本实用新型专利技术提出一种驱动装置，包括装配在第一安装板上的电机，电机输出轴穿过第一安装板上的通孔，该输出轴经联轴器与连接轴相连接，第一安装板经连板与第二安装板固定连接，连接轴穿过所述第二安装板上的通孔，所述连接轴经至少两个轴承与套管相连接，在所述套管上设有用于限制轴承移动的限位机构，所述套管固定在第三安装板上，所述第二安装板和第三安装板相互配合使用，用于将所述驱动装置装配在带有通孔的装配板处，在所述连接轴上还设有防护罩，所述防护罩随着连接轴的转动而转动，所述防护罩罩住所述套管，在所述连接轴上还设有齿轮，所述齿轮用于与待驱动的驱动轴上的齿轮相啮合。上述驱动装置能提高传动精度、具有很好的密封性。的密封性。的密封性。
【技术实现步骤摘要】
驱动装置
[0001]本技术涉及机械设备
，尤其涉及一种驱动装置。
技术介绍
[0002]在机械制造及电子设备生产行业中，常用到驱动装置，例如在基板搬送设备中，基板通常是采用腔室内多个传送轴进行传送，驱动传送轴转动通常采用电机驱动，即电机通过某种形式将输出的扭矩传递给驱动轴，驱动轴通过齿轮或者同步带再将扭矩传递给所有的传送轴，这样就可以实现传送轴同步转动，从而将基板按照设定的速度向前传送。
[0003]目前电机通过同步带或者链传动将扭矩传递给驱动轴，一般情况下是在腔室的侧面开一个方口，将电机固定在腔室的外部，然后将同步带或者链条一头穿过侧面的方口和电机轴进行连接，另一头和腔室内部的驱动轴连接，这样当电机转动的时候，就可以将扭矩传递给驱动轴了。但是上述解决方案存在以下缺点：
[0004](1)同步带运转一段时间后，需要定期张紧，张紧时间不好掌握。
[0005](2)链传动磨损比较严重，磨损的碎屑会有污染基板的风险。
[0006](3)由于在腔室侧面开口，当腔室内部具有水蒸气时，很容易导致腔室内部的水蒸气侵蚀电机轴。
技术实现思路
[0007]为了解决现有技术中存在的问题，本申请提出了一种驱动装置，该驱动装置不存在同步带或者链传动所存在的问题，其还能够提高传动精度，以及具有很好的密封性，能够尽可能的避免腔室内部的水蒸气侵蚀电机轴。
[0008]为了实现上述目的，本申请提出了一种驱动装置，包括装配在第一安装板上的电机，所述电机输出轴穿过所述第一安装板上的通孔，该输出轴经联轴器与连接轴相连接，所述第一安装板经连板与第二安装板固定连接，所述连接轴穿过所述第二安装板上的通孔，所述连接轴经至少两个轴承与套管相连接，在所述套管上设有用于限制轴承移动的限位机构，所述套管固定在第三安装板上，所述第二安装板和第三安装板相互配合使用，用于将所述驱动装置装配在带有通孔的装配板处，在所述连接轴上还设有防护罩，所述防护罩随着连接轴的转动而转动，所述防护罩罩住所述套管，在所述连接轴上还设有齿轮，所述齿轮用于与待驱动的驱动轴上的齿轮相啮合。
[0009]在一些实施例中，在所述第三安装板处设有第一密封圈，所述第一密封圈用于将所述第三安装板与装配板的连接处进行密封；在所述第三安装板与套管之间设有第二密封圈，通过所述第二密封圈将所述第三安装板和套管的连接处进行密封。
[0010]在一些实施例中，所述防护罩经第三密封圈与所述连接轴过盈配合。
[0011]在一些实施例中，所述限位机构包括设置在所述套管两端的挡板。
[0012]在一些实施例中，在所述连接轴上或者在所述防护罩内设有第四密封圈，所述第四密封圈随着连接轴的转动而转动，所述第四密封圈与其中一个挡板相接触，所述第四密
封圈用于对所述挡板与连接轴或者防护罩之间的间隙进行密封；在所述连接轴上设有第五密封圈，所述第五密封圈随着连接轴的转动而转动，所述第五密封圈与另一个挡板相接触，所述第五密封圈用于对所述挡板与连接轴之间的间隙进行密封。
[0013]在一些实施例中，所述挡板采用耐摩擦材料制成。
[0014]在一些实施例中，所述套管的侧壁上设有通气孔，所述通气孔处设有气管接头，所述气管接头用于与气源相连接。
[0015]在一些实施例中，所述连接轴呈阶梯式，所述齿轮处的连接轴的直径最小。
[0016]在一些实施例中，在所述防护罩与齿轮之间的连接轴上设有垫块，所述垫块随着连接轴的转动而转动，所述垫块用于防止液体进入防护罩内，且还用于使所述防护罩与齿轮的位置相对固定。
[0017]在一些实施例中，在所述第一安装板和第二安装板之间还可拆卸的设有透明板，所述第一安装板、第二安装板、连板以及透明板围成一个区域，所述电机的输出轴、联轴器以及部分连接轴处在该区域内。
[0018]本申请的该方案的有益效果在于上述驱动装置不存在同步带或者链传动所存在的问题，其还能够提高传动精度、以及具有很好的密封性，能够尽可能的避免腔室内部的水蒸气侵蚀电机轴。
附图说明
[0019]图1示出了实施例中驱动装置的立体结构示意图。
[0020]图2示出了实施例中驱动装置的剖面结构示意图。
[0021]附图标记：1
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电机，2
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联轴器，3
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连接轴，4
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第一安装板，5
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连板，6
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第二安装板，7
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透明板，8
