【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于晶圆加工，具体涉及一种晶圆吸附装置及晶圆加工机。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，对晶圆进行加工时会用到晶圆吸附装置；
2、传统的晶圆吸附装置包括吸盘、连接部、吸附槽、密封圈、压板、安装座、防掉件、第一边、升降驱动件、第二边和水平转轴等结构，该晶圆吸附装置的优点在于，通过密封圈本身材料的软塑性使密封圈可以变形，从而更好的对晶圆进行吸附固定，通过防掉件对吸附的晶圆进行加固；
3、然而当被固定的晶圆的边缘发生下沉时，防掉件的靠近会对晶圆造成挤压，防掉件的挤压会导致晶圆发生破碎，使得晶圆吸附装置对晶圆的吸附效果并不理想，急需改进。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种晶圆吸附装置及晶圆加工机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆吸附装置，包括第一限位安装板，所述第一限位安装板的下表面设置有限位输气管，限位输气管远离第一限位安装板的一端设置有第一弹性吸附管，第一限位安装板的上表面设置有与限位输气管相对应的气压控制器，限位输气管的顶部设置有调节机构，调节机构的顶部设置有加固机构，调节机构包括第二可调节输气管，第二可调节输气管与限位输气管密封滑动连接，第二可调节输气管的底部固定连接有第三弹性吸附管，第二可调节输气管的顶部固定连接有第二限位圆环，第二可调节输气管的上方设置有与限位
3、作为本专利技术进一步的方案：所述第二高度调节件为液压缸或电动伸缩杆。
4、作为本专利技术再进一步的方案：所述第二可调节输气管的顶部密封滑动连接有第一可调节输气管，第一可调节输气管的底部固定连接有第二弹性吸附管，第一可调节输气管的顶部设置有第一限位圆环，第二限位圆环的下表面设置有若干个用于配合第一限位圆环对第一可调节输气管起到高度调节作用的第一高度调节件。
5、作为本专利技术再进一步的方案：所述加固机构包括第三高度调节件，第三高度调节件的顶部固定连接有与限位防护罩相对应的限位固定板，第三高度调节件远离限位防护罩的一侧设置有第二限位安装板，第三高度调节件的底部固定连接有用于驱动第二限位安装板进行横向移动的位置调节件，第二限位安装板的底部固定连接有第一传动件，第一传动件的伸缩端设置有可调节加固板。
6、作为本专利技术再进一步的方案：所述可调节加固板靠近第二限位安装板的一端固定连接有与第一传动件滑动连接的第一限位套管。
7、作为本专利技术再进一步的方案：所述限位固定板的侧面固定连接有第二传动件，第二传动件的底部设置有与第一传动件相连通的柔性连接管，第二传动件的顶部固定连接有限位传动板，限位传动板的底部固定连接有用于配合第一可调节输气管对限位传动板起到高度调节作用的弹性防护件。
8、作为本专利技术再进一步的方案：所述弹性防护件为弹簧或弹性橡胶带。
9、作为本专利技术再进一步的方案：所述第二传动件的顶部固定连接有与限位传动板滑动连接的第二限位套管。
10、一种晶圆加工机，包括如上述所述的晶圆吸附装置。
11、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术结构简单，使用方便，使用时通过多结构的相互配合，使晶圆吸附装置可以适用于不同型号的晶圆的吸附，提升晶圆吸附装置的适用性，其次，本专利技术通过多结构的相互配合，使晶圆吸附装置可以对边缘下沉的晶圆进行加固，使晶圆吸附装置对晶圆的吸附固定效果更好，值得推广和使用。
