本申请提出一种用于扫描电镜的定位方法、装置、电子设备及存储介质，涉及扫描电镜技术领域。该方法包括：获取待测样品位于目标拍摄位置的初始图像；确定初始图像中的样品杯和待测样品的位置信息；根据样品杯和待测样品的位置信息及相机的标定参数，确定第一坐标改正量；获取目标观测点的像素坐标及在第二坐标系中的目标位置坐标；根据像素坐标、第一坐标改正量及相机的标定参数，确定目标观测点在第二坐标系中的初始位置坐标；根据位置坐标控制样品台移动。本申请通过采集待测样品的图像，并根据目标观测点的像素坐标及图像相关信息，确定目标观测点的真实位置信息，实现样品观测点的准确、快速定位，有效提高了扫描电镜的观测效率。效率。效率。
【技术实现步骤摘要】
用于扫描电镜的定位方法、装置、电子设备及存储介质
[0001]本申请涉及扫描电镜
，尤其涉及一种用于扫描电镜的定位方法、装置、电子设备及存储介质。
技术介绍
[0002]扫描电子显微镜(简称扫描电镜)是用来观察、研究微米纳米尺度材料形貌、成分及光电特性的大型科学仪器。在使用扫描电镜观察待研究的样品时，需将样品放在扫描电镜的样品台上。
[0003]为了观察样品台上的不同样品或同一样品上的不同位置，需要对所观察样品进行寻找和定位。目前，用户通常根据扫描电镜视野中所观察到的区域特征来判定样品位置并进行视野区域内的小幅度移动。
[0004]由于扫描电镜的观察视野往往很小，因此在样品上寻找观测点非常困难，寻样时间较长。因此，研究如何快速、准确对样品的观测点进行定位显得至关重要。
技术实现思路
[0005]本申请旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
[0006]本申请第一方面实施例提出了一种用于扫描电镜的定位方法，包括：获取待测样品位于目标拍摄位置的初始图像及所述目标拍摄位置与相机间的距离，其中，所述待测样品位于样品杯上，所述样品杯位于样品台上；对所述初始图像进行识别，以确定所述样品杯和所述待测样品在第一坐标系中的位置信息；根据所述目标拍摄位置与所述相机间的距离、所述样品杯和所述待测样品的位置信息及所述相机的标定参数，确定所述第一坐标系中的第一坐标改正量；获取目标观测点在所述初始图像中的像素坐标及所述目标观测点在第二坐标系中的目标位置坐标；根据所述像素坐标、所述第一坐标改正量及所述相机的标定参数，确定所述目标观测点在第二坐标系中对应的初始位置坐标；根据所述初始位置坐标及所述目标位置坐标，控制所述样品台移动，以使所述目标观测点移动至目标位置。
[0007]本申请第二方面实施例提出了一种用于扫描电镜的定位装置，包括：第一获取模块，用于获取待测样品位于目标拍摄位置的初始图像及所述目标拍摄位置与相机间的距离，其中，所述待测样品位于样品杯上，所述样品杯位于样品台上；识别模块，用于对所述初始图像进行识别，以确定所述样品杯和所述待测样品在第一坐标系中的位置信息；第一确定模块，用于根据所述目标拍摄位置与所述相机间的距离、所述样品杯和所述待测样品的位置信息及所述相机的标定参数，确定所述第一坐标系中的第一坐标改正
量；第二获取模块，用于获取目标观测点在所述初始图像中的像素坐标及所述目标观测点在第二坐标系中的目标位置坐标；第二确定模块，用于根据所述像素坐标、所述第一坐标改正量及所述相机的标定参数，确定所述目标观测点在第二坐标系中对应的初始位置坐标；控制模块，根据所述初始位置坐标及所述目标位置坐标，控制所述样品台移动，以使所述目标观测点移动至目标位置。
[0008]本申请第三方面实施例提出了一种电子设备，包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机指令，所述处理器执行所述计算机指令时，实现如本申请第一方面实施例提出的方法。
[0009]本申请第四方面实施例提出了一种扫描电镜，包括如本申请第三方面实施例提出的电子设备。
[0010]本申请第五方面实施例提出了一种非临时性计算机可读存储介质，存储有计算机指令，所述计算机指令被处理器执行时实现如本申请第一方面实施例提出的方法。
[0011]本申请第六方面实施例提出了一种计算机程序产品，当所述计算机程序产品中的指令处理器执行时，执行本申请第一方面实施例提出的方法。
[0012]本申请提供的用于扫描电镜的定位方法、装置、电子设备及存储介质，存在如下有益效果：首先获取待测样品位于目标拍摄位置的初始图像及目标拍摄位置与相机间的距离，然后对初始图像进行识别，以确定样品杯和待测样品在第一坐标系中的位置信息；然后根据目标拍摄位置与相机间的距离、样品杯和待测样品的位置信息及相机的标定参数，确定第一坐标系中的第一坐标改正量；之后获取目标观测点在初始图像中的像素坐标及目标观测点在第二坐标系中的目标位置坐标，根据像素坐标、第一坐标改正量及相机的标定参数，确定目标观测点在第二坐标系中对应的初始位置坐标；最后根据初始位置坐标及目标位置坐标，控制样品台移动，以使目标观测点移动至目标位置。
[0013]本申请通过相机采集待测样品的图像，根据图像中待测样品和样品杯的位置信息、目标拍摄位置与相机间的距离及相机的标定参数，确定坐标改正量，进而结合坐标改正量及相机的标定参数，对图像中目标观测点的像素坐标进行转换，确定目标观测点的真实位置信息，进而实现样品观测点的准确、快速定位，有效提高了扫描电镜的观测效率，为用户节省大量样品搜索与定位的时间与精力。
