一种多自由度定位检知系统及具有其的测试设备技术方案

本公开提供了一种多自由度定位检知系统及具有其的测试设备，该系统包括定轴轮机构；设置在所述定轴轮机构上方的滚轮运动机构，所述滚轮运动机构可围绕所述定轴轮机构的定轴转动并可沿上下方向运动，以对位于所述滚轮运动机构下方的底座上的半导体产品进行贴合压实；与所述底座相邻设置的定位轮机构，所述定位轮机构用于检测所述底座上是否存在所述半导体产品以及配合所述定轴轮机构将所述半导体产品定位到设定位置。采用本公开的多自由度定位检知系统，能够有效精准地对半导体产品进行定位检知，不损坏产品，同时简单耐用，降低生产成本。产成本。产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种多自由度定位检知系统及具有其的测试设备


[0001]本公开一般涉及半导体测试
，具体涉及一种多自由度定位检知系统及具有其的测试设备。

技术介绍

[0002]在半导体生产测试工序中，相关技术通过气缸整形机构进行产品定位。然而，依赖气缸动作具有诸多不确定性，比如气缸损坏、卡顿或者部件松动会使定位不精准，并且气缸动作可控性差，比如力度过大或者顶料位置异常会造成半导体产品变形和缺损，增加不良率，同时气缸等部件长时间高频次作业之后容易损坏，使用寿命短，增加了生产成本。

