本发明专利技术公开了一种碳化硅外延化学气相沉积系统高温水循环冷却机构，涉及水循环冷却技术领域，解决了化学气相沉积反应箱内冷却效率低的问题，包括安装于反应箱内壁的四个石墨管，石墨管为弯曲形状，且两端均固定贯穿反应箱底部，滑动插接于反应箱底部的支撑管，支撑管的顶部固定载台，且支撑管的外侧安装有与反应箱底部内壁固定的加热板，本发明专利技术通过优化现有反应箱，在其内壁安装石墨管，并在其底部设计流速调节装置能够对其内部气压进行调节，能够缓冲冷却水进入后蒸发产生的较大的气压，同时配合转动组件带动缓冲管内活塞板的主动移动，从而加速对石墨管内部水的流速提高水循环降温的效果。降温的效果。降温的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅外延化学气相沉积系统高温水循环冷却机构
[0001]本专利技术涉及水循环冷却
，具体为一种碳化硅外延化学气相沉积系统高温水循环冷却机构。
技术介绍
[0002]化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition简称CVD)是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，简单来说就是利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上发生反应生成固态沉积物的过程，化学气相沉积是目前进行生长碳化硅外延材料的主流技术。
[0003]目前，在进行化学气相沉积装置一般有一个反应箱，箱内有载台，将需要沉积的基板放置于载台上，然后通过反应箱内壁跟载台底部的加热板进行高温加热，使得反应箱内温度达到所需要的高温，在一批次的基板完成薄膜沉积后，需将基板、载台、反应箱内壁及其他内部元件冷却后，才可取出基板并进行清洗，以进行下一批次的薄膜沉积，因此在该处就需要进行降温处理，现有的常用的降温主要是通入冷气对内部温度进行降温，但是注入气体会导致反应箱内部压强增大，使得内部高温气体易逸出，而且对反应箱内部内侧壁及一些贴合在一起的部件之间的降温效果较慢，而常规的水冷设备由于无法耐反应箱内部的高温，水冷时会因高温直接蒸发，从而不能很好的直接对其内壁进行水冷降温，为此，我们提出一种碳化硅外延化学气相沉积系统高温水循环冷却机构。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种能够高效的对反应箱内部进行降温冷却的碳化硅外延化学气相沉积系统高温水循环冷却机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种碳化硅外延化学气相沉积系统高温水循环冷却机构，包括安装于反应箱内壁的四个石墨管，所述石墨管为弯曲形状，且两端均固定贯穿反应箱底部，滑动插接于反应箱底部的支撑管，所述支撑管的顶部固定载台，且所述支撑管的外侧安装有与反应箱底部内壁固定的加热板，还包括安装于所述石墨管两端的对接管和安装于所述支撑管底端外侧的转动组件，且其中一个所述对接管外端安装有排出管，且另一个与供水设备相对接，所述排出管的外侧安装有流速调节装置，所述转动组件与多个所述流速调节装置相对接。
[0006]优选的，所述流速调节装置包括与所述排出管一侧相连通的缓冲管，所述缓冲管内通过轴承转动安装有调节杆，且所述调节杆的外侧螺纹套接有活塞板一，且所述活塞板一内滑动插接有固定在所述缓冲管内的限位杆一，所述缓冲管与所述排出管的对接端转动安装有挡板，且所述缓冲管的底部固定连通有排出副管，所述排出副管内固定有抵环一，且所述排出副管内通过支架固滑动插接有支撑杆，且所述支撑杆外端固定有与所述抵环一相抵的密封板一，所述支撑杆的外侧套有用于推送所述密封板一上移的挤压弹簧一，所述调节杆的外端安装有供气件，且所述调节杆的外侧固定有与所述转动组件相对接的锥齿轮，
所述调节杆的内端滑动插接有与所述挡板相接触的相抵杆，且所述相抵杆的外侧套有推送弹簧，设计的流速调节装置能够对石墨管内的气压进行调节，同时也能对其内部降温液体的流速调节，提高降温效果。
[0007]优选的，所述供气件包括转动安装与所述调节杆外端的供气管，所述调节杆位于所述供气管外侧螺纹套接有活塞板二，且活塞板二内滑动插接有与所述供气管相固定的限位杆二，所述供气管的底部固定有进气管，且所述进气管内固定有抵环二，所述进气管内通过支架固定有支撑柱，且所述支撑柱的外侧滑动插接有于所述抵环二顶部相抵的密封板二，所述支撑柱的外侧套有挤压弹簧二，所述缓冲管和所述供气管外壁之间固定有连接架，且所述供气管的外端内部安装有单向件，通过供气件能够实现对反应箱内进行提供低温气体，起到降温效果。
[0008]优选的，所述单向件包括固定在所述调节杆外端的对接杆，所述对接杆的外端通过支架与所述供气管内壁固定，且所述对接杆的外侧滑动套有密封板三，所述供气管的内壁固定有与所述密封板三相接触的抵环三，设计的单向件能够避免反应箱内高温气体的逸出。
[0009]优选的，所述转动组件包括固定在反应箱底部的驱动电机，所述支撑管的底部固定有限位板，且反应箱的底端滑动套有转动齿轮，所述转动齿轮的内侧套接在所述支撑管外侧，并与所述限位板相贴合，所述驱动电机输出端固定有与所述转动齿轮相啮合的驱动齿轮，所述转动齿轮的外侧固定有锥形盘一，且所述锥形盘一的外侧固定有半圈与所述锥齿轮相啮合的轮齿，所述支撑管的底部固定有对接环，且所述支撑管的底端安装有对接组件，所述支撑管的顶端外侧开有多个出气孔，设计的转动组件能够带动锥齿轮转动，使得能够主动供气。
[0010]优选的，所述对接组件包括转动套接在所述对接环上的对接帽，所述对接帽的外侧固定连通有多个与所述供气管外端相连通的通气管，且所述对接帽的底部转动安装有锥形盘二，所述锥形盘二的外侧固定有半圈与所述锥齿轮相啮合的轮齿，且锥形盘二上的半圈轮齿与锥形盘一上的半圈轮次朝向相反，所述支撑管的底部内侧通过支架固定有密封板四，且所述对接帽内固定有与所述密封板四相抵的抵环四，所述密封板四的底部固定有滑动贯穿对接帽和锥形盘二的同步杆，设计的对接组件用于多个供气管的对接，并实现将供气管的气流吸入到反应箱内，提高降温效果。