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通孔，9
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第三安装板，10
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第一密封圈，11
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套管，12
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第二密封圈，13
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轴承，14
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挡板，15
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防护罩，16
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第三密封圈，17
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齿轮，18
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挡块，19
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第四密封圈，20
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第五密封圈，21
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垫块，22
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通气孔。
具体实施方式
[0022]下面结合附图对本申请的具体实施方式作进一步的说明。
[0023]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不是用于描述或表示特定的顺序或先后次序，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0024]如图1～2所示，本申请所涉及的驱动装置包括装配在第一安装板4上的电机1，所述电机1的输出轴穿过所述第一安装板4上的通孔，该输出轴经联轴器2与连接轴3相连接，所述第一安装板4经连板5与第二安装板6固定连接，使所述第一安装板4、连板5以及第二安装板6形成稳固的结构，所述连接轴3穿过所述第二安装板6上的通孔8，所述连接轴3经至少两个轴承13与套管11相连接，在所述套管11上设有用于限制轴承13移动的限位机构，所述套管11固定在第三安装板9上，例如在所述套管11的外壁处沿周向设有凸起连接部，通过法兰连接的方式将所述套管11与第三安装板9进行固定，所述套管11的设置能够防止所述连
接轴3发生抖动；所述第二安装板6和第三安装板9相互配合使用，用于将所述驱动装置装配在带有通孔的装配板处，在本实施例中，所述装配板为腔室的底板，使所述第二安装板6处于腔室底板的下表面，使所述第三安装板9处于腔室底板的上表面，通过法兰连接的方式将所述第二安装板6、腔室的底板以及第三安装板9固定在一起，这样便将所述驱动装置固定在腔室上，且所述连接轴3处于竖直状态。在所述连接轴3上还设有防护罩15，所述防护罩15随着连接轴3的转动而转动，所述防护罩15罩住所述套管11，当所本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种驱动装置，其特征在于：包括装配在第一安装板上的电机，所述电机输出轴穿过所述第一安装板上的通孔，该输出轴经联轴器与连接轴相连接，所述第一安装板经连板与第二安装板固定连接，所述连接轴穿过所述第二安装板上的通孔，所述连接轴经至少两个轴承与套管相连接，在所述套管上设有用于限制轴承移动的限位机构，所述套管固定在第三安装板上，所述第二安装板和第三安装板相互配合使用，用于将所述驱动装置装配在带有通孔的装配板处，在所述连接轴上还设有防护罩，所述防护罩随着连接轴的转动而转动，所述防护罩罩住所述套管，在所述连接轴上还设有齿轮，所述齿轮用于与待驱动的驱动轴上的齿轮相啮合。2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于：在所述第三安装板处设有第一密封圈，所述第一密封圈用于将所述第三安装板与装配板的连接处进行密封；在所述第三安装板与套管之间设有第二密封圈，通过所述第二密封圈将所述第三安装板和套管的连接处进行密封。3.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于：所述防护罩经第三密封圈与所述连接轴过盈配合。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的驱动装置，其特征在于：所述限位机构包括设置在所述套管两端的挡板。5.根据权利要求4所述的驱动装置，其特征在于：在所述连接轴...
【专利技术属性】
技术研发人员：于德意，乔佳原，韩冬，
申请(专利权)人：山东瑞翼德科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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