一种固晶机的晶圆托盘夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种固晶机的晶圆托盘夹具，包括夹具本体，所述夹具本体与固晶工作台的尺寸相适配，所述夹具本体的上表面开设有用于放置晶圆托盘的长方形的凹槽，所述凹槽内设有限位卡块和抵压组件，抵压组件包括利用弹簧弹性连接在凹槽的第一槽壁上的卡板，并且在限位卡块上设有用于卡设晶圆托盘的第一长槽，在卡板上设有用于卡设晶圆托盘的第二长槽；本实用新型专利技术由于卡板能在一定范围活动，从而能够夹持多种规格的晶圆托盘，夹具本体安装在固晶机的固晶工作台后，固晶机能够适配多种晶圆托盘，提升固晶工作台的适应性，降低更换成本。降低更换成本。降低更换成本。

【技术实现步骤摘要】
一种固晶机的晶圆托盘夹具


[0001]本技术属于固晶机设备
，特别涉及一种固晶机的晶圆托盘夹具。

技术介绍

[0002]固晶机是半导体行业、电子行业中封装流程的重要设备，其固晶流程是：先将晶圆托盘放置在固晶工作台上，点胶机构在支架的固晶工位点胶，然后由固晶臂将晶圆从晶圆托盘上取出，再将晶圆转移到已点好胶的固晶工位上，完成固晶。
[0003]目前市面上的晶圆托盘多为圆形晶圆托盘或者方形晶圆托盘，不同供应商生产的晶圆托盘的大小和形状不同，然而，由于目前市面上晶圆供应短缺，且目前市场上的固晶机的固晶工作台通常只适配特定尺寸的圆形晶圆托盘，当特定的圆形晶圆托盘无法供应时，只能使用其他供应商供应的方形晶圆托盘或者其他尺寸的圆形晶圆托盘，而方形晶圆托盘或者其他尺寸的圆形晶圆托盘通常难以与原先的固晶工作台相适配，需要对固晶工作台进行改装或者更换固晶工作台，浪费时间，花费的成本也较高。
[0004]鉴于此，本申请人对上述问题进行深入研究，遂有本案产生。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种提升固晶机的固晶工作台的适应性的固晶机的晶圆托盘夹具。
[0006]为了达到上述目的，本技术采用这样的技术方案：
[0007]一种固晶机的晶圆托盘夹具，其特征在于，包括夹具本体，所述夹具本体与固晶工作台的尺寸相适配，所述夹具本体的上表面开设有用于放置晶圆托盘的凹槽，所述凹槽的横截面为长方形，所述凹槽包括首尾相连的第一槽壁、第二槽壁、第三槽壁和第四槽壁，所述第一槽壁和所述第三槽壁之间通过所述第二槽壁和所述第四槽壁相连，所述第一槽壁和所述第三槽壁的延伸方向为长度方向，所述第二槽壁和所述第四槽壁的延伸方向为宽度方向，所述凹槽内靠近所述第四槽壁的位置设有限位卡块，所述限位卡块朝向所述第二槽壁的一侧的下部开设有用于卡设所述晶圆托盘的第一长槽，所述第一长槽沿所述凹槽的宽度方向延伸，所述第一槽壁上设有用于抵压所述晶圆托盘的抵压组件，所述抵压组件包括卡板和设置在所述卡板与所述第一槽壁之间的弹簧，所述卡板与所述第一槽壁之间通过所述弹簧弹性连接，所述卡板朝向所述第三槽壁的侧壁的下部开设有用于卡设所述晶圆托盘的第二长槽，所述第二长槽沿所述凹槽的长度方向延伸。
[0008]进一步的，所述卡板与所述第一槽壁之间连接有三个所述弹簧，各个所述弹簧分别设置在所述卡板朝向所述第一槽壁的侧壁的中部和长度方向的两端。
[0009]进一步的，所述卡板的上表面的中部设置有凸块，所述凸块与所述卡板一体成型。
[0010]进一步的，所述卡板的上表面开设有若干个贯穿所述卡板的上下两侧的槽孔，所述槽孔的长度方向朝着所述凹槽的宽度方向延伸，所述凹槽的上表面对应各个所述槽孔的位置开设有螺纹孔，所述螺纹孔上螺纹连接有螺栓，所述螺栓穿过所述槽孔并锁入所述螺
纹孔内，所述槽孔的宽度小于所述螺栓的螺栓头的直径并大于所述螺栓的杆身的直径，所述槽孔的长度大于所述弹簧的回弹距离。
[0011]进一步的，所述夹具本体靠近所述第三槽壁的位置开设有连通所述凹槽的第一缺槽，所述第一缺槽靠近所述第二槽壁设置。
[0012]进一步的，所述夹具本体在靠近所述第四槽壁的位置上开设有连通所述凹槽的第二缺槽。
[0013]进一步的，所述限位卡块通过螺丝锁固的方式设置在所述凹槽内。
[0014]通过采用前述设计方案，本技术的有益效果是：
