朝向检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供朝向检测装置，其能够防止将被加工物以不适当的朝向进行搬送。该朝向检测装置对非圆形的被加工物的朝向进行检测，其中，该朝向检测装置具有：支承单元，其对被加工物进行支承；照相机，其对支承单元所支承的被加工物进行拍摄而获取包含被加工物的外周缘的图像；照明部，其照亮支承单元所支承的被加工物；以及控制部，该控制部包含：坐标确定部，其确定示出图像所包含的外周缘的位置的多个坐标；近似线计算部，其根据多个坐标而计算近似外周缘的近似线；以及外周缘判定部，其在示出距离近似线规定的范围内的位置的坐标的数量或比例为允许范围外的情况下判定为近似线不与被加工物的外周缘对应。与被加工物的外周缘对应。与被加工物的外周缘对应。

【技术实现步骤摘要】
朝向检测装置


[0001]本专利技术涉及对被加工物的朝向进行检测的朝向检测装置。

技术介绍

[0002]在器件芯片的制造工艺中，使用在由呈格子状排列的多条间隔道(分割预定线)划分的多个区域内分别形成有器件的晶片。将该晶片沿着间隔道进行分割，由此得到分别具有器件的多个器件芯片。器件芯片组装于移动电话、个人计算机等各种电子设备。
[0003]在晶片的分割中，使用利用环状的切削刀具对被加工物进行切削的切削装置或通过激光束的照射而对被加工物进行加工的激光加工装置等。另外，近年来，随着电子设备的小型化，要求器件芯片薄型化。因此，有时在晶片的分割前实施将晶片薄化的加工。在晶片的薄化中，使用利用包含磨削磨具的磨削磨轮对被加工物进行磨削的磨削装置或利用圆盘状的研磨垫对被加工物进行研磨的研磨装置等。
[0004]在上述那样的各种加工装置中搭载有对被加工物进行保持的卡盘工作台，在被加工物的加工时，利用卡盘工作台的保持面对被加工物进行保持。另外，按照通过卡盘工作台适当地保持被加工物的方式根据被加工物的形状设计卡盘工作台的保持面。因此，在被加工物为非圆形的情况下，在将被加工物搬送至卡盘工作台上而进行配置时，需要使被加工物的朝向与保持面的朝向一致。
[0005]例如在专利文献1中公开了一种磨削装置，其对在外周部形成有示出晶体取向的直线状的切口(定向平面)的圆盘状的晶片进行磨削。在搭载于该磨削装置的卡盘工作台的保持面(吸附面)上形成有与晶片的定向平面对应的切口。并且，在将晶片搬送至卡盘工作台上时，首先利用照相机(拍摄部)对晶片进行拍摄，根据晶片的图像而确定定向平面的位置。然后，按照定向平面的位置与保持面的切口的位置一致的方式调节晶片的朝向。
[0006]专利文献1：日本特开2011
‑
253936号公报
[0007]如上所述，在利用加工装置对非圆形的被加工物进行加工时，需要将被加工物以规定的朝向配置于卡盘工作台上。因此，在将被加工物搬送至卡盘工作台之前，实施确定被加工物的朝向的处理。
[0008]例如在利用加工装置对矩形状的被加工物进行加工时，首先利用照相机对被加工物进行拍摄，由此获取包含被加工物的外周缘(轮廓)的像的图像。接着，通过图像处理来确定示出被加工物的外周缘的位置的多个坐标，根据所确定的坐标而计算近似被加工物的外周缘的近似线。并且，将所计算的近似线视为被加工物的外周缘而调节被加工物的外周缘相对于卡盘工作台的保持面的角度。
[0009]但是，根据被加工物的拍摄条件，有时无法计算高精度近似被加工物的外周缘的近似线。例如在异物(污染物)附着于被加工物的外周缘的情况下、照亮被加工物的照明部部分地发生劣化的情况下等，有时无法正确地确定被加工物的外周缘的坐标，会计算出与实际的被加工物的外周缘的误差大的近似线。其结果是，会产生如下的情况：无法将被加工物以适合保持面的形状的朝向搬送至卡盘工作台，无法利用卡盘工作台适当地保持被加工
物。

