可相互替代。
[0021]上述通过将连通管道的一端与第一气动阀和第一隔绝阀之间的抽真空管道相连通，将连通管道的另一端与第二气动阀和第二隔绝阀之间的抽真空管道相连通，可在装载
腔和卸载腔的抽真空过程中实现真空泵的共用，例如，在对装载腔进行抽真空时，第一气动阀3、第一隔绝阀9、第二隔绝阀10打开，第二气动阀关闭，此时连通管道11连接装载腔1和卸载腔2的抽真空管道，第一真空泵7和第二真空泵8同时抽真空，可加速装载腔1的抽真空速度；当第一真空泵7因故障停用时，则将第一隔绝阀9关闭，经由连通管道11连接卸载腔2对应的抽真空管道，由第二真空泵8对装载腔1进行抽真空。同理，在对卸载腔抽真空时，第二气动阀4、第一隔绝阀9、第二隔绝阀10打开，第一气动阀3关闭，此时连通管道11连接装载腔1和卸载腔2的抽真空管道，第一真空泵7和第二真空泵8同时抽真空，可加速卸载腔2的抽真空速度；当第二真空泵8因故障停用时，则将第二隔绝阀10关闭，经由连通管道11连接装载腔1对应的抽真空管道，由第一真空泵7对卸载腔1进行抽真空。
[0022]本申请实施例提供的抽真空装置包括用于对装载腔进行抽真空的第一抽真空单元，用于对卸载腔进行抽真空的第二抽真空单元，以及用于连通第一抽真空单元和第二抽真空单元的连通管道，第本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种抽真空装置，其特征在于，包括：用于对装载腔进行抽真空的第一抽真空单元，用于对卸载腔进行抽真空的第二抽真空单元，以及用于连通所述第一抽真空单元和所述第二抽真空单元的连通管道，所述第一抽真空单元包括由抽真空管道依次连接的第一气动阀、第一隔绝阀、以及第一真空泵，所述第二抽真空单元包括由抽真空管道依次连接的第二气动阀、第二隔绝阀、以及第二真空泵，所述连通管道的一端与所述第一气动阀和所述第一隔绝阀之间的抽真空管道相连通，所述连通管道的另一端与所述第二气动阀和所述第二隔...
【专利技术属性】
技术研发人员：车涛，钱迪，
申请(专利权)人：盛吉盛半导体科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：
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