【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施方式涉及磁悬浮分子泵测试。更具体地，本专利技术涉及一种磁悬浮分子泵运行测试装置。
技术介绍
1、磁悬浮分子泵在投入使用前需要进行长时间运行测试。而磁悬浮分子泵在长时间运行测试的过程中，需要磁悬浮分子泵一直保证静止的状态，以保证运行测试结果的准确。
2、现有技术中，磁悬浮分子泵的测试方式存在以下缺点：首先，磁悬浮分子泵在长时间放置于地面上运行时，容易发生误碰。这种误碰可能导致分子泵发生失稳，甚至在极端情况下导致碎泵，严重影响测试的准确性和安全性；其次，若磁悬浮分子泵在测试过程中发生位移，或者存在损坏的零件碎片高速射出，这些情况都可能对其他正在测试的分子泵造成影响。这种相互影响可能导致测试结果的偏差，甚至可能损坏其他分子泵；最后，磁悬浮分子泵在运行时需要接入电源线、控制线、水冷管、真空波纹管等多种线路和管路。这些线路和管路如果杂乱地放在分子泵旁边的地面上，不仅容易造成线路和管路的混乱，还可能给分子泵的拆装和测试过程带来不便。这种不便不仅影响了测试的效率，还可能增加测试过程中的安全隐患。
【技术保护点】
1.一种磁悬浮分子泵运行测试装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵运行测试装置，其特征在于，所述测试平台包括：
3.根据权利要求2所述的磁悬浮分子泵运行测试装置，其特征在于，所述测试平台还包括液位传感器，其设置于所述托盘内，所述测试控制系统还与外部冷却系统和所述液位传感器电连接。
4.根据权利要求2所述的磁悬浮分子泵运行测试装置，其特征在于，所述支撑架体的位于所述平台安装板的下方的区域形成有穿过空间，所述穿过空间包括：沿所述支撑架体的长度方向形成的贯穿通道；和，与所述贯穿通道相连通，且与若干个所述连接结构相对...
【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮分子泵运行测试装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵运行测试装置，其特征在于，所述测试平台包括：
3.根据权利要求2所述的磁悬浮分子泵运行测试装置，其特征在于，所述测试平台还包括液位传感器，其设置于所述托盘内，所述测试控制系统还与外部冷却系统和所述液位传感器电连接。
4.根据权利要求2所述的磁悬浮分子泵运行测试装置，其特征在于，所述支撑架体的位于所述平台安装板的下方的区域形成有穿过空间，所述穿过空间包括：沿所述支撑架体的长度方向形成的贯穿通道；和，与所述贯穿通道相连通，且与若干个所述连接结构相对应的连接通道；其中，所述线缆单元、所述冷却管路以及所述真空管路均设置于所述贯穿通道内，所述线缆单元的一端用于与外部供电装置相连，所述冷却管路的一端用于与外部冷却系统相连，所述真空管路的一端用于与外部真空环境相连，所述线缆单元、所述冷却管路以及所述真空管路的另一端通过各所述连接通道与各待测分子泵泵体相连。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的磁悬浮分子泵运行测试装置，其特征在于，所述连接结构还包括连接螺栓，所述正向连接结构包括正向...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，徐荣辉，刘强，温福强，郑惠曦，孙灵豪，罗珂，王鹏，李三锋，马军，王少伯，宋铠钰，
申请(专利权)人：北京中科九微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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