圆晶蓝膜张紧装置制造方法及图纸

技术编号:36528167 阅读:12 留言:0更新日期:2023-02-01 16:08
本实用新型专利技术涉及半导体封装设备,公开了一种圆晶蓝膜张紧装置,包括:张紧机构,包括防护部、用于抵接圆晶蓝膜的抵接部以及用于带动抵接部伸缩的导向件,防护部合围形成镂空区域,抵接部设置在镂空区内,且抵接部合围以能够在镂空区域内形成圆晶蓝膜的容置区,导向件穿过抵接部和防护部,并与抵接部以及防护部滑动连接;驱动机构,包括转动件和用于驱动转动件转动的动力装置,传动件与导向件传动连接,动力装置适于驱动传动件转动以驱使导向件位移。本实用新型专利技术通过在张紧机构内设有导向件,导向件穿过防护部和抵接部并与其滑动连接,通过导向件能够带动抵接部合围形成的圆晶蓝膜的容置区面积发生变化,从而实现了对于圆晶蓝膜张紧范围的大小调节。范围的大小调节。范围的大小调节。

【技术实现步骤摘要】
圆晶蓝膜张紧装置


[0001]本技术涉及半导体封装设备,尤其是涉及一种圆晶蓝膜张紧装置。

技术介绍

[0002]随着科技的不断发展,半导体行业也在不断的推陈出新,半导体也成为了社会发展中不可或缺的一项,在半导体行业的生产制造中,圆晶蓝膜的使用非常普遍,圆晶蓝膜是指在半导体行业中,支座圆晶的过程中作为切割研磨圆晶辅助工具的一种蓝膜,通过该蓝膜能够实现圆晶的精确加工。
[0003]目前的圆晶蓝膜张紧装置,在使用的过程中,对于圆晶蓝膜所产生的张紧力具有较大的限制,对圆晶蓝膜进行张紧调节的最大范围在装置的设计之初就已经定型,无法在对蓝膜张紧的过程中进行范围调节,当需要扩大对于圆晶蓝膜的张紧范围时,则需要更换更大范围尺寸的圆晶蓝膜张紧装置,从而使得调节过程更为繁琐,降低了装置的工作量效率以及实用性。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是提供了一种圆晶蓝膜张紧装置,能够根据需求调节圆晶蓝膜张紧装置对于蓝膜张紧范围的大小。
[0005]为了解决上述技术问题,本技术一方面提供了一种圆晶蓝膜张紧装置,包括:
[0006]张紧机构,包括防护部、用于抵接圆晶蓝膜的抵接部以及用于带动所述抵接部伸缩的导向件,所述防护部合围形成镂空区域,所述抵接部设置在所述镂空区内,且所述抵接部合围以能够在所述镂空区域内形成所述圆晶蓝膜的容置区,所述导向件穿过所述抵接部和所述防护部,并与所述抵接部以及所述防护部滑动连接;
[0007]驱动机构,包括转动件和用于驱动所述转动件转动的动力装置,所述传动件与所述导向件传动连接,所述动力装置适于驱动所述传动件转动以驱使所述导向件位移。
[0008]优选地,所述防护部与所述抵接部均为正多边形结构,所述导向件设置在所述防护部与所述抵接部的各边中部,且设置在各边中部的所述导向件同步运动,同步运动的所述导向件适于同步调节所述抵接部所形成的合围区域各处的张紧度。
[0009]进一步优选地,所述导向件为矩形结构,所述导向件的一侧面设有多个轮齿,所述转动件与矩形结构开设有多个所述轮齿的一侧面相啮合,以能够通过所述转动件转动带动所述导向件水平位移。
[0010]优选地,所述防护部包括:
[0011]多个连接部,多个所述连接部之间相互铰接。
[0012]进一步优选地,多个所述连接部间隔所述导向件设置。
[0013]优选地,所述动力机构还包括:
[0014]多个传动轴,传动轴轴向穿过所述导向件,且所述传动轴的一端与所述动力装置的输出轴传动连接,且所述多个传动轴之间由多个所述动力装置独立控制。
[0015]优选地,所述驱动机构还包括:
[0016]锁紧装置,所述锁紧装置与所述导向件相连,所述锁紧装置适于锁紧所述导向件,以限制所述导向件转动。
[0017]进一步优选地,所述锁紧装置包括:
[0018]锁止件,所述锁止件螺纹连接在所述导向件的两端,以能够通过旋进两端的所述锁止件与所述导向件相抵,以限制所述导向件产生轴向位移。
[0019]进一步优选地,还包括用于容置所述圆晶蓝膜的容置平台,所述容置平台可拆卸地设置在所述抵接部下方,且所述容置平台与所述抵接部形状一致。
[0020]优选地,所述防护部与所述抵接部同轴布置。
[0021]通过上述技术方案,本技术的圆晶蓝膜张紧装置通过设置张紧机构,通过张紧机构内设置抵接部,抵接部与圆晶蓝膜相抵,以能够通过抵接部的移动实现圆晶蓝膜的张紧操作;并且张紧机构内还设有导向件,导向件穿过防护部和抵接部并与其滑动连接,通过导向件的伸缩滑动,能够带动抵接部合围形成的圆晶蓝膜的容置区面积发生变化,从而实现了对于圆晶蓝膜张紧范围的大小调节。
[0022]本技术的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
[0023]图1为本技术具体实施方式的圆晶蓝膜张紧装置横向的未安装容置平台的立体结构示意图;
[0024]图2为本技术具体实施方式的圆晶蓝膜张紧装置的仰视图。
[0025]附图标记
[0026]1ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
张紧机构
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11
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防护部
[0027]111