技术实现思路

[0010]本专利技术是鉴于该问题而完成的，其目的在于提供能够防止将被加工物以不适当的朝向进行搬送的朝向检测装置。
[0011]根据本专利技术的一个方式，提供朝向检测装置，其对非圆形的被加工物的朝向进行检测，其中，该朝向检测装置具有：支承单元，其对该被加工物进行支承；照相机，其对该支承单元所支承的该被加工物进行拍摄而获取包含该被加工物的外周缘的图像；照明部，其照亮该支承单元所支承的该被加工物；以及控制部，该控制部包含：坐标确定部，其确定示出该图像所包含的该外周缘的位置的多个坐标；近似线计算部，其根据多个该坐标而计算近似该外周缘的近似线；以及外周缘判定部，其在示出距离该近似线规定的范围内的位置的该坐标的数量或比例为允许范围外的情况下判定为该近似线不与该被加工物的该外周缘对应。
[0012]另外，优选该近似线计算部计算近似该外周缘的直线作为该近似线。另外，优选该坐标确定部沿着与该图像所包含的该外周缘交叉的方向计算该图像所包含的多个像素的亮度，将与相邻的像素的亮度的差大于等于阈值的像素的坐标确定为示出该外周缘的位置的坐标。
[0013]另外，优选该朝向检测装置还具有显示部，该控制部还包含显示控制部，该显示控制部将识别标记与该图像一起显示于该显示部，该识别标记示出包含示出距离该近似线规定的范围外的位置的该坐标的行或列的位置、或者未包含与相邻的像素的亮度的差大于等于阈值的像素的行或列的位置。另外，优选该识别标记由色彩、数字、文字、图形、图案或它们的组合构成。
[0014]本专利技术的一个方式的朝向检测装置根据示出被加工物的外周缘的位置的多个坐标与近似被加工物的外周缘的近似线的距离而判定近似线是否与被加工物的外周缘对应。由此，能够防止在通过不适当的近似线近似了被加工物的外周缘的状态下确定被加工物的朝向而将被加工物以不适当的朝向进行搬送。
附图说明
[0015]图1是示出朝向检测装置的立体图。
[0016]图2的(A)是示出检测单元的局部剖视主视图，图2的(B)是示出检测单元的局部剖视侧视图。
[0017]图3是示出被加工物的图像的图像图。
[0018]图4是示出控制部的框图。
[0019]图5是示出图像的外周缘区域的图像图。
[0020]图6是示出图像的外周缘区域和近似线的图像图。
[0021]图7是示出图像的外周缘区域、近似线和识别标记的图像图。
[0022]图8是示出被加工物的朝向的检测方法的流程图。
[0023]标号说明
[0024]11：被加工物；11a：正面(第1面)；11b：背面(第2面)；11c：外周缘(侧面)；2：朝向检
测装置(朝向检测机构)；4：基台；4a、4b：开口部；6A、6B：盒台；8：盒；10：搬送机构(搬送单元)；12：保持部；12a：上表面；12b：吸引孔；14：多关节臂；16：检测单元；18：支承单元；20：照相机(拍摄单元)；20a：拍摄区域(视野)；22：显示部(显示单元、显示装置)；24：控制部(控制单元、控制装置)；26：卡盘工作台(保持工作台)；26a：保持面；28：搬送机构(搬送单元)；30：支承台；30a：支承面；32：照明部；34：光源；36：罩(壳体)；38：扩散板；40：图像(拍摄图像)；42：外周缘区域；50：处理部；52：坐标确定部；54：近似线计算部；56：外周缘判定部；58：动作控制部；58a：显示控制部；60：存储部；62：坐标存储部；64：近似线存储部；70：像素；72A：暗区域；72B：明区域；72C：暗区域；72D：中间区域；74、74A：坐标；76：近似线；78、80A、80B：识别标记。
具体实施方式
[0025]以下，参照附图对本专利技术的一个方式的实施方式进行说明。首先，对本实施方式的朝向检测装置(朝向检测机构)的结构例进行说明。图1是示出朝向检测装置(朝向检测机构)2的立体图。
[0026]例如朝向检测装置2连结或搭载于各种加工装置，对通过加工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种朝向检测装置，其对非圆形的被加工物的朝向进行检测，其特征在于，该朝向检测装置具有：支承单元，其对该被加工物进行支承；照相机，其对该支承单元所支承的该被加工物进行拍摄而获取包含该被加工物的外周缘的图像；照明部，其照亮该支承单元所支承的该被加工物；以及控制部，该控制部包含：坐标确定部，其确定示出该图像所包含的该外周缘的位置的多个坐标；近似线计算部，其根据多个该坐标而计算近似该外周缘的近似线；以及外周缘判定部，其在示出距离该近似线规定的范围内的位置的该坐标的数量或比例为允许范围外的情况下判定为该近似线不与该被加工物的该外周缘对应。2.根据权利要求1所述的朝向检测装置，其特征在于，该近似线计算部计算近似该外周缘的直线作为该近似线...

【专利技术属性】
技术研发人员：中野翔太，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：