一种晶圆再生用快速甩干设备制造技术

本发明专利技术涉及晶圆技术领域，具体是一种晶圆再生用快速甩干设备，机体、固定安装在机体顶部一侧的顶架和固定安装在机体一侧的底座，还包括下压机构、取料转运机构、导向机构和定位机构，所述下压机构固定安装在顶架一侧，所述下压机构底部固定安装有密封机构，本发明专利技术通过设置有下压机构和取料转运机构，推动甩干架使甩干架带动卡块与卡槽卡合连接，从而使顶板固定安装在推杆底部，再打开气缸使气缸带动推杆提升至最高处，再打开丝杆滑台使丝杆滑台的滑动块带动支撑板移动至底座一侧，再打开电动升降套杆使电动升降套杆带动固定板向下移动使固定板带动固定夹板和活动夹板移动至晶圆两侧，再打开电动滑轨使电动滑轨的滑动块带动活动夹板向内移动。动夹板向内移动。动夹板向内移动。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆再生用快速甩干设备


[0001]本专利技术涉及晶圆
，具体是一种晶圆再生用快速甩干设备。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，晶圆再生过程中需要对晶圆的表面进行彻底的清洗，除去晶圆表面的灰尘污渍和化学残留，在清洗过后晶圆表面会残留大量的水分，需要进行甩干操作，出去晶圆表面的水分。
[0003]现有技术中，存在问题如下：（1）现有的甩干设备在使用时无法更加快速便捷的对晶圆进行上料，在晶圆清洗过后若工作人员手动上料会导致晶圆的二次污染，同时降低了装置的使用效率；（2）现有的甩干设备在使用时无法更好的在甩干过程中对装置内部进行导向稳定，装置长时间高速旋转，容易对装置内部造成晃动，影响甩干的效果。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种晶圆再生用快速甩干设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]本专利技术的技术方案是：一种晶圆再生用快速甩干设备，包括机体、固定安装在机体顶部一侧的顶架和固定安装在机体一侧的底座，还包括下压机构、取料转运机构、导向机构和定位机构，所述下压机构固定安装在顶架一侧，所述下压机构底部固定安装有密封机构，所述密封机构底部固定安装有甩干架，所述甩干架下方设置有限位机构，所述取料转运机构固定安装在底座顶部，所述取料转运机构包括两个分别固定安装在底座顶部两侧的安装板、两个分别固定安装在两个安装板顶部的丝杆滑台、固定安装在两个丝杆滑台的滑动块顶部的支撑板、固定安装在支撑板顶部的电动旋转块、固定安装在电动旋转块顶部的连接板和固定安装在连接板顶部的电动升降套杆，所述导向机构设置在机体内壁，所述定位机构固定安装在甩干架外壁两侧。
[0006]优选的，所述下压机构包括气缸、推杆、连接块、卡槽、卡块和旋转块，所述气缸垂直固定安装在顶架顶部一侧，所述推杆固定连接在气缸的输出端，所述连接块固定安装在推杆底端，所述卡槽开设在连接块底部，所述卡块配合安装在卡槽内侧，所述旋转块固定安装在卡块底部。
[0007]优选的，所述密封机构包括顶板、密封圈、多个分别固定安装在顶板底部两侧的活动块和多个分别配合安装在多个活动块内侧的活动钩，所述顶板固定安装在旋转块底部，所述密封圈固定安装在多个活动钩一侧。
[0008]优选的，所述限位机构包括高速转盘、多个分别固定安装在甩干架底部两侧的限位杆和多个分别开设在高速转盘顶部两侧的限位孔，所述高速转盘固定安装在机体内壁底部。
[0009]优选的，所述取料转运机构还包括固定板、固定夹板、电动滑轨和活动夹板，所述固定板固定安装在电动升降套杆的伸缩端，所述固定夹板固定安装在固定板底部一侧，所述电动滑轨固定安装在固定板底部一侧，所述活动夹板固定安装在电动滑轨的滑动块底部。
[0010]优选的，所述导向机构、四个分别开设在机体内壁的导轨、八个分别配合安装在四个导轨内侧的滑块和八个分别开设在八个滑块一侧的限位槽。
[0011]优选的，所述定位机构包括六个分别固定安装在甩干架外壁两侧的安装块、六个分别固定安装在六个安装块一侧的伸缩套、六个分别固定安装在六个伸缩套内部的固定块和六个分别活动安装在六个伸缩套内侧的伸缩杆，每个所述固定块与伸缩杆之间均连接有一个伸缩弹簧。
[0012]优选的，所述压紧固定机构包括六个分别固定安装在甩干架内壁两侧的支撑块、六个分别固定安装在六个支撑块底部的液压杆、六个分别固定安装在六个液压杆的伸缩端的压板和六个分别固定安装在六个压板底部的防护垫。
