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本发明公开了一种碳化硅外延化学气相沉积系统高温水循环冷却机构，涉及水循环冷却技术领域，解决了化学气相沉积反应箱内冷却效率低的问题，包括安装于反应箱内壁的四个石墨管，石墨管为弯曲形状，且两端均固定贯穿反应箱底部，滑动插接于反应箱底部的支撑管，...
该专利属于江苏汉印机电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏汉印机电科技股份有限公司授权不得商用。

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