本申请适用于电子光学实验技术领域，具体提供了一种电子光学测试平台装置，包括电子枪、真空腔室、衬管、载物盘；电子枪发生电子束；真空腔室处设置有物镜、电子束成像系统、电子束尺寸检测装置；衬管一端连接电子枪，衬管用于电子束通过，衬管另一端与真空腔室相连通，电子束成像系统利用二次电子和背散射电子信号以形成图像，光刻胶经过电子束的作用形成刻蚀痕迹，通过测量刻蚀痕迹获取电子束的尺寸；载物盘至少为两个，载物盘沿着衬管的长度方向移动，载物盘用于承载电子光学元件。旨在解决现有技术中存在的电子光学元件只能独立测试，收集分析数据有限，即使组成一个电子光学系统进行测试，当需要修改时也面临浪费和效率低下的技术问题。的技术问题。的技术问题。
【技术实现步骤摘要】
一种电子光学测试平台装置
[0001]本申请涉及电子光学实验
，更具体地说，是涉及一种电子光学测试平台装置。
技术介绍
[0002]电子光学元件需要进行测试，现有电子光学设备研发过程中多是把电子光学元件分隔独立开来进行测试，并没有组成一个电子光学系统进行测试，所收集分析数据有限。而且要进行电子光学系统测试，要把所有电子光学元件加工成型后再组装测试，这样无法对单个电子光学元件进行部分修改，如要修改需重新加工制作，以致要重新多次加工制造电子光学元件直至达到测试要求，造成浪费和效率低下。
技术实现思路
[0003]本申请的目的在于提供一种电子光学测试平台装置，旨在解决现有技术中存在的电子光学元件只能独立测试，收集分析数据有限，即使组成一个电子光学系统进行测试，当需要修改时也面临浪费和效率低下的技术问题。
[0004]为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种电子光学测试平台装置，包括：
[0005]电子枪，所述电子枪用于发生电子束；
[0006]真空腔室，所述真空腔室处设置有物镜以及电子束成像系统、电子束尺寸检测装置，所述物镜用于缩小电子束直径；
[0007]衬管，所述衬管一端密封连接电子枪，所述衬管用于电子束通过，所述衬管另一端与物镜之间相对密封且与真空腔室相连通，所述电子束成像系统、电子束尺寸检测装置均包括涂有光刻胶的硅片，所述电子束通过衬管打在硅片上激发二次电子和背散射电子，所述电子束成像系统用于利用二次电子和背散射电子信号以形成图像，所述光刻胶经过电子束的作用形成刻蚀痕迹，通过测量所述刻蚀痕迹获取所述电子束的尺寸，所述衬管内部为真空；以及
[0008]载物盘，所述载物盘至少为两个，所述载物盘位于电子枪和真空腔室之间，所述载物盘能够各自单独沿着衬管的长度方向移动，所述载物盘用于承载待检测的电子光学元件。
[0009]在其中一个实施例中，所述电子枪固定设置或所述电子枪固定连接在相邻的载物盘上并随之移动。
[0010]在其中一个实施例中，所述衬管穿过多个所述载物盘的中心，多个所述载物盘在衬管长度方向上相互对正，每个所述载物盘借助于丝杠机构单独移动。
[0011]在其中一个实施例中，所述电子光学测试平台装置还包括：
[0012]固定盘，所述固定盘为两个且在衬管长度方向上间隔设置且相互对正；
[0013]丝杠，所述丝杠装配在两个固定盘之间，所述丝杠转动连接在固定盘上，所述丝杠
还连接有用于驱动丝杠转动的手轮，所述丝杠具有外螺纹；
[0014]丝母，所述丝母固定连接所述载物盘，所述丝母具有内螺纹，所述内螺纹与所述外螺纹相适配，所述丝母套设在所述丝杠上；以及
[0015]滑杆，所述滑杆装配在两个固定盘之间，所述滑杆与所述载物盘相对滑动设置。
[0016]在其中一个实施例中，于两个所述固定盘之间还连接有支撑柱以使两个所述固定盘保持相对固定，所述支撑柱用于支撑整个测试平台装置。
[0017]在其中一个实施例中，所述载物盘固定连接有直线轴承，所述直线轴承内设有滚珠，所述滑杆穿过所述直线轴承，所述直线轴承与滑杆之间滑动连接以实现滑杆与所述载物盘相对滑动设置。
[0018]在其中一个实施例中，所述丝杠的数量与所述载物盘的数量相同，每个所述丝杠对应驱动一个所述载物盘运动，所述载物盘上设有用于丝杠穿过的通孔，所述丝母固定连接在载物盘上且与所述通孔相对正，所述丝杠同时穿过通孔和所述丝母。
[0019]在其中一个实施例中，所述电子枪固定连接在其中一个固定盘上，另一个固定盘固定连接在真空腔室上。
[0020]在其中一个实施例中，所述滑杆的数量与所述载物盘数量相同，每个滑杆对应穿过一个所述载物盘所连接的直线轴承。
[0021]在其中一个实施例中，在所述滑杆上还装配有可拆卸地卡箍，所述卡箍通过拧动螺丝以调整所述卡箍松紧，所述卡箍至少固定在所述直线轴承的下侧以使所述载物盘定位。