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连接部
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12
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导向件
[0028]121
ꢀꢀꢀꢀ
轮齿
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13
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抵接部
[0029]2ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
驱动机构
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21
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转动件
[0030]22
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锁止件
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容置平台
具体实施方式
[0031]以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术,并不用于防止本技术。
[0032]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置”、“连接”应做广义理解,例如,术语“连接”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或者是一体连接;可以是直接连接,也可以是通过中间媒介间接连接,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0033]本技术的圆晶蓝膜张紧装置的一个实施例,如图1所示,包括张紧机构1,张紧机构1包括防护部11、抵接部13和导向件12,其中,防护部11和抵接部13均能够合围形成镂空区域,防护部11 所形成的镂空区域内设有抵接部13,抵接部13将上述的镂空区域进行分隔,在其内部形成用于放置圆晶蓝膜的容置区,导向件12穿过抵接部13和防护部11并与抵
接部13以及防护部11之间滑动连接,即抵接部13与防护部11能够在导向件12的长度方向上进行移动,以此来实现对于抵接部13以及防护部11所形成的合围面积的调整。
[0034]导向件12相对于抵接部13以及防护部11的滑动依托于驱动机构2来实现,驱动机构2包括转动件21和用于驱动转动件21传动的动力装置,动力装置为电马达,以能够为转动件21提供能够使其转动的动力,转动件21可拆卸地安装在防护部11上,并与导向件12 传动连接,当动力装置驱动该转动件21转动时,转动件21能够同时带动导向件12运动,以此来实现导向件12的位移,导向件12的伸缩位移又能够带动抵接部13所形成的圆晶蓝膜容置区产生向内的缩减以及向外的扩张,以此来实现对于圆晶蓝膜张紧范围的大小调节。
[0035]防护部11与抵接部13均设为多边形结构,且防护部11与抵接部13同轴布置。导向件12设置在防护部11以及抵接部13的各边中部,正本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种圆晶蓝膜张紧装置,其特征在于,包括:张紧机构(1),包括防护部(11)、用于抵接圆晶蓝膜的抵接部(13)以及用于带动所述抵接部(13)伸缩的导向件(12),所述防护部(11)合围形成镂空区域,所述抵接部(13)设置在所述镂空区域内,且所述抵接部(13)合围以能够在所述镂空区域内形成所述圆晶蓝膜的容置区,所述导向件(12)穿过所述抵接部(13)和所述防护部(11),以能够与所述抵接部(13)以及所述防护部(11)滑动连接;驱动机构(2),包括转动件(21)和用于驱动所述转动件(21)转动的动力装置,所述转动件(21)与所述导向件(12)传动连接,以能够同时带动所述导向件(12)位移。2.根据权利要求1所述的圆晶蓝膜张紧装置,其特征在于,所述导向件(12)设置在所述防护部(11)以及所述抵接部(13)的各边中部,且设置在各边中部的所述导向件(12)同步运动,同步运动的所述导向件(12)适于同步调节所述抵接部(13)所形成的合围区域各处的张紧度。3.根据权利要求1所述的圆晶蓝膜张紧装置,其特征在于,所述导向件(12)的一侧面设有多个轮齿(121),所述转动件(21)与所述导向件(12)上开设有多个所述轮齿(121)的一侧面相啮合,以能够通过所述转动件(21)转动带动所述导向件(12)水平位移。4.根据权利要求1所述的圆晶蓝膜张紧装置,其特征在于,所述防护部(11)包括:多个连接部(111),多个所述连...

【专利技术属性】
技术研发人员:秦可勇徐鲲鹏
申请(专利权)人:江苏海亿胜科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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