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本技术提供一种分子泵机组，属于真空泵技术领域，包括：主控箱和分子泵，所述主控箱适于与外部电源连接，所述主控箱内设置有加热控制单元；所述分子泵与所述主控箱电连接，在所述分子泵的底部设置有加热装置，所述加热装置与所述加热控制单元电连接；在使用时...
该专利属于北京中科九微科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科九微科技有限公司授权不得商用。

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