一种静叶片结构及分子泵制造技术

本实用新型专利技术提供一种静叶片结构，适于与动叶片分层交替设置，动叶片适于连接驱动电机轴系端，静叶片结构包括静叶片内环、若干间隔设置的叶齿和导引结构，其中，静叶片内环一侧适于放置动叶片；若干间隔设置的叶齿设置在静叶片内环径向方向上的外周侧；导引结构设于静叶片内环轴向端面上，导引结构具有若干导流通道；其中，导引结构具有在驱动电机驱动动叶片转动，转动的动叶片驱动气体分子向叶齿间定向运动时，引导静叶片内环表面上无序运动的气体分子沿着导流通道运动的导引状态，改变了静叶片内环表面气体分子的无序运动，进而减少气体分子反流，提高分子泵的抽气性能。提高分子泵的抽气性能。提高分子泵的抽气性能。

【技术实现步骤摘要】
一种静叶片结构及分子泵


[0001]本技术涉及分子泵
，具体涉及一种静叶片结构及分子泵。

技术介绍

[0002]分子泵工作在高真空环境中，在分子流态下，经过叶片的气体分子的平均自由程远远大于叶片通道的几何尺寸，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，形成气体分子的定向运动。
[0003]现有技术中静叶片分子泵流态的获取是通过电机带动轴系零部件，在动静叶列组合状态下，实现气体分子的定向流动，并获取相应的高抽速与压缩比，其中，如图1所示，静叶片包括内环面a1。
[0004]但是上述的静叶片分子泵，气体分子通过射向的动叶片和静叶片实现气体分子的定向运动时，存在部分气体分子在静叶片上下内环面区域做无序运动，进而会产生较多反流，影响分子泵压缩比，进而影响分子泵的综合抽气性能。

