探针卡监控系统及方法技术方案

本申请涉及一种探针卡监控系统及方法。探针卡监控系统包括：探针机，用于承载探针卡并带动待测样品移动，并记录探针卡的第一扎针次数；测试机，其中，测试机包括：测试机机头，用于在与探针卡接触连接时，获取探针卡的特征信息；第一主控装置，分别与测试机机头、探针机连接，用于获取第一扎针次数，以及根据特征信息获取探针卡的身份标识信息，并根据身份标识信息和第一扎针次数获取探针卡的第一累计扎针次数，并在第一累计扎针次数达到第一预设阈值时，向探针机输出清针指令，以使探针机对探针卡进行清针处理。实现了清针自动化，可以实现更及时、更高效率地对探针卡进行监控。更高效率地对探针卡进行监控。更高效率地对探针卡进行监控。

【技术实现步骤摘要】
探针卡监控系统及方法


[0001]本申请涉及半导体测试
，特别是涉及一种探针卡监控系统及方法。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的发展，在晶圆工艺制程进入到一定阶段后，需要对晶圆样品进行电性能测试。电性能测试过程中，探针卡在反复扎针中容易出现杂质、灰尘累积以及针尖磨损或弯折等情况，在未及时处理的情况下针头容易出现熔结，这样会影响测试结果，例如，无法顺利传输电信号给器件，导致电信号测试异常。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对上述问题提供一种探针卡监控系统及方法。
[0004]为了实现上述目的，一方面，本申请提供了一种探针卡监控系统，包括：探针机，用于承载探针卡并带动待测样品移动，并记录所述探针卡的第一扎针次数；测试机，其中，所述测试机包括：测试机机头，用于在与所述探针卡接触连接时，获取所述探针卡的特征信息；第一主控装置，分别与所述测试机机头、所述探针机连接，用于获取所述第一扎针次数，以及根据所述特征信息获取所述探针卡的身份标识信息，并根据所述身份标识信息和所述第一扎针次数获取所述探针卡的第一累计扎针次数，并在所述第一累计扎针次数达到第一预设阈值时，向所述探针机输出清针指令，以使所述探针机对所述探针卡进行清针处理。
[0005]本申请中的探针卡监控系统，通过探针机记录探针卡的第一扎针次数，通过测试机获取探针卡的特征信息，通过第一主控装置获取探针机记录的探针卡的第一扎针次数，第一主控装置根据身份标识信息和第一扎针次数获取探针卡的第一累计扎针次数，在第一累计扎针次数达到第一预设阈值时，向探针机输出清针指令，以使探针机对探针卡进行清针处理，避免探针卡在反复扎针中出现杂质、灰尘累积以及针尖磨损或弯折等情况而没有及时处理，并且设定在第一累计扎针次数达到第一预设阈值时对探针卡进行清针处理，实现了清针自动化，可以实现更及时、更高效率地对探针卡进行监控，进而可以顺利传输电信号给器件，正常进行电信号测试。
[0006]在其中一个实施例中，所述特征信息包括电阻信息，所述测试机机头还用于在与所述探针卡接触连接时测试所述探针卡的电阻信息；所述第一主控装置还用于根据存储的预设映射关系、所述电阻信息和所述第一扎针次数确定所述探针卡的第一累计扎针次数，所述预设映射关系用于表征包括电阻信息、身份标识信息和第一历史扎针次数的对应关系。
[0007]在其中一个实施例中，所述第一主控装置包括：存储单元，用于存储各所述预设映射关系；
识别单元，分别与所述存储单元、测试机机头连接，用于根据所述电阻信息和所述预设映射关系确定所述身份标识信息，以及根据所述身份标识信息和所述预设映射关系确定所述探针卡的第一历史扎针次数；处理单元，分别与所述识别单元、所述探针机连接，用于获取所述第一历史扎针次数及所述第一扎针次数，根据所述第一扎针次数和所述第一历史扎针次数获取所述第一累计扎针次数，并在所述第一累计扎针次数达到第一预设阈值时，向所述探针机发送清针指令。
[0008]在其中一个实施例中，所述探针机还用于在对所述探针卡进行清针处理后，对所述第一扎针次数进行清零处理。
