本实用新型专利技术属于硅片加工用具技术领域，且公开了一种载板定位装置，包括载板，所述载板的上端面内凹形成凹槽，所述凹槽的内部设有隔板，所述隔板将凹槽分隔成下层的空腔和上层的搁置槽，所述搁置槽的内部底部开设有与空腔相贯通的第二吸气孔，本实用新型专利技术通过在载板设设置多个上下层的搁置槽和空腔，并设置吸气组件，在使用时，可将待加工硅片分开置于不同的搁置槽内，然后启动真空泵，真空泵吸气，空腔内的空气可经由吸气支管吸出，可使硅片吸附在搁置槽的内部底部进行定位，稳定可靠，其次，能够同时吸附定位多个硅片，无需逐个进行定位固定，较为省力方便，满足于大批量硅片的定位加工需要。工需要。工需要。
【技术实现步骤摘要】
一种载板定位装置及载板机构
[0001]本技术属于硅片加工用具
，具体涉及一种载板定位装置及载板机构。
技术介绍
[0002]硅片是太阳能电池片的载体，是组成太阳能电池片重要的一部分，硅片在微电子
应运较为广泛，在硅片的生产加工过程张，常需要利用载板定位装置将其定位固定住，以便于后续的精细加工。
[0003]但是目前现有载板定位装置存在一定的缺陷，传统载板定位装置固定硅片时需要逐个固定，较为费时费力，难以满足大批量硅片的定位加工需要。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种载板定位装置及载板机构，以解决上述
技术介绍
中提出的传统载板定位装置固定硅片时需要逐个固定，较为费时费力，难以满足大批量硅片定位加工需要的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种载板定位装置，包括载板，所述载板的上端面内凹形成凹槽，所述凹槽的内部设有隔板，所述隔板将凹槽分隔成下层的空腔和上层的搁置槽，所述搁置槽的内部底部开设有与空腔相贯通的第二吸气孔，所述空腔的内部底部开设有第一吸气孔，所述隔板的上端面开设有豁口；
[0006]设于载板下方的吸气组件，所述吸气组件用于将空腔内抽真空，以使搁置槽内的加工件吸附在其内部底部。
[0007]优选地，所述空腔和搁置槽均设有四列，每列所述空腔之间的隔板上开设有通孔，每列所述空腔对应一个第一吸气孔。
[0008]优选地，所述吸气组件包括真空泵、送气管和吸气总管，所述送气管与真空泵的进气端相连，且送气管的进气端安装有三通阀，所述吸气总管与三通阀的三个端口相连，每个所述吸气总管上连接有两个吸气支管，所述吸气支管的顶端与第一吸气孔相连。
[0009]优选地，每个所述吸气支管对应一个第一吸气孔，且吸气支管上安装有阀门。
[0010]优选地，还包括用于安装件，所述安装件包括底板和两个支撑板，两个所述支撑板对称连接于载板的底端两侧，所述底板固定于支撑板的底端，所述真空泵安装于底板上。
[0011]一种载板机构，所述的载板定位装置。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013](1)本技术通过在载板上设置多个上下层的搁置槽和空腔，并设置吸气组件，在使用时，可将待加工硅片分开置于不同的搁置槽内，然后启动真空泵，真空泵吸气，空腔内的空气可经由吸气支管吸出，可使硅片吸附在搁置槽的内部底部进行定位，稳定可靠，其次，能够同时吸附定位多个硅片，无需逐个进行定位固定，较为省力方便，满足于大批量硅片的定位加工需要。
[0014](2)本技术空腔和搁置槽设有四列，每列的空腔和搁置槽可单独控制，可根据需要选择吸附固定硅片的区域，此外，开设的豁口便于加工后硅片的取出，在硅片布满搁置槽时，此时从上方夹出硅片较为困难，可从豁口处利用工具夹取硅片，侧面夹取利于硅片的夹出。
附图说明
[0015]图1为本技术的正视图；
[0016]图2为本技术载板的俯视图；
[0017]图3为本技术载板的剖视图；
