隔离阀制造技术

本实用新型专利技术提供了一种隔离阀，应用于干法刻蚀设备中，所述隔离阀包括本体、分子泵连接件、气柜连接件、压缩空气连接件和弹簧，所述弹簧设置于所述本体内，所述分子泵连接件与所述本体的一端部连接，所述气柜连接件与所述本体的侧壁连接，所述压缩空气连接件与所述本体的另一端部连接，所述弹簧的中轴线与所述气柜连接件的中轴线之间的夹角为30

【技术实现步骤摘要】
隔离阀


[0001]本技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种隔离阀。

技术介绍

[0002]在干法刻蚀设备中，有一根由气柜至前级管道的管道，该管道用于通入强腐蚀性气体前，在该管道中通入氮气进行检测性吹扫，吹扫后会将气柜抽成真空状态。
[0003]现有技术中，气柜与前级管道通过管道连接，隔离阀位于分子泵和前级管道之间，气柜连接件与压缩空气连接件相对设置于隔离阀的本体，当使用干法刻蚀设备时，气柜向前级管道中释放大流量大压力气体，使得气体充满整个前级管道中，随着前级管道内气体压力增大，会压缩弹簧阀，导致阀门被动打开，从而使得气体朝分子泵倒灌，破坏分子泵原有的平衡状态，最终使得分子泵在运行时出现碰撞现象并损坏分子泵。
[0004]因此，有必要开发一种新型的隔离阀以解决现有技术存在的上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种隔离阀，以解决由于前级管道内气体压力增大导致气体倒灌分子泵的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术的隔离阀，应用于干法刻蚀设备中，所述隔离阀包括本体、分子泵连接件、气柜连接件、压缩空气连接件和弹簧，所述弹簧设置于所述本体内，所述分子泵连接件与所述本体的一端部连接，所述气柜连接件与所述本体的侧壁连接，所述压缩空气连接件与所述本体的另一端部连接，所述弹簧的中轴线与所述气柜连接件的中轴线之间的夹角为30
°
～150
°
。
[0007]本技术的所述隔离阀的有益效果在于：所述隔离阀包括本体、分子泵连接件、气柜连接件、压缩空气连接件和弹簧，所述弹簧设置于所述本体内，所述分子泵连接件与所述本体的一端部连接，所述气柜连接件与所述本体的侧壁连接，所述压缩空气连接件与所述本体的另一端部连接，通过所述弹簧的中轴线与所述气柜连接件的中轴线之间的夹角为30
°
～150
°
，从而使得气柜向前级管道中释放大流量大压力气体时，即使气体充满整个前级管道中，气体也不会对压缩弹簧产生压力，阀门也就不会被动打开。本技术解决了由于前级管道内气体压力增大导致气体倒灌分子泵的问题。
[0008]可选的，所述分子泵连接件与所述压缩空气连接件相对设置。其有益效果在于：使得隔离阀的构造较合理，在实际应用中所占面积较小。
[0009]可选的，所述本体的中轴线分别与所述分子泵连接件的中轴线和所述压缩空气连接件的中轴线重合。其有益效果在于：使得隔离阀的结构比较对称，从而使得其在实际安装中更加方便。
[0010]可选的，所述本体的中轴线与所述气柜连接件的中轴线垂直。其有益效果在于：前级管道内的气体对隔离阀的冲击力比较均匀，从而对隔离阀的伤害较小。
[0011]可选的，所述分子泵连接件的中轴线与所述气柜连接件的中轴线垂直。其有益效
果在于：使得隔离阀的结构更加对称，从而使得隔离阀实际安装中更加方便。
[0012]可选的，所述分子泵连接件包括分子泵连接部和分子泵连接端口部，所述分子泵连接部分别与所述分子泵连接端口部和所述本体固定连接。
[0013]可选的，所述气柜连接件包括气柜连接部和气柜连接端口部，所述气柜连接部分别与所述气柜连接端口部和所述本体固定连接。
[0014]可选的，所述分子泵连接端口部的中心点与所述本体的中心点的距离为第一直线距离，所述气柜连接端口部的中心点与所述本体的中心点的距离为第二直线距离，所述第一直线距离与所述第二直线距离不同。其有意效果在于：使得分子泵连接件和气柜连接件在安装时容易区分开，避免发生安装错误导致的二次安装。