[0011]优选的，所述支撑管的外侧固定有风轮，使得内部气流能够进行流通，便于降温。
[0012]优选的，反应箱底部固定有支撑腿，所述对接帽和所述连接架的外侧均设有使其安装稳定的固定件，使得对接帽和连接架的安装稳定，也使得转动更加稳定。
[0013]优选的，所述对接管和对接帽均用耐高温材料制成，能够满足在反应箱外侧高温下使用。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0015]本专利技术通过优化现有反应箱，在其内壁安装石墨管，并在其底部设计流速调节装置能够对其内部气压进行调节，能够缓冲冷却水进入后蒸发产生的较大的气压，同时配合转动组件带动缓冲管内活塞板的主动移动，从而加速对石墨管内部水的流速提高水循环降温的效果；
[0016]通过设计的转动组件带动供气件的供气，实现对反应箱内部低温气体的输入，也
能起到降温作用。
附图说明
[0017]图1为本专利技术整体结构示意图；
[0018]图2为本专利技术整体另一角度结构示意图；
[0019]图3为本专利技术反应箱局部剖视后结构示意图；
[0020]图4为本专利技术单个流速调节装置与转动组件连接关系示意图；
[0021]图5为本专利技术单个流速调节装置与转动组件连接主视图；
[0022]图6为本专利技术转动组件结构示意图；
[0023]图7为本专利技术转动组件局部剖视结构示意图。
[0024]图中：1
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石墨管；2
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支撑管；3
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对接管；4
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排出管；5
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流速调节装置；6
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转动组件；7
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缓冲管；8
‑
调节杆；9<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅外延化学气相沉积系统高温水循环冷却机构，包括：安装于反应箱内壁的四个石墨管(1)，所述石墨管(1)为弯曲形状，且两端均固定贯穿反应箱底部；滑动插接于反应箱底部的支撑管(2)，所述支撑管(2)的顶部固定载台，且所述支撑管(2)的外侧安装有与反应箱底部内壁固定的加热板；其特征在于，还包括：安装于所述石墨管(1)两端的对接管(3)，且其中一个所述对接管(3)外端安装有排出管(4)，且另一个与供水设备相对接，所述排出管(4)的外侧安装有流速调节装置(5)；安装于所述支撑管(2)底端外侧的转动组件(6)，所述转动组件(6)与多个所述流速调节装置(5)相对接。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延化学气相沉积系统高温水循环冷却机构，其特征在于：所述流速调节装置(5)包括与所述排出管(4)一侧相连通的缓冲管(7)，所述缓冲管(7)内通过轴承转动安装有调节杆(8)，且所述调节杆(8)的外侧螺纹套接有活塞板一(9)，且所述活塞板一(9)内滑动插接有固定在所述缓冲管(7)内的限位杆一(10)，所述缓冲管(7)与所述排出管(4)的对接端转动安装有挡板(11)，且所述缓冲管(7)的底部固定连通有排出副管(12)，所述排出副管(12)内固定有抵环一(13)，且所述排出副管(12)内通过支架固滑动插接有支撑杆(14)，且所述支撑杆(14)外端固定有与所述抵环一(13)相抵的密封板一(15)，所述支撑杆(14)的外侧套有用于推送所述密封板一(15)上移的挤压弹簧一(16)，所述调节杆(8)的外端安装有供气件(17)，且所述调节杆(8)的外侧固定有与所述转动组件(6)相对接的锥齿轮(18)，所述调节杆(8)的内端滑动插接有与所述挡板(11)相接触的相抵杆(19)，且所述相抵杆(19)的外侧套有推送弹簧(20)。3.根据权利要求2所述的一种碳化硅外延化学气相沉积系统高温水循环冷却机构，其特征在于：所述供气件(17)包括转动安装与所述调节杆(8)外端的供气管(21)，所述调节杆(8)位于所述供气管(21)外侧螺纹套接有活塞板二(22)，且活塞板二(22)内滑动插接有与所述供气管(21)相固定的限位杆二(23)，所述供气管(21)的底部固定有进气管(24)，且所述进气管(24)内固定有抵环二(25)，所述进气管(24)内通过支架固定有支撑柱(26)，且所述支撑柱(26)的外侧滑动插接有于所述抵环二(25)顶部相抵的密封板二(27)，所述支撑柱(26)的外侧套有挤压弹簧二(28)，所述缓冲管(7)和所述供气管(21)外壁之间固定有连接架(29)，且所述供...
【专利技术属性】
技术研发人员：牧青，文成，金光涛，杨波，
申请(专利权)人：江苏汉印机电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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