[0022]本申请提供的一种电子光学测试平台装置的有益效果在于，本申请中的电子枪用于发射电子束，电子束经衬管，通过衬管进入到真空腔室内的物镜，在物镜处汇聚，缩小电子束直径，电子束到达真空腔室的样品，样品也就是涂有光刻胶的硅片，产生二次电子和背散射电子，电子束成像系统接收二次电子和背散射电子信号以形成图像，电子束尺寸检测装置检测电子束的尺寸，从而鉴别电子束被操控后电子束的尺寸和像差，像差表示电子束在通过电子光学元件操控后所形成的畸变和误差，电子光学元件由于加工工艺、材料均匀度、装配、电源纹波稳定性等误差形成畸变和误差，电子束在经过衬管过程中，连接在电子枪和真空腔室之间的载物盘上可以设置多个不同的电子光学元件，实现了多个电子光学元件的随意组合，任意调节位置来进行快速测试，由于各个载物盘之间能够独立运动，即能够独立的沿着衬管的长度方向移动，所以各个电子光学元件的位置均可调，将各个电子光学元件接通电源发生器，通过改变电子光学元件的位置或电流电压等参数来收集数据分析，电子光学元件的位置或电流电压等发生改变的时候，会影响系统中磁场和电场，从而会影响电子束运动轨迹，从而实现对电子光学元件的测试，本申请解决了现有技术中需要把电子光学元件分隔独立开来测试的弊端，设置有多个载物盘可承载多个电子光学元件，且可通过载物盘单独进行位置的调节，组成了一个电子光学系统进行测试，无需将电子光学元件加工成型后再按照特定位置进行组装测试，传统方法对电子光学元件进行修改或调整，需要对电子光学元件重新加工制作，新的元件再重新组装后再进行下一次的测试，费时、费力、费钱，本测试装置灵活多样，数据收集较多，只需要对电子光学元件进行简单的位置调整和组合、载物盘位置调节、电子枪位置调节、供电信号的调节就可以快速收集分析数据，不用重新设计整体结构就可以调节到所需要位置，可以重复使用，这种通用设计大大提高
了电子光学系统研发速度和效率，减少了费用，通过测试数据，确定电子光学元件位置及所测量的实际所需尺寸，和电子光学元件组合后的顺序、位置，测量实际加工所需尺寸来设计确定电子光学元件最终图纸尺寸，通过测试和调节装置及时指导电子光学元件的修改。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本申请实施例提供的一种电子光学测试平台装置的结构示意图；
[0025]图2为图1去除支撑柱后的结构示意图；
[0026]图3为图1中真空腔室的剖视图；
[0027]图4为图1中电子枪处的剖视图。
[0028]图中，1、电子枪；2、真空腔室；3、物镜；4、衬管；5、载物盘；6、固定盘；7、丝杠；8、丝母；9、手轮；10、滑杆；11、直线轴承；12、支撑柱；13、卡箍。
具体实施方式
[本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子光学测试平台装置，其特征在于，包括：电子枪，所述电子枪用于发生电子束；真空腔室，所述真空腔室处设置有物镜以及电子束成像系统、电子束尺寸检测装置，所述物镜用于缩小电子束直径；衬管，所述衬管一端密封连接电子枪，所述衬管用于电子束通过，所述衬管另一端与物镜之间相对密封且与真空腔室相连通，所述电子束成像系统、电子束尺寸检测装置均包括涂有光刻胶的硅片，所述电子束通过衬管打在硅片上激发二次电子和背散射电子，所述电子束成像系统用于利用二次电子和背散射电子信号以形成图像，所述光刻胶经过电子束的作用形成刻蚀痕迹，通过测量所述刻蚀痕迹获取所述电子束的尺寸，所述衬管内部为真空；以及载物盘，所述载物盘至少为两个，所述载物盘位于电子枪和真空腔室之间，所述载物盘能够各自单独沿着衬管的长度方向移动，所述载物盘用于承载待检测的电子光学元件。2.如权利要求1所述的一种电子光学测试平台装置，其特征在于，所述电子枪固定设置或所述电子枪固定连接在相邻的载物盘上并随之移动。3.如权利要求1所述的一种电子光学测试平台装置，其特征在于，所述衬管穿过多个所述载物盘的中心，多个所述载物盘在衬管长度方向上相互对正，每个所述载物盘借助于丝杠机构单独移动。4.如权利要求1所述的一种电子光学测试平台装置，其特征在于，所述电子光学测试平台装置还包括：固定盘，所述固定盘为两个且在衬管长度方向上间隔设置且相互对正；丝杠，所述丝杠装配在两个固定盘之间，所述丝杠转动连接在固定盘上，所述丝杠还连接有用于驱动丝杠转动的手轮，所述丝杠具有外螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄龙，张刘晶，张振生，俞大鹏，
申请(专利权)人：深圳国际量子研究院，
类型：发明
国别省市：
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