[0015]1、通过使用能与固晶工作台相适配的夹具本体，并在夹具本体上设置用于放置晶圆托盘的凹槽，凹槽内设置有限位卡块和用于抵压晶圆托盘的抵压组件，抵压组件包括利用弹簧弹性连接在凹槽的第一槽壁上的卡板，并且在限位卡块上设有用于卡设晶圆托盘的第一长槽，在卡板上设有用于卡设晶圆托盘的第二长槽；本技术的夹具本体可以放入晶圆工作台上，晶圆托盘在放入夹具本体内的凹槽后，被限位卡块上的第一长槽限位，并且卡板通过弹簧将晶圆托盘抵压在凹槽内，晶圆托盘被卡板上的第二长槽限位；本技术由于卡板能在一定范围活动，从而能够夹持多种规格的晶圆托盘，夹具本体安装在固晶机的固晶工作台后，固晶机能够适配多种晶圆托盘，提升固晶工作台的适应性，降低更换成本。
[0016]2、卡板与第一槽壁之间设置有三个弹簧，可以增加卡板与第一槽壁连接的稳固性。
[0017]3、卡板的上表面开设有若干个贯穿卡板的上下两侧的槽孔，槽孔的长度方向朝着凹槽的宽度方向延伸，凹槽的上表面对应各个槽孔的位置开设有螺纹孔，螺纹孔上螺纹连接有螺栓，螺栓穿过槽孔并锁入螺纹孔内，槽孔的宽度小于螺栓的螺栓头的直径并大于螺栓的杆身的直径，槽孔的长度大于弹簧的回弹距离，在卡板未夹持方形晶圆托盘时螺栓没有锁紧螺纹孔，卡板可在凹槽的宽度方向上移动，当方形晶圆托盘放入凹槽并被卡板抵压后，将螺栓锁紧，螺栓头压紧卡板将卡板锁固在凹槽上，这样设置，使得卡板不易移动，进一步了增加卡板的抵压强度。
[0018]4、夹具本体靠近第三槽壁的位置开设有连通凹槽的第一缺槽，第一缺槽靠近第二槽壁设置，开设第一缺槽可以供手指更为方便的抓取或放置方形晶圆托盘，夹具本体在靠近第四槽壁的位置上开设有连通凹槽的第二缺槽，开设第二缺槽可以供手指更为方便的握住限位卡块，方便对限位卡块进行拆除更换。
附图说明
[0019]图1为本技术晶圆夹具未夹持状态的示意图。
[0020]图2为本技术晶圆夹具夹持方形晶圆托盘的示意图。
[0021]图中：
[0022]1‑
夹具本体；2
‑
凹槽；
[0023]21
‑
第一槽壁；22
‑
第二槽壁；
[0024]23
‑
第三槽壁；24
‑
第四槽壁；
[0025]25
‑
第一缺槽；26
‑
第二缺槽；
[0026]3‑
方形晶圆托盘；4
‑
限位卡块；
[0027]41
‑
第一长槽；5
‑
卡板；
[0028]51
‑
凸块；52
‑
第二长槽；
[0029]53
‑
槽孔；54
‑
螺栓；
[0030]6‑
弹簧。
具体实施方式
[0031]下面结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]如图1和图2所示，一种固晶机的晶圆托盘夹具，包括圆形的夹具本体1，夹具本体1与固晶工作台(图中未示出)的尺寸相适配，夹具本体1的上表面开设有用于放置晶圆托盘的凹槽2，凹槽2的横截面为长方形，需要说明的是，本技术的晶圆托本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固晶机的晶圆托盘夹具，其特征在于，包括夹具本体，所述夹具本体与固晶工作台的尺寸相适配，所述夹具本体的上表面开设有用于放置晶圆托盘的凹槽，所述凹槽的横截面为长方形，所述凹槽包括首尾相连的第一槽壁、第二槽壁、第三槽壁和第四槽壁，所述第一槽壁和所述第三槽壁之间通过所述第二槽壁和所述第四槽壁相连，所述第一槽壁和所述第三槽壁的延伸方向为长度方向，所述第二槽壁和所述第四槽壁的延伸方向为宽度方向，所述凹槽内靠近所述第四槽壁的位置设有限位卡块，所述限位卡块朝向所述第二槽壁的一侧的下部开设有用于卡设所述晶圆托盘的第一长槽，所述第一长槽沿所述凹槽的宽度方向延伸，所述第一槽壁上设有用于抵压所述晶圆托盘的抵压组件，所述抵压组件包括卡板和设置在所述卡板与所述第一槽壁之间的弹簧，所述卡板与所述第一槽壁之间通过所述弹簧弹性连接，所述卡板朝向所述第三槽壁的侧壁的下部开设有用于卡设所述晶圆托盘的第二长槽，所述第二长槽沿所述凹槽的长度方向延伸。2.根据权利要求1所述的一种固晶机的晶圆托盘夹具，其特征在于，所述卡板与所述第一槽壁之间连接有三个所述弹簧，各个所述弹簧分别设置在所述卡板朝向...

【专利技术属性】
技术研发人员：李平等，
申请(专利权)人：石狮市信佳电子有限公司，
类型：新型
国别省市：