【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于晶圆清洗，具体涉及一种晶圆自动清洗装置。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，晶圆的原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨、抛光和切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，对晶圆进行清洗时会用到相应的清洗装置；
2、传统的清洗装置包括基座、箱体、清洗板、伺服电机、丝杆、清洗头、水管、水泵、进水口、出水口、第一水箱、加热板和第二水箱等结构，该清洗装置的优点在于，可以对多个晶圆进行清洗；
3、然而传统的清洗装置在使用时，仅通过清洗头的横向移动对晶圆进行简单清洗，存在清洗死角，导致清洗装置对晶圆的清洁效果并不理想，急需改进。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种晶圆自动清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆自动清洗装置，包括防护外壳，所述防护外壳的内部设置有用于对晶圆起到支撑作用的支撑机构、用于对支撑机构起到支撑作用的供料机构、用于配合支撑机构和供料机构对晶圆起到清洁和干燥作用的清洗机构，清洗机构设置在供料机构的顶部，支撑机构设置在清洗机构的内部，所述供料机构包括蓄水箱，蓄水箱的一端设置有水泵，蓄水箱的下表面设置有收集箱，收集箱的底部设置有若干个排水管，排水管靠近收集箱的一端设置有电磁阀，收集箱的顶部设置有若干个热鼓风机，所述清洗机构包括与蓄水箱密封转动连接的中空输液罩，中空输液罩顶部的内壁上设置有
3、作为本专利技术进一步的方案：所述中空输液罩的底部套设有与蓄水箱固定连接的限位支撑件，中空输液罩的底部固定连接有用于配合限位支撑件对中空输液罩起到支撑作用的限位圆盘，限位圆盘与限位支撑件滑动连接。
4、作为本专利技术再进一步的方案：所述中空输液罩的内壁上还设置有第一限位支撑板，第一限位支撑板的上表面一端设置有第一驱动板。
5、作为本专利技术再进一步的方案：所述支撑机构包括第三限位支撑板，第三限位支撑板的下表面设置有与收集箱固定连接的中空支撑管，中空支撑管的顶部开设有若干个透气通孔，中空支撑管靠近透气通孔的一端设置有若干个与中空输液罩密封转动连接的封堵圆盘，第三限位支撑板的上方设置有第二限位支撑板，第三限位支撑板的上表面设置有若干个用于对第二限位支撑板起到支撑作用的弹性支撑件，第二限位支撑板的下表面设置有若干个用于配合第一驱动板对第二限位支撑板起到角度调节作用的第二驱动板，第二限位支撑板的上表面活动连接有用于对晶圆起到支撑作用的承载板。
6、作为本专利技术再进一步的方案：所述承载板的下表面设置有第一弹性防滑板，第二限位支撑板的上表面设置有第二弹性防滑板。
7、作为本专利技术再进一步的方案：所述第一弹性防滑板的内部镶嵌有第一限位固定板，第二弹性防滑板的内部镶嵌有用于配合第一限位固定板对第一弹性防滑板起到固定作用的第二限位固定板。
8、作为本专利技术再进一步的方案：所述防护外壳的侧面设置有若干个用于起到警示作用的警示件。
9、作为本专利技术再进一步的方案：所述警示件为手写荧光板或led灯板。
10、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术结构简单，实用方便，使用时通过多结构的相互配合，使清洁喷头进行旋转，并且在清洁喷头旋转的过程中，驱动晶圆进行浮动倾斜，从而对晶圆进行全方位、无死角的快速、充分清洁，使清洗装置对晶圆的清洁效果更好，其次，本专利技术可以对清洁后的晶圆进行快速、充分干燥，值得推广和使用。