一种静叶片结构及分子泵制造技术

本实用新型专利技术提供一种静叶片结构，适于与动叶片分层交替设置，动叶片适于连接驱动电机轴系端，静叶片结构包括静叶片内环、若干间隔设置的叶齿和导引结构，其中，静叶片内环一侧适于放置动叶片；若干间隔设置的叶齿设置在静叶片内环径向方向上的外周侧；导引结构设于静叶片内环轴向端面上，导引结构具有若干导流通道；其中，导引结构具有在驱动电机驱动动叶片转动，转动的动叶片驱动气体分子向叶齿间定向运动时，引导静叶片内环表面上无序运动的气体分子沿着导流通道运动的导引状态，改变了静叶片内环表面气体分子的无序运动，进而减少气体分子反流，提高分子泵的抽气性能。提高分子泵的抽气性能。提高分子泵的抽气性能。

【技术实现步骤摘要】
一种静叶片结构及分子泵


[0001]本技术涉及分子泵
，具体涉及一种静叶片结构及分子泵。

技术介绍

[0002]分子泵工作在高真空环境中，在分子流态下，经过叶片的气体分子的平均自由程远远大于叶片通道的几何尺寸，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，形成气体分子的定向运动。
[0003]现有技术中静叶片分子泵流态的获取是通过电机带动轴系零部件，在动静叶列组合状态下，实现气体分子的定向流动，并获取相应的高抽速与压缩比，其中，如图1所示，静叶片包括内环面a1。
[0004]但是上述的静叶片分子泵，气体分子通过射向的动叶片和静叶片实现气体分子的定向运动时，存在部分气体分子在静叶片上下内环面区域做无序运动，进而会产生较多反流，影响分子泵压缩比，进而影响分子泵的综合抽气性能。

技术实现思路

[0005]因此，本技术所要解决的技术问题在于现有技术中的静叶片分子泵，气体分子通过射向动叶片和静叶片实现气体分子的定向运动时，存在部分气体分子在静叶片上下内环面区域做无序运动，进而会产生较多反流，影响分子泵压缩比，进而影响分子泵的综合本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静叶片结构，适于与动叶片分层交替设置，所述动叶片适于连接驱动电机轴系端，其特征在于，包括：静叶片内环；若干间隔设置的叶齿，设置在所述静叶片内环径向方向上的外周侧；导引结构，设于所述静叶片内环轴向端面上，所述导引结构具有若干导流通道；其中，所述导引结构具有在驱动电机驱动动叶片转动，转动的动叶片驱动气体分子向叶齿间定向运动时，引导所述静叶片内环表面上无序运动的气体分子沿着导流通道运动的导引状态。2.根据权利要求1所述的静叶片结构，其特征在于，所述导引结构为设置在所述静叶片内环轴向端面上的沟槽。3.根据权利要求2所述的静叶片结构，其特征在于，还包括加强筋，所述加强筋设于所述沟槽内，以将所述沟槽分为多份。4.根据权利要求3所述的静叶片结构，其特征在于，所述沟槽通过加强筋等分为多份。5.根据权利要求4所述的静叶片结构，其特征在于，所述沟槽通过加强筋等分为4
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16份。6.根据权利要求1
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5中任意一项所述的静叶片结构，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓高飞，杨金亮，王浩为，张鹏，
申请(专利权)人：北京中科九微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：