[0013]本专利技术通过改进在此提供一种晶圆再生用快速甩干设备，与现有技术相比，具有如下改进及优点：其一：本专利技术通过设置有下压机构和取料转运机构，推动甩干架使甩干架带动卡块与卡槽卡合连接，从而使顶板固定安装在推杆底部，再打开气缸使气缸带动推杆提升至最高处，再打开丝杆滑台使丝杆滑台的滑动块带动支撑板移动至底座一侧，再打开电动升降套杆使电动升降套杆带动固定板向下移动使固定板带动固定夹板和活动夹板移动至晶圆两侧，再打开电动滑轨使电动滑轨的滑动块带动活动夹板向内移动，直至固定夹板和活动夹板将晶圆夹紧固定，再打开电动升降套杆对晶圆进行提升，打开电动旋转块使电动旋转块带动晶圆进行一百八十度旋转，再打开打开丝杆滑台使丝杆滑台的滑动块带动晶圆移动至甩干架的最底层顶部，可以更加便捷快速的对晶圆进行上料，避免工作人员与晶圆触碰，导致晶圆的二次污染，影响后续的使用，同时取料转运机构的设置使上料位置更加的精确，有效的提升装置的使用效率，将晶圆放置在甩干架的最底层顶部后，打开气缸使气缸带动推杆进行延伸，从而带动甩干架向下移动，直至甩干架的中间层与机体平行，再重复上述的上料操作，以此类推将甩干架的三层均进行上料，使装置使用更加的自动化，同时一次性对多块晶圆进行甩干操作，大大提升了装置的使用效率，同时卡槽和卡块设置可以更加便捷的根据不同的使用需求对甩干架进行更换，使用更加的便捷；其二：本专利技术通过设置有导向机构和定位机构，在甩干架向下移动时，定位机构随之进行移动，直至伸缩杆移动至滑块一侧与滑块一侧的限位槽内壁相接触，伸缩杆收到压力，向内收缩，带动伸缩弹簧进行挤压，伸缩弹簧收到挤压产生回弹力，从而使伸缩杆与限位槽之间保持相对稳定，持续向下推动直至每一层的伸缩杆分别卡合固定在对应的限位槽内部，可以更加便捷的对甩干架进行定位，当装置进行高速旋转时可以使甩干架更好的进行稳定，防止重心偏离，影响装置后续的使用，再当机体内部的高速转盘带动甩干架旋转时，甩干架两侧的定位机构带动滑块在导轨内侧进行滑动，对装置起到一个更好的导向作
用，更加确保装置使用过程中的稳定性，避免晃动，导致装置内部的损坏，影响后续的使用。
附图说明
[0014]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步解释:图1是本专利技术的立体结构示意图；图2是本专利技术的剖面结构示意图；图3是本专利技术的取料转运机构结构示意图；图4是本专利技术的压紧固定机构结构示意图；图5是本专利技术的图2中A处放大结构示意图；图6是本专利技术的图1中B处放大结构示意图；图7是本专利技术的图1中C处放大结构示意图。
[0015]附图标记说明：1、机体；2、顶架；3、下压机构；31、气缸；32、推杆；33、连接块；34、卡槽；35、卡块；36、旋转块；4、密封机构；41、顶板；42、活动块；43、活动钩；44、密封圈；5、甩干架；6、限位机构；61、限位杆；62、高速转盘；63、限位孔；7、底座；8、取料转运机构；81、安装板；82、丝杆滑台；83、支撑板；84、电动旋转块；85、连接板；86、电动升降套杆；87、固定板；88、固定夹板；89、电动滑轨；810、活动夹板；9、导向机构；91、导轨；92、滑块；93、限位槽；10、定位机构；101、安装块；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆再生用快速甩干设备，包括机体（1）、固定安装在机体（1）顶部一侧的顶架（2）和固定安装在机体（1）一侧的底座（7），其特征在于：还包括下压机构（3）、取料转运机构（8）、导向机构（9）和定位机构（10），所述下压机构（3）固定安装在顶架（2）一侧，所述下压机构（3）底部固定安装有密封机构（4），所述密封机构（4）底部固定安装有甩干架（5），所述甩干架（5）下方设置有限位机构（6），所述取料转运机构（8）固定安装在底座（7）顶部，所述取料转运机构（8）包括两个分别固定安装在底座（7）顶部两侧的安装板（81）、两个分别固定安装在两个安装板（81）顶部的丝杆滑台（82）、固定安装在两个丝杆滑台（82）的滑动块顶部的支撑板（83）、固定安装在支撑板（83）顶部的电动旋转块（84）、固定安装在电动旋转块（84）顶部的连接板（85）和固定安装在连接板（85）顶部的电动升降套杆（86），所述导向机构（9）设置在机体（1）内壁，所述定位机构（10）固定安装在甩干架（5）外壁两侧。2.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用快速甩干设备，其特征在于：所述下压机构（3）包括气缸（31）、推杆（32）、连接块（33）、卡槽（34）、卡块（35）和旋转块（36），所述气缸（31）垂直固定安装在顶架（2）顶部一侧，所述推杆（32）固定连接在气缸（31）的输出端，所述连接块（33）固定安装在推杆（32）底端，所述卡槽（34）开设在连接块（33）底部，所述卡块（35）配合安装在卡槽（34）内侧，所述旋转块（36）固定安装在卡块（35）底部。3.根据权利要求2所述的一种晶圆再生用快速甩干设备，其特征在于：所述密封机构（4）包括顶板（41）、密封圈（44）、多个分别固定安装在顶板（41）底部两侧的活动块（42）和多个分别配合安装在多个活动块（42）内侧的活动钩（43），所述顶板（41）固定安装在旋转块（36）底部，所述密封圈（44）固定安装在多个活动钩（43）一侧。...

【专利技术属性】
技术研发人员：王思远，陈磊，吴伟，
申请(专利权)人：安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：