[0018]图中：1、底板；2、支撑板；3、载板；4、真空泵；5、送气管；6、吸气总管；7、吸气支管；8、阀门；9、隔板；10、空腔；11、第一吸气孔；12、搁置槽；13、第二吸气孔；14、豁口；15、通孔。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
‑
图3所示，本技术提供如下技术方案：一种载板定位装置，包括：
[0021]载板3，载板3的上端面内凹形成凹槽，凹槽的内部设有隔板9，隔板9将凹槽分隔成下层的空腔10和上层的搁置槽12，搁置槽12的内部底部开设有与空腔10相贯通的第二吸气孔13，空腔10的内部底部开设有第一吸气孔11，隔板9的上端面开设有豁口14；
[0022]空腔10和搁置槽12均设有四列，每列空腔10之间的隔板9上开设有通孔15，每列空腔10对应一个第一吸气孔11，每列的空腔10和搁置槽12可单独控制，进而可根据需要选择吸附固定硅片的区域；
[0023]设于载板3下方的吸气组件，吸气组件用于将空腔10内抽真空，以使搁置槽12内的加工件吸附在其内部底部，吸气组件包括真空泵4、送气管5和吸气总管6，送气管5与真空泵4的进气端相连，且送气管5的进气端安装有三通阀，吸气总管6与三通阀的三个端口相连，每个吸气总管6上连接有两个吸气支管7，吸气支管7的顶端与第一吸气孔11相连。
[0024]通过上述技术方案：
[0025]搁置槽12设有多个，在使用时，可将待加工硅片分开置于不同的搁置槽12内，然后启动真空泵4，真空泵4吸气，空腔10内的空气可经由吸气支管7从第一吸气孔11吸出，而后经由吸气总管6送至吸气总管6，可使硅片吸附在搁置槽12的内部底部进行定位，稳定可靠，其次，能够同时吸附定位多个硅片，无需逐个进行定位固定，较为省力方便。
[0026]另外，开设的豁口14便于加工后硅片的取出，具体的，在硅片布满搁置槽12时，此时从上方夹出硅片较为困难，可从豁口14处利用工具夹取硅片，侧面夹取，利于硅片的夹出。
[0027]进一步地，每个吸气支管7对应一个第一吸气孔11，且吸气支管7上安装有阀门8；
[0028]具体，通过阀门8可控制每一个吸气支管7的吸气情况，进而控制每一列搁置槽12上的硅片吸附情况。
[0029]参阅图1所示，载板定位装置还包括用于安装件，安装件包括底板1和两个支撑板2，两个支撑板2对称连接于载板3的底端两侧，底板1固定于支撑板2的底端，真空泵4安装于底板1上。
[0030]通过上述技术方案：
[0031]使用时，利用底板1接触放置面，可保证该定位装置放置的稳定性，吸气组件设于底板1和载板3之间，稳定可靠。
[0032]一种载板机构，包括上述的载板定位装置。
[0033]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种载板定位装置，其特征在于，包括：载板(3)，所述载板(3)的上端面内凹形成凹槽，所述凹槽的内部设有隔板(9)，所述隔板(9)将凹槽分隔成下层的空腔(10)和上层的搁置槽(12)，所述搁置槽(12)的内部底部开设有与空腔(10)相贯通的第二吸气孔(13)，所述空腔(10)的内部底部开设有第一吸气孔(11)，所述隔板(9)的上端面开设有豁口(14)；设于载板(3)下方的吸气组件，所述吸气组件用于将空腔(10)内抽真空，以使搁置槽(12)内的加工件吸附在其内部底部。2.根据权利要求1所述的一种载板定位装置，其特征在于：所述空腔(10)和搁置槽(12)均设有四列，每列所述空腔(10)之间的隔板(9)上开设有通孔(15)，每列所述空腔(10)对应一个第一吸气孔(11)。3.根据权利要求2所述的一种载板定位装置，其特征在于：所述吸气组件包括真空泵(4)...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴振宇，童明，
申请(专利权)人：深圳市晶铸科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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