[0015]可选的，所述第一直线距离为70～90毫米。其有益效果在于：使得隔离阀的体积较小，且满足实际安装的需求。
[0016]可选的，所述第二直线距离为80～110毫米。其有益效果在于：使得隔离阀的体积较小，且满足实际安装的需求。
[0017]可选的，所述第一直线距离为70～90毫米和所述第二直线距离为80～110毫米。其有益效果在于：使得隔离阀能够满足实际安装的需求，同时能够分辨分子泵连接件和气柜连接件，防止连接错误。
[0018]可选的，所述第一直线距离为70～90毫米或所述第二直线距离为80～110毫米。其有益效果在于：使得隔离阀能够满足实际安装的需求，同时能够分辨分子泵连接件和气柜连接件，防止连接错误。
[0019]可选的，所述第一直线距离与所述第二直线距离的差值为10～20毫米。其有益效果在于：使得隔离阀能够满足实际安装的需求，同时能够分辨分子泵连接件和气柜连接件，防止连接错误。
附图说明
[0020]图1为本技术一些实施例的隔离阀的结构示意图；
[0021]图2为本技术一些实施例的隔离阀的结构示意图。
具体实施方式
[0022]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
[0023]图1为本技术一些实施例的隔离阀的结构示意图；图2为本技术一些实施例的隔离阀的结构示意图。
[0024]针对现有技术存在的问题，参照图1和图2，本技术实施例提供了一种隔离阀1，应用于干法刻蚀设备(图中未标示)中，所述隔离阀1包括本体11、分子泵连接件12、气柜
连接件13、压缩空气连接件14和弹簧15，所述弹簧15设置于所述本体11内，所述分子泵连接件12与所述本体11的一端部连接，所述气柜连接件13与所述本体11的侧壁连接，所述压缩空气连接件14与所述本体11的另一端部连接，所述弹簧15的中轴线与所述气柜连接件13的中轴线之间的夹角为30
°
～150
°
。
[0025]具体的，所述隔离阀1包括本体11、分子泵连接件12、气柜连接件13、压缩空气连接件14和弹簧15，所述弹簧15设置于所述本体11内，所述分子泵连接件12与所述本体11的一端部连接，所述气柜连接件13与所述本体11的侧壁连接，所述压缩空气连接件14与所述本体11的另一端部连接，所述弹簧15的中轴线与所述气柜连接件13的中轴线之间的夹角为30
°
～150
°
，从而使得气柜向前级管道中释放大流量大压力气体时，即使气体充满整个前级管道中，气体也不会对压缩弹簧产生压力，阀门也就不会被动打开。本技术解决了由于前级管道内气体压力增大导致气体倒灌分子泵的问题。
[0026]本技术的一些具本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种隔离阀，应用于干法刻蚀设备中，其特征在于，所述隔离阀包括本体、分子泵连接件、气柜连接件、压缩空气连接件和弹簧，所述弹簧设置于所述本体内，所述分子泵连接件与所述本体的一端部连接，所述气柜连接件与所述本体的侧壁连接，所述压缩空气连接件与所述本体的另一端部连接，所述弹簧的中轴线与所述气柜连接件的中轴线之间的夹角为30
°
～150
°
。2.根据权利要求1所述的隔离阀，其特征在于，所述分子泵连接件与所述压缩空气连接件相对设置。3.根据权利要求1所述的隔离阀，其特征在于，所述本体的中轴线分别与所述分子泵连接件的中轴线和所述压缩空气连接件的中轴线重合。4.根据权利要求1所述的隔离阀，其特征在于，所述本体的中轴线与所述气柜连接件的中轴线垂直。5.根据权利要求1所述的隔离阀，其特征在于，所述分子泵连接件的中轴线与所述气柜连接件...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊豪，袁伟，李荣明，胡邦明，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：新型
国别省市：