一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置，涉及热循环装置技术领域，包括底座，所述底座上表面中部固定连接有若干个支撑腿，支撑腿顶端固定连接有保温箱，保温箱内部固定连接有U形回路，U形回路的端部延伸至保温箱左侧外部，U形回路外部罩设有换热组件，U形回路的管路上固定连接有若干个换热腔体，换热腔体内部为中空结构，换热腔体与U形回路相连通，换热组件包括至少一个换热连通管和至少一个换热环，相邻所述换热环之间固定连接有换热连通管，换热环和换热连通管均为中空结构。本实用新型专利技术通过设置换热组件、U形回路和换热腔体，提升热交换的效率，加强收集热能的效果，对药液中的热量进行二次利用。对药液中的热量进行二次利用。对药液中的热量进行二次利用。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置


[0001]本技术涉及热循环装置
，具体是涉及一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置。

技术介绍

[0002]蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的。化学蚀刻需对药液进行加热，蚀刻完毕的药液直接排出，会造成热量的浪费，因而会使用药液热能循环装置。
[0003]但现有的药液热能循环装置在使用时有着效率低下，收集热能效果不理想，对热能的利用效果不佳，药液中的热量仍会大量流失，热能转换效率不高。为解决上述问题，有必要提供一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，提供一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置，本技术方案解决了上述
技术介绍
中提出的现有的药液热能循环装置在使用时有着效率低下，收集热能效果不理想，对热能的利用效果不佳，药液中的热量仍会大量流失，热能转换效率不高的问题。
[0005]为达到以上目的，本技术采用的技术方案为：
[0006]一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置，包括底本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置，其特征在于，包括底座(104)，所述底座(104)上表面中部固定连接有若干个支撑腿(107)，支撑腿(107)顶端固定连接有保温箱(209)，保温箱(209)内部固定连接有U形回路(207)，U形回路(207)的端部延伸至保温箱(209)左侧外部，U形回路(207)外部罩设有换热组件(200)，U形回路(207)的管路上固定连接有若干个换热腔体(206)，换热腔体(206)内部为中空结构，换热腔体(206)与U形回路(207)相连通，换热组件(200)包括至少一个换热连通管(201)和至少一个换热环(202)，相邻所述换热环(202)之间固定连接有换热连通管(201)，换热环(202)和换热连通管(201)均为中空结构，换热环(202)罩设在对应所述换热腔体(206)外部，换热连通管(201)罩设在U形回路(207)外部，相邻所述换热连通管(201)之间固定连接有传输管(204)，后侧所述换热连通管(201)的后端固定连接有分流管(203)，前侧所述换热连通管(201)的前端固定连接有合流管(205)。2.根据权利要求1所述的一种半导体蚀刻药液热能转换循环装置，其特征在于：所述分流管(203)后端安装有驱动泵(208)，驱动泵(208)后端安装有对接管(210)，合流管(205)前端固定连接有循环管(108)，底座(104)上表面右侧固定连接有热交换环体(109)，热交换环体(109)关闭为中空结...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志强，卜树强，
申请(专利权)人：苏州奥立登科技有限公司，
类型：新型
国别省市：