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种晶圆自动清洗装置，包括防护外壳，其特征在于：所述防护外壳的内部设置有用于对晶圆起到支撑作用的支撑机构、用于对支撑机构起到支撑作用的供料机构、用于配合支撑机构和供料机构对晶圆起到清洁和干燥作用的清洗机构，清洗机构设置在供料机构的顶部，支撑机构设置在清洗机构的内部，所述供料机构包括蓄水箱，蓄水箱的一端设置有水泵，蓄水箱的下表面设置有收集箱，收集箱的底部设置有若干个排水管，排水管靠近收集箱的一端设置有电磁阀，收集箱的顶部设置有若干个热鼓风机，所述清洗机构包括与蓄水箱密封转动连接的中空输液罩，中空输液罩顶部的内壁上设置有若干个清洁喷头，中空输液罩的一侧设置有驱动器，驱动器的顶部设置有主动齿轮，中空输液罩的底部固定连接有与主动齿轮啮合连接的从动齿轮。
2.根据权利要求1所述的晶圆自动清洗装置，其特征在于：所述中空输液罩的底部套设有与蓄水箱固定连接的限位支撑件，中空输液罩的底部固定连接有用于配合限位支撑件对中空输液罩起到支撑作用的限位圆盘，限位圆盘与限位支撑件滑动连接。
3.根据权利要求2所述的晶圆自动清洗装置，其特征在于：所述中空输液罩的内壁上还设置有第一限
4.根据权利要求3所述的晶圆自动清洗装置，其特征在于：所述支撑机构包括第三限位支撑板，第三限位支撑板的下表面设置有与收集箱固定连接的中空支撑管，中空支撑管的顶部开设有若干个透气通孔，中空支撑管靠近透气通孔的一端设置有若干个与中空输液罩密封转动连接的封堵圆盘，第三限位支撑板的上方设置有第二限位支撑板，第三限位支撑板的上表面设置有若干个用于对第二限位支撑板起到支撑作用的弹性支撑件，第二限位支撑板的下表面设置有若干个用于配合第一驱动板对第二限位支撑板起到角度调节作用的第二驱动板，第二限位支撑板的上表面活动连接有用于对晶圆起到支撑作用的承载板。
5.根据权利要求4所述的晶圆自动清洗装置，其特征在于：所述承载板的下表面设置有第一弹性防滑板，第二限位支撑板的上表面设置有第二弹性防滑板。
6.根据权利要求5所述的晶圆自动清洗装置，其特征在于：所述第一弹性防滑板的内部镶嵌有第一限位固定板，第二弹性防滑板的内部镶嵌有用于配合第一限位固定板对第一弹性防滑板起到固定作用的第二限位固定板。
7.根据权利要求1-6任一所述的晶圆自动清洗装置，其特征在于：所述防护外壳的侧面设置有若干个用于起到警示作用的警示件。
8.根据权利要求7所述的晶圆自动清洗装置，其特征在于：所述警示件为手写荧光板或LED灯板。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动清洗装置，包括防护外壳，其特征在于：所述防护外壳的内部设置有用于对晶圆起到支撑作用的支撑机构、用于对支撑机构起到支撑作用的供料机构、用于配合支撑机构和供料机构对晶圆起到清洁和干燥作用的清洗机构，清洗机构设置在供料机构的顶部，支撑机构设置在清洗机构的内部，所述供料机构包括蓄水箱，蓄水箱的一端设置有水泵，蓄水箱的下表面设置有收集箱，收集箱的底部设置有若干个排水管，排水管靠近收集箱的一端设置有电磁阀，收集箱的顶部设置有若干个热鼓风机，所述清洗机构包括与蓄水箱密封转动连接的中空输液罩，中空输液罩顶部的内壁上设置有若干个清洁喷头，中空输液罩的一侧设置有驱动器，驱动器的顶部设置有主动齿轮，中空输液罩的底部固定连接有与主动齿轮啮合连接的从动齿轮。
2.根据权利要求1所述的晶圆自动清洗装置，其特征在于：所述中空输液罩的底部套设有与蓄水箱固定连接的限位支撑件，中空输液罩的底部固定连接有用于配合限位支撑件对中空输液罩起到支撑作用的限位圆盘，限位圆盘与限位支撑件滑动连接。
3.根据权利要求2所述的晶圆自动清洗装置，其特征在于：所述中空输液罩的内壁上还设置有第一限位支撑板，第一限位支撑板的上表面一端设置有第一驱动板。
4.根据权利要求3所述的晶圆自动清洗装...
【专利技术属性】
技术研发人员：于德意，韩冬，乔佳原，
申请(专利权)人：山东瑞翼德科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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