本实用新型专利技术公开了一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置，涉及热循环装置技术领域，包括底座，所述底座上表面中部固定连接有若干个支撑腿，支撑腿顶端固定连接有保温箱，保温箱内部固定连接有U形回路，U形回路的端部延伸至保温箱左侧外部，U形回路外部罩设有换热组件，U形回路的管路上固定连接有若干个换热腔体，换热腔体内部为中空结构，换热腔体与U形回路相连通，换热组件包括至少一个换热连通管和至少一个换热环，相邻所述换热环之间固定连接有换热连通管，换热环和换热连通管均为中空结构。本实用新型专利技术通过设置换热组件、U形回路和换热腔体，提升热交换的效率，加强收集热能的效果，对药液中的热量进行二次利用。对药液中的热量进行二次利用。对药液中的热量进行二次利用。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置
[0001]本技术涉及热循环装置
，具体是涉及一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置。
技术介绍
[0002]蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的。化学蚀刻需对药液进行加热，蚀刻完毕的药液直接排出，会造成热量的浪费，因而会使用药液热能循环装置。
[0003]但现有的药液热能循环装置在使用时有着效率低下，收集热能效果不理想，对热能的利用效果不佳，药液中的热量仍会大量流失，热能转换效率不高。为解决上述问题，有必要提供一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，提供一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置，本技术方案解决了上述
技术介绍
中提出的现有的药液热能循环装置在使用时有着效率低下，收集热能效果不理想，对热能的利用效果不佳，药液中的热量仍会大量流失，热能转换效率不高的问题。
[0005]为达到以上目的，本技术采用的技术方案为：
[0006]一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置，包括底座，所述底座上表面中部固定连接有若干个支撑腿，支撑腿顶端固定连接有保温箱，保温箱内部固定连接有U形回路，U形回路的端部延伸至保温箱左侧外部，U形回路外部罩设有换热组件，U形回路的管路上固定连接有若干个换热腔体，换热腔体内部为中空结构，换热腔体与U形回路相连通，换热组件包括至少一个换热连通管和至少一个换热环，相邻所述换热环之间固定连接有换热连通管，换热环和换热连通管均为中空结构，换热环罩设在对应所述换热腔体外部，换热连通管罩设在U形回路外部，相邻所述换热连通管之间固定连接有传输管，后侧所述换热连通管的后端固定连接有分流管，前侧所述换热连通管的前端固定连接有合流管。
[0007]优选的，所述分流管后端安装有驱动泵，驱动泵后端安装有对接管，合流管前端固定连接有循环管，底座上表面右侧固定连接有热交换环体，热交换环体关闭为中空结构，对接管和循环管均与热交换环体相连通。
[0008]优选的，所述底座位于热交换环体内部的位置固定连接有内管壁，热交换环体右侧上方固定连接有出药管，热交换环体右侧下方固定连接有进药管。
[0009]优选的，所述U形回路由多个直管和弯管组合构成，弯管连接在相邻所述直管之间，换热腔体均匀分布在U形回路的直管上。
[0010]优选的，所述换热环内腔大于换热腔体，换热腔体和对应所述换热环同心设置，换热连通管内腔直径大与U形回路的直径。
[0011]优选的，所述底座上表面左侧固定连接有分隔板，分隔板正面和背面均固定连接
有药液中转罐，U形回路后侧端部与后侧所述药液中转罐相连通，U形回路前侧端部与前侧所述药液中转罐相连通，后侧所述药液中转罐安装有牵引泵机，牵引泵机后端设置有药液进口，前侧所述药液中转罐设置有药液出口。
[0012]与现有技术相比，本技术提供了一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置，具备以下有益效果：
[0013]通过设置换热组件、U形回路和换热腔体，能充分吸收蚀刻后的药液的热量，并重新循环至热交换环体中，对新的药液进行加热，换热腔体和换热环使得药液与循环液体充分接触，提升热交换的效率，加强收集热能的效果，尽可能多的对药液中的热量进行利用，从而降低热量的浪费。
附图说明
[0014]图1为本技术的立体结构示意图；
[0015]图2为本技术的俯视结构示意图；
[0016]图3为本技术的换热组件结构示意图；
[0017]图4为本技术的U形回路结构示意图；
[0018]图中标号为：
[0019]101、药液进口；102、药液中转罐；103、分隔板；104、底座；105、牵引泵机；106、药液出口；107、支撑腿；108、循环管；109、热交换环体；110、内管壁；111、出药管；112、进药管；