技术实现思路

[0003]鉴于相关技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种多自由度定位检知系统及具有其的测试设备，能够有效精准地对半导体产品进行定位检知，不损坏产品，同时简单耐用，降低生产成本。
[0004]第一方面，本公开提供一种多自由度定位检知系统，所述系统包括：
[0005]定轴轮机构；
[0006]设置在所述定轴轮机构上方的滚轮运动机构，所述滚轮运动机构可围绕所述定轴轮机构的定轴转动并可沿上下方向运动，以对位于所述滚轮运动机构下方的底座上的半导体产品进行贴合压实；
[0007]与所述底座相邻设置的定位轮机构，所述定位轮机构用于检测所述底座上是否存在所述半导体产品以及配合所述定轴轮机构将所述半导体产品定位到设定位置。
[0008]可选地，在本公开一些实施例中，所述定位轮机构包括定位轮、第一滑块、固定支架和产品检知传感器；所述定位轮和所述产品检知传感器均设置在所述第一滑块上，所述第一滑块设置在所述固定支架的滑轨上。
[0009]可选地，在本公开一些实施例中，所述定位轮机构还包括卡料检知装置，所述卡料检知装置用于监测所述定位轮的移动位移是否超过预设阈值。
[0010]可选地，在本公开一些实施例中，所述卡料检知装置包括卡料检知传感器、金属感应片和定位轮拉簧；所述卡料检知传感器和所述金属感应片相对设置，所述卡料检知传感器位于所述固定支架上，所述金属感应片位于所述第一滑块上，所述定位轮拉簧的第一端连接所述固定支架，所述定位轮拉簧的第二端连接所述金属感应片。
[0011]可选地，在本公开一些实施例中，所述定位轮机构还包括报警器，所述报警器用于当所述卡料检知传感器无法感应到所述金属感应片时发出报警信号。
[0012]可选地，在本公开一些实施例中，所述滚轮运动机构包括滚轮支架、第二滑块和滚轮；所述滚轮支架设置在所述定轴轮机构上，所述第二滑块和所述滚轮均位于所述滚轮支架的侧面，所述第二滑块设置在所述滚轮支架的滑轨上，所述滚轮设置在所述第二滑块上且位于所述底座上方。
[0013]可选地，在本公开一些实施例中，所述滚轮运动机构还包括滚轮固定块；所述滚轮固定块位于所述第二滑块和所述滚轮之间且与所述滚轮一体设置在所述第二滑块上。
[0014]可选地，在本公开一些实施例中，所述滚轮运动机构还包括上下拉簧和调节螺丝；所述上下拉簧的第一端与所述滚轮支架相连接，所述上下拉簧的第二端与所述调节螺丝的第一端相连接，所述调节螺丝的第二端固定在所述滚轮固定块上。
[0015]可选地，在本公开一些实施例中，所述定轴轮机构包括定轴轮支架和定轴轮；所述定轴轮可在所述定轴轮支架上绕轴转动。
[0016]第二方面，本公开提供一种测试设备，所述设备包括底座以及第一方面中任意一项所述的系统。
[0017]从以上技术方案可以看出，本公开实施例具有以下优点：
[0018]本公开实施例提供了一种多自由度定位检知系统及具有其的测试设备，该系统通过定轴轮机构、滚轮运动机构和定位轮机构三个轮系机构的配合，提高了定位自由度，能够有效精准地对半导体产品进行定位检知，减小了整体摩擦系数，运动顺畅，不损坏产品，同时消除了质量隐患，简单耐用，避免了气缸等易损件的使用，由此降低了生产成本。
附图说明
[0019]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本公开的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0020]图1为本公开实施例提供的一种多自由度定位检知系统的立体结构示意图；
[0021]图2为本公开实施例提供的一种多自由度定位检知系统的平面结构示意图。
[0022]附图标记：
[0023]10
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多自由度定位检知系统，11
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定轴轮机构，111
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定轴轮支架，112
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定轴轮，12
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滚轮运动机构，121
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滚轮支架，122
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第二滑块，123
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滚轮，124
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滚轮固定块，125
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上下拉簧，126
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调节螺丝，13
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定位轮机构，131
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定位轮，132
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第一滑块，133
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固定支架，134
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产品检知传感器，135
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卡料检知装置，1351
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卡料检知传感器，1352
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金属感应片，1353
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定位轮拉簧，21
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底座。
具体实施方式
[0024]为了使本
的人员更好地理解本公开方案，下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本公开保护的范围。
[0025]本公开的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便描述的本公开的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
[0026]此外，术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或模块的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或模块，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它
步骤或模块。
[0027]为了便于理解和说明，下面通过图1至图2详细地阐述本公开实施例提供的多自由度定位检知系统及具有其的测试设备。
[0028]请参考图1，其为本公开实施例提供的一种多自由度定位检知系统的立体结构示意图。该多自由度定位检知系统10包括定轴轮机构11、设置在定轴轮机构11上方的滚轮运动机构12以及与底座21相邻设置的定位轮机构13，其中滚轮运动机构12可围绕定轴轮机构11的定轴转动并可沿上下方向运动，以对位于滚轮运动机构12下方的底座21上的半导体产品进行贴合压实，而定位轮机构13能够检测底座21上是否存在半导体产品以及配合定轴轮机构11将半导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多自由度定位检知系统，其特征在于，所述系统包括：定轴轮机构；设置在所述定轴轮机构上方的滚轮运动机构，所述滚轮运动机构可围绕所述定轴轮机构的定轴转动并可沿上下方向运动，以对位于所述滚轮运动机构下方的底座上的半导体产品进行贴合压实；与所述底座相邻设置的定位轮机构，所述定位轮机构用于检测所述底座上是否存在所述半导体产品以及配合所述定轴轮机构将所述半导体产品定位到设定位置。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述定位轮机构包括定位轮、第一滑块、固定支架和产品检知传感器；所述定位轮和所述产品检知传感器均设置在所述第一滑块上，所述第一滑块设置在所述固定支架的滑轨上。3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述定位轮机构还包括卡料检知装置，所述卡料检知装置用于监测所述定位轮的移动位移是否超过预设阈值。4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述卡料检知装置包括卡料检知传感器、金属感应片和定位轮拉簧；所述卡料检知传感器和所述金属感应片相对设置，所述卡料检知传感器位于所述固定支架上，所述金属感应片位于所述第一滑块上，所述定位轮拉簧的第一端连接所述固定支架，所述定位轮拉簧的第二端连接所述金属感应片。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛刚，袁晓林，
申请(专利权)人：通富微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：