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1.一种晶圆吸附装置，包括第一限位安装板，其特征在于：所述第一限位安装板的下表面设置有限位输气管，限位输气管远离第一限位安装板的一端设置有第一弹性吸附管，第一限位安装板的上表面设置有与限位输气管相对应的气压控制器，限位输气管的顶部设置有调节机构，调节机构的顶部设置有加固机构，调节机构包括第二可调节输气管，第二可调节输气管与限位输气管密封滑动连接，第二可调节输气管的底部固定连接有第三弹性吸附管，第二可调节输气管的顶部固定连接有第二限位圆环，第二可调节输气管的上方设置有与限位输气管固定连接的限位防护罩，限位防护罩的顶部设置有用于配合第二限位圆环对第二可调节输气管起到高度调节作用的第二高度调节件。
2.根据权利要求1所述的晶圆吸附装置，其特征在于：所述第二高度调节件为液压缸或电动伸缩杆。
3.根据权利要求1所述的晶圆吸附装置，其特征在于：所述第二可调节输气管的顶部密封滑动连接有第一可调节输气管，第一可调节输气管的底部固定连接有第二弹性吸附管，第一可调节输气管的顶部设置有第一限位圆环，第二限位圆环的下表面设置有若干个用于配合第一限位圆环对第一可调节输气管起到高度调
4.根据权利要求3所述的晶圆吸附装置，其特征在于：所述加固机构包括第三高度调节件，第三高度调节件的顶部固定连接有与限位防护罩相对应的限位固定板，第三高度调节件远离限位防护罩的一侧设置有第二限位安装板，第三高度调节件的底部固定连接有用于驱动第二限位安装板进行横向移动的位置调节件，第二限位安装板的底部固定连接有第一传动件，第一传动件的伸缩端设置有可调节加固板。
5.根据权利要求4所述的晶圆吸附装置，其特征在于：所述可调节加固板靠近第二限位安装板的一端固定连接有与第一传动件滑动连接的第一限位套管。
6.根据权利要求5所述的晶圆吸附装置，其特征在于：所述限位固定板的侧面固定连接有第二传动件，第二传动件的底部设置有与第一传动件相连通的柔性连接管，第二传动件的顶部固定连接有限位传动板，限位传动板的底部固定连接有用于配合第一可调节输气管对限位传动板起到高度调节作用的弹性防护件。
7.根据权利要求6所述的晶圆吸附装置，其特征在于：所述弹性防护件为弹簧或弹性橡胶带。
8.根据权利要求6所述的晶圆吸附装置，其特征在于：所述第二传动件的顶部固定连接有与限位传动板滑动连接的第二限位套管。
9.一种晶圆加工机，其特征在于：包括如权利要求1-8任一所述的晶圆吸附装置。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆吸附装置，包括第一限位安装板，其特征在于：所述第一限位安装板的下表面设置有限位输气管，限位输气管远离第一限位安装板的一端设置有第一弹性吸附管，第一限位安装板的上表面设置有与限位输气管相对应的气压控制器，限位输气管的顶部设置有调节机构，调节机构的顶部设置有加固机构，调节机构包括第二可调节输气管，第二可调节输气管与限位输气管密封滑动连接，第二可调节输气管的底部固定连接有第三弹性吸附管，第二可调节输气管的顶部固定连接有第二限位圆环，第二可调节输气管的上方设置有与限位输气管固定连接的限位防护罩，限位防护罩的顶部设置有用于配合第二限位圆环对第二可调节输气管起到高度调节作用的第二高度调节件。
2.根据权利要求1所述的晶圆吸附装置，其特征在于：所述第二高度调节件为液压缸或电动伸缩杆。
3.根据权利要求1所述的晶圆吸附装置，其特征在于：所述第二可调节输气管的顶部密封滑动连接有第一可调节输气管，第一可调节输气管的底部固定连接有第二弹性吸附管，第一可调节输气管的顶部设置有第一限位圆环，第二限位圆环的下表面设置有若干个用于配合第一限位圆环对第一可调节输气管起到高度调节作用的第一高度调节件。
4.根据权利要求3所述的晶圆吸附装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：王育才，崔铭博，
申请(专利权)人：山东瑞翼德科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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