技术实现思路

[0005]因此，本技术所要解决的技术问题在于现有技术中的静叶片分子泵，气体分子通过射向动叶片和静叶片实现气体分子的定向运动时，存在部分气体分子在静叶片上下内环面区域做无序运动，进而会产生较多反流，影响分子泵压缩比，进而影响分子泵的综合抽气性能。
[0006]为此，本技术提供一种静叶片结构，适于与动叶片分层交替设置，所述动叶片适于连接驱动电机轴系端，包括：
[0007]静叶片内环；
[0008]若干间隔设置的叶齿，设置在所述静叶片内环径向方向上的外周侧；
[0009]导引结构，设于所述静叶片内环轴向端面上，所述导引结构具有若干导流通道；
[0010]其中，所述导引结构具有在驱动电机驱动动叶片转动，转动的动叶片驱动气体分子向叶齿定向运动时，引导所述静叶片内环表面上无序运动的气体分子沿着导流通道运动的导引状态。
[0011]可选地，所述导引结构为设置在所述静叶片内环轴向端面上的沟槽。
[0012]可选地，静叶片结构还包括加强筋，所述加强筋设于所述沟槽内，以将所述沟槽分为多份。
[0013]可选地，所述沟槽通过加强筋等分为多份。
[0014]可选地，所述沟槽通过加强筋等分为4
‑
16份。
[0015]可选地，所述导引结构包括
[0016]第一导引结构，设于所述静叶片内环第一端面上；
[0017]第二导引结构，设于所述静叶片内环第二端面上，所述第一端面与所述第二端面沿所述静叶片内环轴向相对设置。
[0018]可选地，所述第一导引结构包括第一沟槽；
[0019]所述第二导引结构包括第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽对气体分子引导方向相同。
[0020]可选地，所述第一导引结构包括第一沟槽；
[0021]所述第二导引结构包括第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽对气体分子引导方向相反。
[0022]可选地，静叶片结构还包括静叶片外环，所述静叶片外环设于所述叶齿外侧，以支撑所述静叶片内环和所述叶齿，且隔离所述动叶片。
[0023]一种分子泵，包括静叶片结构、动叶片和驱动电机，所述静叶片结构与所述动叶片分层交替设置，所述动叶片和驱动电机轴系端连接，所述静叶片结构为上述所述的静叶片结构，所述静叶片内环与所述动叶片同轴设置。
[0024]本技术提供的技术方案，具有如下优点：
[0025]1.本技术提供一种静叶片结构，适于与动叶片分层交替设置，所述动叶片适于连接驱动电机轴系端，静叶片结构包括静叶片内环、若干间隔设置的叶齿和导引结构，其中，静叶片内环一侧适于放置动叶片；若干间隔设置的叶齿设置在所述静叶片内环径向方向上的外周侧；导引结构设于所述静叶片内环轴向端面上，所述导引结构具有若干导流通道；其中，所述导引结构具有在驱动电机驱动动叶片转动，转动的动叶片驱动气体分子向叶齿定向运动时，引导所述静叶片内环表面上无序运动的气体分子沿着导流通道运动的导引状态。
[0026]此结构的静叶片结构，通过在静叶片内环轴向端面上设置有导引结构，导引结构具有若干导流通道，使得在动叶片在驱动电机驱动下转动时以驱动气体分子向叶齿间定向运动时，静叶片内环表面上无序运动的的气体分子会落入设置在静叶片内环表面的导流通道内，导流通道能够引导气体分子按照导流通道的形状定向运动，改变了静叶片内环表面气体分子的无序运动，进而减少气体分子反流，提高分子泵压缩比，进而提高分子泵的抽气性能。
[0027]2.本技术提供一种静叶片结构，所述第一导引结构包括第一沟槽；所述第二导引结构包括第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽对气体分子引导方向相同。
[0028]此结构的静叶片结构，通过将第一沟槽与所述第二沟槽对气体分子引导方向设置相同，使得在分子泵中动叶片高速转动下，静叶片内环第一端面和第二端面上的气体分子在第一沟槽和第二沟槽牵引下运动向静叶片内环面外侧，在静叶片内环面外侧形成动密封，使更多的气体分子向前级低真空侧运动，提高了分子泵压缩比，进而提高分子泵的综合抽气性能，且不需要增加静叶片与泵的几何尺寸，并有效减重。
[0029]3.本技术提供一种静叶片结构，所述第一导引结构包括第一沟槽；所述第二导引结构包括第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽对气体分子引导方向相反。
[0030]此结构的静叶片结构，通过将所述第一沟槽与所述第二沟槽对气体分子引导方向设置相反，使得分子泵中动叶片在高速转动下，静叶片内环第一端面上气体分子在第一沟槽牵引下运动向静叶片内环内侧，再由静叶片内环第二端面上第二沟槽牵引下运动向静叶片内环外侧，进而运动向叶齿实现气体分子的定向运动，不需要增加静叶片与泵的几何尺寸并有效减重，同时提高了分子泵的综合抽气性能。
附图说明
[0031]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0032]图1为现有技术中的静叶片的结构示意图；
[0033]图2为本技术的实施例中提供静叶片结构的结构示意视图；
[0034]图3A为本技术的实施例1中提供的静叶片结构中静叶片内环第一端面上的第一导引结构的结构示意视图；
[0035]图3B为本技术的实施例1中提供的静叶片结构中静叶片内环第二端面上的第二导引结构的结构示意视图；
[0036]图4A为本技术的实施例2中提供的静叶片结构中静叶片内环第一端面上的第一导引结构的结构示意视图；
[0037]图4B为本技术的实施例2中提供的静叶片结构中静叶片内环第二端面上的第二导引结构的结构示意视图；
[0038]图5为本技术的实施例中提供静叶片结构的加强筋的结构示意图；
[0039]附图标记说明：
[0040]1‑
静叶片内环；
[0041]2‑
叶齿；
[0042]3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静叶片结构，适于与动叶片分层交替设置，所述动叶片适于连接驱动电机轴系端，其特征在于，包括：静叶片内环；若干间隔设置的叶齿，设置在所述静叶片内环径向方向上的外周侧；导引结构，设于所述静叶片内环轴向端面上，所述导引结构具有若干导流通道；其中，所述导引结构具有在驱动电机驱动动叶片转动，转动的动叶片驱动气体分子向叶齿间定向运动时，引导所述静叶片内环表面上无序运动的气体分子沿着导流通道运动的导引状态。2.根据权利要求1所述的静叶片结构，其特征在于，所述导引结构为设置在所述静叶片内环轴向端面上的沟槽。3.根据权利要求2所述的静叶片结构，其特征在于，还包括加强筋，所述加强筋设于所述沟槽内，以将所述沟槽分为多份。4.根据权利要求3所述的静叶片结构，其特征在于，所述沟槽通过加强筋等分为多份。5.根据权利要求4所述的静叶片结构，其特征在于，所述沟槽通过加强筋等分为4
‑
16份。6.根据权利要求1
‑
5中任意一项所述的静叶片结构，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓高飞，杨金亮，王浩为，张鹏，
申请(专利权)人：北京中科九微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：