[0014]本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0015]本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1为本申请一实施例所提供的用于扫描电镜的定位方法的流程示意图；图2为从俯视角度对待测样品进行观测时位置发生偏移的示意图；图3为本申请另一实施例所提供的用于扫描电镜的定位方法的流程示意图；
图4为本申请一实施例所提供的相机从俯视角度投影的示意图；图5为本申请一实施例所提供的计算成像偏移量的示意图；图6为本申请一实施例所提供的用于扫描电镜的定位装置的结构示意图；图7示出了适于用来实现本申请实施方式的示例性电子设备的框图。
具体实施方式
[0016]下面详细描述本申请的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。
[0017]下面参考附图描述本申请实施例的用于扫描电镜的定位方法、装置、电子设备和存储介质。
[0018]图1为本申请实施例所提供的用于扫描电镜的定位方法的流程示意图。
[0019]本申请实施例以该用于扫描电镜的定位方法被配置于用于扫描电镜的定位装置中来举例说明，该用于扫描电镜的定位装置可以应用于具有操作系统、触摸屏和/或显示屏的硬件设备中，以使该设备可以执行用于扫描电镜的定位功能。
[0020]如图1所示，该用于扫描电镜的定位方法可以包括以下步骤：步骤101，获取待测样品位于目标拍摄位置的初始图像及目标拍摄位置与相机间的距离，其中，待测样品位于样品杯上，样品杯位于样品台上。
[0021]需要说明的是，在使用扫描电镜观测样品时，通常将待测样品放置在样品杯上，将样品杯放置在样品台上。进而，通过位置调整使待测样品出现在扫描电镜的视野中。
[0022]其中，待测样品可以是需要观察微观形貌的任意类型的物品。比如，可以是生物标本、纳米材料等，本申请对此不作限定。
[0023]本申请实施例中，采用相机采集待测样品的初始图像。具体的，可以将相机固定在样品台上，并将样品台上位于相机正下方的位置设置为目标拍摄位置。当本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于扫描电镜的定位方法，其特征在于，包括：获取待测样品位于目标拍摄位置的初始图像及所述目标拍摄位置与相机间的距离，其中，所述待测样品位于样品杯上，所述样品杯位于样品台上；对所述初始图像进行识别，以确定所述样品杯和所述待测样品在第一坐标系中的位置信息；根据所述目标拍摄位置与所述相机间的距离、所述样品杯和所述待测样品的位置信息及所述相机的标定参数，确定所述第一坐标系中的第一坐标改正量；获取目标观测点在所述初始图像中的像素坐标及所述目标观测点在第二坐标系中的目标位置坐标；根据所述像素坐标、所述第一坐标改正量及所述相机的标定参数，确定所述目标观测点在所述第二坐标系中对应的初始位置坐标；根据所述初始位置坐标及所述目标位置坐标，控制所述样品台移动，以使所述目标观测点移动至目标位置。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述像素坐标、所述第一坐标改正量及所述相机的标定参数，确定所述目标观测点在所述第二坐标系中对应的初始位置坐标，包括：根据所述像素坐标和像素长度，确定所述目标观测点在所述第一坐标系中的图像坐标；根据所述第一坐标改正量，对所述图像坐标进行修正，以确定所述目标观测点的修正坐标；根据所述修正坐标及所述相机的标定参数，确定所述目标观测点在所述第二坐标系中对应的所述初始位置坐标。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述初始图像进行识别，以确定所述样品杯和所述待测样品在第一坐标系中的位置信息，包括：对所述初始图像进行识别，以确定所述样品杯和所述待测样品的边缘；基于所述样品杯和所述待测样品的边缘，确定所述样品杯和所述待测样品在所述第一坐标系中的所述位置信息。4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标拍摄位置与所述相机间的距离、所述样品杯和所述待测样品的位置信息及所述相机的标定参数，确定所述第一坐标系中的第一坐标改正量，包括：根据所述样品杯的位置信息，确定所述样品杯上的第一参考点在所述第一坐标系中的位置坐标；根据所述待测样品的位置信息，确定所述待测样品上的第二参考点在所述第一坐标系中的位置坐标及所述待测样品的长度；根据所述第一参考点的位置坐标、所述第二参考点的位置坐标及所述相机的标定参数，确定所述待测样品的厚度；根据所述待测样品的厚度、所述待测样品的长度以及所述目标拍摄位置与所述相机间的距离，确定成像偏移量...
【专利技术属性】
技术研发人员：王靖夫，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。