隔离阀制造技术

本实用新型专利技术提供了一种隔离阀，应用于干法刻蚀设备中，所述隔离阀包括本体、分子泵连接件、气柜连接件、压缩空气连接件和弹簧，所述弹簧设置于所述本体内，所述分子泵连接件与所述本体的一端部连接，所述气柜连接件与所述本体的侧壁连接，所述压缩空气连接件与所述本体的另一端部连接，所述弹簧的中轴线与所述气柜连接件的中轴线之间的夹角为30

【技术实现步骤摘要】
隔离阀


[0001]本技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种隔离阀。

技术介绍

[0002]在干法刻蚀设备中，有一根由气柜至前级管道的管道，该管道用于通入强腐蚀性气体前，在该管道中通入氮气进行检测性吹扫，吹扫后会将气柜抽成真空状态。
[0003]现有技术中，气柜与前级管道通过管道连接，隔离阀位于分子泵和前级管道之间，气柜连接件与压缩空气连接件相对设置于隔离阀的本体，当使用干法刻蚀设备时，气柜向前级管道中释放大流量大压力气体，使得气体充满整个前级管道中，随着前级管道内气体压力增大，会压缩弹簧阀，导致阀门被动打开，从而使得气体朝分子泵倒灌，破坏分子泵原有的平衡状态，最终使得分子泵在运行时出现碰撞现象并损坏分子泵。
[0004]因此，有必要开发一种新型的隔离阀以解决现有技术存在的上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种隔离阀，以解决由于前级管道内气体压力增大导致气体倒灌分子泵的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术的隔离阀，应用于干法刻蚀设备中，所述隔离阀包括本体、分子泵连接件、气柜连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种隔离阀，应用于干法刻蚀设备中，其特征在于，所述隔离阀包括本体、分子泵连接件、气柜连接件、压缩空气连接件和弹簧，所述弹簧设置于所述本体内，所述分子泵连接件与所述本体的一端部连接，所述气柜连接件与所述本体的侧壁连接，所述压缩空气连接件与所述本体的另一端部连接，所述弹簧的中轴线与所述气柜连接件的中轴线之间的夹角为30
°
～150
°
。2.根据权利要求1所述的隔离阀，其特征在于，所述分子泵连接件与所述压缩空气连接件相对设置。3.根据权利要求1所述的隔离阀，其特征在于，所述本体的中轴线分别与所述分子泵连接件的中轴线和所述压缩空气连接件的中轴线重合。4.根据权利要求1所述的隔离阀，其特征在于，所述本体的中轴线与所述气柜连接件的中轴线垂直。5.根据权利要求1所述的隔离阀，其特征在于，所述分子泵连接件的中轴线与所述气柜连接件...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊豪，袁伟，李荣明，胡邦明，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：新型
国别省市：