一种往复运动驱动机构制造技术

本实用新型专利技术提出一种往复运动驱动机构，包括壳体，其内设有第一安装板，电机装配在第一安装板上，电机输出轴穿过第一安装板上的通孔，该输出轴经联轴器与连接轴相连，连接轴穿过设置在壳体内的第二安装板，连接轴与第二安装板转动连接，连接轴上端固定连接转盘，转盘上距离圆心预设位置处设有用于带动横梁移动的连接件，横梁两端分别与对应的滑块相连，滑块与设置在第二安装板上的直线导轨配合；横梁与拉杆相连接，拉杆末端与连接块固连，拉杆上套有伸缩式套管，伸缩式套管的一端固定在连接块处，另一端通过卡环固定在相关装配板上。上述往复运动驱动机构能提高密封性，防止腔室内的液体侵蚀拉杆，能有效避免液体通过驱动机构与腔室的连接处外泄。与腔室的连接处外泄。与腔室的连接处外泄。

【技术实现步骤摘要】
一种往复运动驱动机构


[0001]本技术涉及驱动机构
，尤其涉及一种往复运动驱动机构。

技术介绍

[0002]在机械制造及电子设备生产行业中，例如在显示器生产前制程工艺中，基板需要在腔室内进行清洗或者刻蚀工艺，为了确保基板的清洗效果或者刻蚀的均一性，基板上部的喷嘴需要做摇摆往复运动，使清洗液或者刻蚀液能均匀喷洒在玻璃基板上，从而保证基板的工艺效果。喷嘴做摇摆往复运动，工作原理是将电机的圆周运动，通过连杆转换成拉杆的直线往复运动，拉杆和喷淋管通过连接件进行连接，再将拉杆的直线往复运动转换成喷淋管的往复摇摆运动。
[0003]现有的往复运动驱动机构是通过电机旋转带动圆盘旋转，在圆盘上距离旋转中心一定距离安装一个凸轮轴承，处于圆盘上方的横梁经滑块与直线导轨连接，凸轮轴承处在横梁上的长孔内，因此当圆盘转动时，凸轮轴承会带着横梁沿着直线导轨往复移动，从而将电机的旋转运动转换成横梁的直线往复运动。
[0004]由于基板在腔室内进行清洗或者刻蚀工艺，因此腔室内会有大量的液体，现有的往复运动驱动机构密封性不够，很难避免腔室内的液体侵蚀拉杆，并且液体也可能通过驱动机构与腔室的连接处外泄，造成环境污染。另外，目前的拉杆和横梁是通过设在横梁上部的一个转接块进行连接的，这样会导致拉杆相对于横梁有一定的力矩，进而导致凸轮轴承受力过大，使凸轮轴承和横梁之间磨损比较严重，需要定期更换横梁和凸轮轴承。