[0020]200、换热组件；201、换热连通管；202、换热环；203、分流管；204、传输管；205、合流管；206、换热腔体；207、U形回路；208、驱动泵；209、保温箱；210、对接管。
具体实施方式
[0021]以下描述用于揭露本技术以使本领域技术人员能够实现本技术。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。
[0022]参照图1
‑
4所示，一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置，包括底座104，所述底座104上表面中部固定连接有若干个支撑腿107，支撑腿107顶端固定连接有保温箱209，保温箱209内部固定连接有U形回路207，U形回路207的端部延伸至保温箱209左侧外部，U形回路207外部罩设有换热组件200，U形回路207的管路上固定连接有若干个换热腔体206，换热腔体206内部为中空结构，换热腔体206与U形回路207相连通，换热组件200包括至少一个换热连通管201和至少一个换热环202，相邻所述换热环202之间固定连接有换热连通管201，换热环202和换热连通管201均为中空结构，换热环202罩设在对应所述换热腔体206外部，换热连通管201罩设在U形回路207外部，相邻所述换热连通管201之间固定连接有传输管204，后侧所述换热连通管201的后端固定连接有分流管203，前侧所述换热连通管201的前端固定连接有合流管205；
[0023]使用时，蚀刻完毕的药液从药液进口101进入后侧的药液中转罐102，并流经U形回路207，最终从前侧的药液中转罐102流出，在经过U形回路207时，药液会经过换热腔体206，换热腔体206放大了接触面积，使得药液与循环的液体能充分接触，将热量充分传递给换热环202中的循环液体，而换热后的循环液体则会从传输管204最终汇流至合流管205，进而通过循环管108进入热交换环体109的腔体内，热交换环体109对储存在热交换环体109和内管
壁110之间的新的药液进行加热，从而实现换热。
[0024]具体的，分流管203后端安装有驱动泵208，驱动泵208后端安装有对接管210，合流管205前端固定连接有循环管108，底座104上表面右侧固定连接有热交换环体109，热交换环体109关闭为中空结构，对接管210和循环管108均与热交换环体109相连通。
[0025]底座104位于热交换环体109内部的位置固定连接有内管壁110，热交换环体109右侧上方固定连接有出药管111，热交换环体109右侧下方固定连接有进药管112，U形回路207由多个直管和弯管组合构成，弯管连接在相邻所述直管之间，换热腔体206均匀分布在U形回路207的直管上。
[0026]换热环202内腔大于换热腔体206，换热腔体206和对应所述换热环202同心设置，换热连通管201内腔直径大与U形回路207的直径，底座104上表面左侧固定连接有分隔板103，分隔板103正面和背面均固定连接有药液中转罐102，U形回路20本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置，其特征在于，包括底座(104)，所述底座(104)上表面中部固定连接有若干个支撑腿(107)，支撑腿(107)顶端固定连接有保温箱(209)，保温箱(209)内部固定连接有U形回路(207)，U形回路(207)的端部延伸至保温箱(209)左侧外部，U形回路(207)外部罩设有换热组件(200)，U形回路(207)的管路上固定连接有若干个换热腔体(206)，换热腔体(206)内部为中空结构，换热腔体(206)与U形回路(207)相连通，换热组件(200)包括至少一个换热连通管(201)和至少一个换热环(202)，相邻所述换热环(202)之间固定连接有换热连通管(201)，换热环(202)和换热连通管(201)均为中空结构，换热环(202)罩设在对应所述换热腔体(206)外部，换热连通管(201)罩设在U形回路(207)外部，相邻所述换热连通管(201)之间固定连接有传输管(204)，后侧所述换热连通管(201)的后端固定连接有分流管(203)，前侧所述换热连通管(201)的前端固定连接有合流管(205)。2.根据权利要求1所述的一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置，其特征在于：所述分流管(203)后端安装有驱动泵(208)，驱动泵(208)后端安装有对接管(210)，合流管(205)前端固定连接有循环管(108)，底座(104)上表面右侧固定连接有热交换环体(109)，热交换环体(109)关闭为中空结...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨志强，卜树强，
申请(专利权)人：苏州奥立登科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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