一种分子泵机组制造技术

本技术提供一种分子泵机组，属于真空泵技术领域，包括：主控箱和分子泵，所述主控箱适于与外部电源连接，所述主控箱内设置有加热控制单元；所述分子泵与所述主控箱电连接，在所述分子泵的底部设置有加热装置，所述加热装置与所述加热控制单元电连接；在使用时，所述主控箱接通外部电源，通过所述主控箱的加热控制单元控制所述分子泵底部设置的所述加热装置对所述分子泵内部进行加热，使所述分子泵内部温度维持在启停的设定温度，避免了所述分子泵在低温环境下启动不正常造成元件损坏；本技术提供的分子泵机组，解决了常规分子泵在低温环境下启动不正常的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空泵，具体涉及一种分子泵机组。

技术介绍

1、随着分子泵机组市场应用越来越广泛，机组对应用环境的适应性要求越来越强烈。

2、分子泵的润滑油或润滑剂具有很高的粘度(低润滑作用)，在低温下，可能导致轴承润滑不良和分子泵启动电流过大。即使泵看起来启动正常，也可能会对轴承造成一定的损伤，长期来看，这将影响泵的可靠性。因而，常规分子泵机组在低温环境下会发生启动不正常，甚至会造成元器件损坏等现象。

技术实现思路

1、因此，本技术要解决的技术问题在于克服常规分子泵在低温环境下启动不正常的问题，从而提供一种分子泵机组。

2、为了解决上述技术问题，本技术提供一种分子泵机组，包括：

3、主控箱，适于与外部电源连接，所述主控箱设置有加热控制单元；

4、分子泵，与所述主控箱电连接，在所述分子泵的底部设置有加热装置，所述加热装置与所述加热控制单元电连接。

5、可选地，还包括前级泵，所述前级泵的入口与所述分子泵的出口连接。

6、可选地，所述前级泵的外侧罩本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种分子泵机组，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的分子泵机组，其特征在于，还包括前级泵(4)，所述前级泵(4)的入口与所述分子泵(2)的出口连接。

3.根据权利要求2所述的分子泵机组，其特征在于，所述前级泵(4)的外侧罩设有加热壳(5)，所述加热壳(5)与所述加热控制单元电连接。

4.根据权利要求2所述的分子泵机组，其特征在于，所述前级泵(4)的入口处设置有前级阀(6)，所述前级阀(6)设置在所述前级泵(4)和所述分子泵(2)之间。

5.根据权利要求1所述的分子泵机组，其特征在于，所述分子泵(2)的出口端设置有过渡腔(10)。...

【技术特征摘要】

1.一种分子泵机组，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的分子泵机组，其特征在于，还包括前级泵(4)，所述前级泵(4)的入口与所述分子泵(2)的出口连接。

3.根据权利要求2所述的分子泵机组，其特征在于，所述前级泵(4)的外侧罩设有加热壳(5)，所述加热壳(5)与所述加热控制单元电连接。

4.根据权利要求2所述的分子泵机组，其特征在于，所述前级泵(4)的入口处设置有前级阀(6)，所述前级阀(6)设置在所述前级泵(4)和所述分子泵(2)之间。

5.根据权利要求1所述的分子泵机组，其特征在于，所述分子泵(2)的出口端设置有过渡腔(10)。

6.根据权利要求2所述的分子泵机组，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，王成孝，
申请(专利权)人：北京中科九微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：