技术实现思路

[0005]为了解决现有技术中存在的问题，本申请提出了一种往复运动驱动机构，以便提高机构的密封性，防止腔室内的液体侵蚀拉杆，且能有效避免液体通过驱动机构与腔室的连接处外泄。
[0006]为了实现上述目的，本申请提出了一种往复运动驱动机构，包括壳体，在所述壳体内设有第一安装板，电机装配在所述第一安装板上，且所述电机的输出轴穿过所述第一安装板上的通孔，所述电机的输出轴经联轴器与连接轴相连接，所述连接轴穿过设置在所述壳体内的第二安装板，且所述连接轴与所述第二安装板转动连接，所述连接轴上端固定连接有转盘，所述转盘上距离圆心预设位置处设有用于带动横梁移动的连接件，所述连接件处在所述横梁的长孔内，所述横梁的两端分别与对应的滑块相连接，所述滑块与设置在所述第二安装板上的直线导轨相配合；所述横梁与拉杆相连接，所述拉杆的末端与连接块固定连接，所述拉杆上套有伸缩式套管，所述伸缩式套管的一端固定在所述连接块处，所述伸缩式套管的另一端通过卡环固定在相关装配板上。
[0007]在一些实施例中，所述连接轴经轴承与轴承座相连接，所述轴承座与所述第二安装板相连接，在所述连接轴上还螺纹连接有限位螺母，所述限位螺母与所述轴承相接触，用于对所述轴承进行限位。
[0008]在一些实施例中，所述转盘上间隔的设有多个连接孔，所有连接孔相距转盘圆心的距离不同，在任意一个连接孔处连接有用于带动横梁移动的连接件。
[0009]在一些实施例中，所述连接件固定在连接孔处，或者，所述连接件转动连接在所述连接孔处。
[0010]在一些实施例中，所述横梁与拉杆处于同一水平位置。
[0011]在一些实施例中，在所述伸缩式套管与连接块之间设有第一密封圈，所述第一密封圈用于将所述伸缩式套管与连接块之间的缝隙进行密封。
[0012]在一些实施例中，所述拉杆上设有凸起部，当所述拉杆与连接块螺纹固定连接时，通过所述凸起部以及连接块将所述伸缩式套管的一端夹紧固定。
[0013]在一些实施例中，在所述伸缩式套管与拉杆凸起部之间设有第二密封圈，所述第二密封圈用于将所述伸缩式套管与拉杆凸起部之间的缝隙进行密封。
[0014]在一些实施例中，在所述伸缩式套管的另一端还设有第三密封圈，所述第三密封圈用于将所述伸缩式套管与装配板之间的缝隙进行密封。
[0015]本申请的该方案的有益效果在于上述往复运动驱动机构能够提高机构的密封性，防止腔室内的液体侵蚀拉杆，且能有效避免液体通过驱动机构与腔室的连接处外泄，造成环境污染；另外通过将拉杆与横梁直接连接，使二者处于同一水平位置，能够有效降低凸轮轴承以及横梁的更换频率、减少设备的维护时间。
附图说明
[0016]图1示出了实施例中往复运动驱动机构的立体结构示意图。
[0017]图2示出了实施例中往复运动驱动机构的剖面结构示意图。
[0018]图3示出了实施例中往复运动驱动机构的局部结构示意图。
[0019]图4示出了实施例中伸缩式波纹管与卡环的连接关系示意图。
[0020]图5示出了实施例中拉杆的局部结构示意图。
[0021]附图标记：1
‑
壳体，2
‑
第一安装板，3
‑
电机，4
‑
联轴器，5
‑
连接轴，6
‑
转盘，7
‑
轴承，8
‑
轴承座，9
‑
第二安装板，10
‑
限位螺母，11
‑
凸轮轴承，12
‑
横梁，13
‑
长孔，14
‑
滑块，15
‑
直线导轨，16
‑
拉杆，17
‑
连接块，18
‑
伸缩式套管，19
‑
第一密封圈，20
‑
第二密封圈，21
‑
卡环，22
‑
第三密封圈，23
‑
凸起部，24
‑
连接部。
具体实施方式
[0022]下面结合附图对本申请的具体实施方式作进一步的说明。
[0023]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不是用于描述或表示特定的顺序或先后次序，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0024]如图1～5所示，本申请所涉及的往复运动驱动机构包括壳体1，所述壳体1用于固定在预设位置处，在所述壳体1内设有第一安装板2，电机3装配在所述第一安装板2上，且所述电机3的输出轴穿过所述第一安装板2上的通孔，所述电机3的输出轴经联轴器4与连接轴
5相连接，所述连接轴5穿过设置在所述壳体1内的第二安装板9，且所述连接轴5与所述第二安装板9转动连接，在本实施例中，所述连接轴5经轴承7与轴承座8相连接，所述轴承座8与所述第二安装板9相连接，在所述连接轴5上还螺纹连接有限位螺母10，所述限位螺母10与所述轴承7相接触，用于对所述轴承7进行限位。
[0025]所述连接轴5上端固定连接有转盘6，所述转盘6上间隔的设有多个连接孔，所有连接孔相距转盘6圆心的距离不同，也就是说各个连接孔所在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种往复运动驱动机构，其特征在于：包括壳体，在所述壳体内设有第一安装板，电机装配在所述第一安装板上，且所述电机的输出轴穿过所述第一安装板上的通孔，所述电机的输出轴经联轴器与连接轴相连接，所述连接轴穿过设置在所述壳体内的第二安装板，且所述连接轴与所述第二安装板转动连接，所述连接轴上端固定连接有转盘，所述转盘上距离圆心预设位置处设有用于带动横梁移动的连接件，所述连接件处在所述横梁的长孔内，所述横梁的两端分别与对应的滑块相连接，所述滑块与设置在所述第二安装板上的直线导轨相配合；所述横梁与拉杆相连接，所述横梁与拉杆处于同一水平位置，所述拉杆的末端与连接块固定连接，所述拉杆上套有伸缩式套管，所述伸缩式套管的一端固定在所述连接块处，所述伸缩式套管的另一端通过卡环固定在相关装配板上。2.根据权利要求1所述的往复运动驱动机构，其特征在于：所述连接轴经轴承与轴承座相连接，所述轴承座与所述第二安装板相连接，在所述连接轴上还螺纹连接有限位螺母，所述限位螺母与所述轴承相接触，用于对所述轴承进行限位。3.根据权利要求1所述的往复运动驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：于德意，王育才，韩冬，
申请(专利权)人：山东瑞翼德科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：