一种用于扫描电镜的通用型蓝牙控制真空转移装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及实验室扫描电镜材料分析检测技术领域，且公开了一种用于扫描电镜的通用型蓝牙控制真空转移装置，包括密封舱体，所述密封舱体的外侧壁一端固定连接有可拆卸侧盖板，所述密封舱体的外侧壁另一端固定连接有针阀；所述密封舱体的顶部开设有入口，所述入口处活动连接有可滑动上盖板，所述可滑动上盖板的一侧设置有两个上盖板滑轨，所述可滑动上盖板的底部设置有上盖板水平丝杆，所述密封舱体的内部一侧设置有上盖板作动电机，所述上盖板作动电机的输出端与上盖板水平丝杆同轴固定连接。该用于扫描电镜的通用型蓝牙控制真空转移装置，配合使用的实验仪器无需电控接口，可以用于扫描电镜及离子溅射仪等多种设备，极大地提高了装置的通用性。高了装置的通用性。高了装置的通用性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于扫描电镜的通用型蓝牙控制真空转移装置


[0001]本专利技术涉及实验室扫描电镜材料分析检测
，具体为一种用于扫描电镜的通用型蓝牙控制真空转移装置。

技术介绍

[0002]扫描电子显微电镜是观察材料微观结构的重要工具，在材料的研发和分析环节中有着广泛的应用。对于空气敏感类样品而言，样品的保护和转移是其形貌观测和化学分析的关键。目前市场上大多数针对扫描电镜的电驱动型真空转移装置都需要仪器配备相应的电控接口，不同设计的真空转移装置需要不同的接口设计，这就限制了真空转移装置的通用性。另外，对于有离子喷溅需求的空气敏感性样品，有线的电驱动真空转移装置基本无法使用。基于以上两点问题，目前尚未在市场上看到相应的真空转移方案。
[0003]专利公开号CN 111721793 A、CN 211318266 U文献均需要扫描电镜另外安装相应的电控接口或者定制相应的操作窗口。专利公开号CN 107768221 A、CN 212387290U文献利用内外压差驱动真空转移装置打开舱门，由于这种方式不受外部控制，容易出现卡壳等问题，且只能单次使用，无本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于扫描电镜的通用型蓝牙控制真空转移装置，包括密封舱体(18)，其特征在于：所述密封舱体(18)的外侧壁一端固定连接有可拆卸侧盖板(7)，所述密封舱体(18)的外侧壁另一端固定连接有针阀(17)；所述密封舱体(18)的顶部开设有入口，所述入口处活动连接有可滑动上盖板(1)，所述可滑动上盖板(1)的一侧设置有两个上盖板滑轨(3)，所述可滑动上盖板(1)的底部设置有上盖板水平丝杆(4)，所述密封舱体(18)的内部一侧设置有上盖板作动电机(6)，所述上盖板作动电机(6)的输出端与上盖板水平丝杆(4)同轴固定连接；所述密封舱体(18)的内部另一侧内底部固定连接有三个托架滑轨(14)，三个所述托架滑轨(14)的外侧壁上活动连接有样品台托架(16)，所述样品台托架(16)的一角螺纹旋...

【专利技术属性】
技术研发人员：田娜娜，胡佳其，靳凤民，刘士新，高彤彤，方卉，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：