【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体设备，尤其涉及一种化学液蒸汽回收装置和化学液循环机组。
技术介绍
1、一些半导体工艺设备，例如化学气相沉积设备等中，需要加注电子氟化液。电子氟化液一般通过恒温循环机组加注到半导体工艺设备中。现使用的恒温循环机组因设有的恒温循环槽体工作温度较高(约为65℃)，在恒温循环槽体内会产生较高浓度的电子氟化液蒸汽。当恒温循环槽体内部压力过高时，电子氟化液蒸汽将通过泄压阀排出到外界空气中，但这会造成对工厂内局部环境的污染(cxf超标)。
2、此外，在恒温循环机组使用过程中，恒温循环槽体内的电子氟化液会逐渐减少，在加注电子氟化液时，由于恒温循环槽体内的相对压力仍较高，使得电子氟化液蒸汽又会从加液口外溢，因而加剧了对工厂内局部环境的污染。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种化学液蒸汽回收装置和化学液循环机组。
2、为实现上述目的，本专利技术的技术方案如下：
3、本专利技术提供一种化学液蒸汽回收装置，包括：
4、冷凝槽体，所述冷凝槽体的底部上分设有第一联通结构和第二联通结构；
5、所述冷凝槽体通过所述第一联通结构和所述第二联通结构与下方的恒温循环槽体联通，所述恒温循环槽体用于装入化学液，所述冷凝槽体内温度低于所述恒温循环槽体内温度，以使所述恒温循环槽体内化学液产生的蒸汽至少通过所述第一联通结构进入所述冷凝槽体内，并在发生冷凝后通过所述第二联通结构返回至所述恒温循环槽体内。
<...【技术保护点】
1.一种化学液蒸汽回收装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的化学液蒸汽回收装置，其特征在于，所述第一联通结构包括穿设于所述冷凝槽体底部上的第一联通管，所述第一联通管的一端自所述冷凝槽体的底部穿出，并联通在所述恒温循环槽体的顶部上，所述第一联通管的另一端自所述冷凝槽体的底部穿入，并位于高于所述冷凝槽体底部且低于所述冷凝槽体顶部的所述冷凝槽体内。
3.根据权利要求1所述的化学液蒸汽回收装置，其特征在于，所述第二联通结构包括联通在所述冷凝槽体底部和所述恒温循环槽体顶部之间的第二联通管，位于所述冷凝槽体侧的所述第二联通管的一端端口与所述冷凝槽体的底部平齐或基本平齐。
4.根据权利要求3所述的化学液蒸汽回收装置，其特征在于，所述第二联通管上设有流阻控制结构。
5.根据权利要求1所述的化学液蒸汽回收装置，其特征在于，泄压结构由所述恒温循环槽体上移至所述冷凝槽体上设置。
6.根据权利要求1所述的化学液蒸汽回收装置，其特征在于，加液结构由所述恒温循环槽体上移至所述冷凝槽体上设置。
7.根据权利要求1所述的化学液蒸
8.一种化学液循环机组，其特征在于，包括：用于装入化学液的恒温循环槽体，和根据权利要求1-7任意一项所述的化学液蒸汽回收装置，所述化学液蒸汽回收装置设有的冷凝槽体设于所述恒温循环槽体上方，并通过第一联通结构和第二联通结构形成相互联通；其中，所述冷凝槽体内温度被设置为低于所述恒温循环槽体内温度，且原设于所述恒温循环槽体上的泄压结构和加液结构被移至所述冷凝槽体上设置。
9.根据权利要求8所述的化学液循环机组，其特征在于，运行时，所述第一联通结构和所述第二联通结构同时处于导通状态，所述恒温循环槽体内化学液产生的蒸汽通过所述第一联通结构和所述第二联通结构扩散进入所述冷凝槽体内，并在发生冷凝后，通过所述第二联通结构流回至所述恒温循环槽体内实现回收；和/或，通过所述加液结构加液时，所述第二联通结构被关闭，所述冷凝槽体内的蒸汽浓度在温差作用下低于所述恒温循环槽体内的蒸汽浓度，以避免蒸汽通过所述加液结构外溢，加液后，所述第二联通结构被打开，使所述冷凝槽体内的化学液在重力作用下流入所述恒温循环槽体内实现补液。
10.根据权利要求8所述的化学液循环机组，其特征在于，当所述冷凝槽体内压力异常增大时，通过设于所述冷凝槽体顶部上的所述泄压结构自动释放过高的压力。
...【技术特征摘要】
1.一种化学液蒸汽回收装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的化学液蒸汽回收装置，其特征在于，所述第一联通结构包括穿设于所述冷凝槽体底部上的第一联通管，所述第一联通管的一端自所述冷凝槽体的底部穿出，并联通在所述恒温循环槽体的顶部上，所述第一联通管的另一端自所述冷凝槽体的底部穿入，并位于高于所述冷凝槽体底部且低于所述冷凝槽体顶部的所述冷凝槽体内。
3.根据权利要求1所述的化学液蒸汽回收装置，其特征在于，所述第二联通结构包括联通在所述冷凝槽体底部和所述恒温循环槽体顶部之间的第二联通管，位于所述冷凝槽体侧的所述第二联通管的一端端口与所述冷凝槽体的底部平齐或基本平齐。
4.根据权利要求3所述的化学液蒸汽回收装置，其特征在于，所述第二联通管上设有流阻控制结构。
5.根据权利要求1所述的化学液蒸汽回收装置，其特征在于，泄压结构由所述恒温循环槽体上移至所述冷凝槽体上设置。
6.根据权利要求1所述的化学液蒸汽回收装置，其特征在于，加液结构由所述恒温循环槽体上移至所述冷凝槽体上设置。
7.根据权利要求1所述的化学液蒸汽回收装置，其特征在于，所述冷凝槽体上设有第一冷却结构，用于使所述蒸汽冷凝。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：任年华，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
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