温控固定装置及炉管设备制造方法及图纸

本技术涉及半导体制造技术领域，提供了一种温控固定装置及炉管设备，温控固定装置包括：密封组件、连接组件和温度控制器；所述温度控制器具有装配部，所述装配部上开设有凹槽；所述密封组件围绕所述装配部设置；所述连接组件与炉管连接，所述连接组件压于所述密封组件，以使得所述密封组件的至少一部分位于所述凹槽内。通过温控固定装置用于固定温度控制器，以改善炉管设备反复的抽真空时，温度控制器在安装孔内相对位移的现象，以提高温度控制器安装于炉管时的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造，特别涉及一种温控固定装置及炉管设备。

技术介绍

1、炉管设备在半导体
中具有多种用途，例如其应用于氧化工艺、热退火工艺和各种淀积膜的形成工艺中。

2、炉管设备具有加热功能，为控制加热温度，炉管设备通常配备温度控制器实现温度控制，以保证炉管设备内部温度均匀。

3、现有的温度控制器需要穿过炉管设备，故炉管设备上需要开设供温度控制器穿过的安装孔，且温度控制器与安装孔之间需要密封。现有的密封方式通常是在温度控制器与安装孔之间设置密封圈。该密封方式在常压下可实现较好的密封效果，但是当炉管设备内反复的抽真空时，受压力作用，容易导致温度控制器在安装孔内发生相对位移，一方面影响温度控制器的测温精度，另一方面容易导致温度控制器与炉管设备内部剐蹭。

4、为了解决上述问题，本技术提供了一种温控固定装置及炉管设备，通过温控固定装置用于固定温度控制器，以改善炉管设备反复的抽真空时，温度控制器在安装孔内相对位移的现象。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种温控固定装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种温控固定装置，其特征在于，包括：密封组件、连接组件和温度控制器；

2.如权利要求1所述的温控固定装置，其特征在于，所述密封组件包括第一密封圈，所述第一密封圈套于所述装配部；

3.如权利要求2所述的温控固定装置，其特征在于，所述密封组件还包括第二密封圈，所述第二密封圈套于所述装配部，所述第二密封圈与所述第一密封圈沿所述装配部的轴向排列设置；

4.如权利要求3所述的温控固定装置，其特征在于，沿所述装配部的轴向，所述第一密封圈位于所述第二密封圈远离所述炉管的一侧。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的温控固定装置，其特征在于，所述连接组件...

【技术特征摘要】

1.一种温控固定装置，其特征在于，包括：密封组件、连接组件和温度控制器；

2.如权利要求1所述的温控固定装置，其特征在于，所述密封组件包括第一密封圈，所述第一密封圈套于所述装配部；

3.如权利要求2所述的温控固定装置，其特征在于，所述密封组件还包括第二密封圈，所述第二密封圈套于所述装配部，所述第二密封圈与所述第一密封圈沿所述装配部的轴向排列设置；

4.如权利要求3所述的温控固定装置，其特征在于，沿所述装配部的轴向，所述第一密封圈位于所述第二密封圈远离所述炉管的一侧。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的温控固定装置，其特征在于，所述连接组件包括连接件和第一施压件；

6.如权利要求5所述的温控固定装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩刚，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：新型
国别省市：