[0009]在其中一个实施例中，所述预设映射关系用于表征包括电阻信息、身份标识信息和第二历史扎针次数的对应关系，其中，所述第二历史扎针次数为所述探针卡的历史总扎针次数，所述第一历史扎针次数为所述探针卡经过清针处理重新计数的历史扎针次数；所述第一主控装置还用于根据存储的预设映射关系、所述电阻信息和所述第一扎针次数确定所述探针卡的第二累计扎针次数，所述第二累计扎针次数为所述第二历史扎针次数与所述第一扎针次数之和；当所述第二累计扎针次数达到第二预设阈值时，向所述探针机输出停止指令，以使所述探针机停止工作。
[0010]在其中一个实施例中，所述探针机包括：探针机机身，用于承载所述探针卡；其中，所述探针机机身设置有至少一个测试窗口；承载装置，用于承载待测样品；探针机械臂，与所述承载装置连接，并带动所述承载装置上下移动，使所述待测样品经由所述测试窗口与所述探针卡接触连接；清针装置，用于对所述探针卡进行清针处理；第二主控装置，分别与所述第一主控装置、所述探针机械臂、所述清针装置连接，用于驱动所述探针机械臂移动，并记录所述探针卡的第一扎针次数，还用于根据接收的所述清针指令控制所述清针装置对所述探针卡进行清针处理。
[0011]在其中一个实施例中，所述第二主控装置包括：参数设置单元，用于设置所述清针装置清洁所述探针卡时的清洁参数。
[0012]在其中一个实施例中，所述探针卡监控系统还包括：图像获取装置，用于获取所述探针卡的探针针尖形貌图像；所述探针机与所述图像获取装置连接，所述探针机还用于在接收到所述停止指令时，调取所述形貌图像，并根据所述形貌图像识别所述探针针尖的有效性。
[0013]本申请还提供一种探针卡监控方法，包括：当测试机机头与探针卡接触连接时，获取所述探针卡的特征信息；根据所述特征信息获取所述探针卡的身份标识信息；接收探针机发送的第一扎针次数，其中，所述探针机用于承载所述探针卡并带动待测样品移动；根据所述身份标识信息和所述第一扎针次数获取所述探针卡的第一累计扎针次
数，并在所述第一累计扎针次数达到第一预设阈值时，向所述探针机输出清针指令，以指示所述探针机对所述探针卡进行清针处理。
[0014]在其中一个实施例中，所述方法还包括：根据存储的预设映射关系、所述身份标识信息和所述第一扎针次数获取所述探针卡的第二累计扎针次数，并在所述第二累计扎针次数达到第二预设阈值时，向所述探针机输出停止指令，以使所述探针机停止工作。
[0015]本申请中的探针卡监控方法，通过获取探针卡的特征信息，根据特征信息获取探针卡的身份标识信息，以及根据身份标识信息和第一扎针次数获取所述探针卡的第一累计扎针次数，并在第一累计扎针次数达到第一预设阈值时，向探针机输出清针指令，以指示探针机对探针卡进行清针处理，可以及时、高效地对探针卡进行清针处理，以避免探针卡在反复扎针中出现杂质、灰尘累积以及针尖磨损或弯折等情况而没有及时处理造成电信号测试异常等情况的发生。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为一实施例中提供的探针卡监控系统的结构框图；图2为另一实施例中提供的探针卡监控系统的结构框图；图3为再一实施例中提供的探针卡监控系统的结构框图；图4为又一实施例中提供的探针卡监控系统的结构框图；图5为一实施例中提供的探针卡监控方法的流程示意图。
[0018]附图标记说明：1
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探针机；11
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探针机机身；12
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承载装置；13
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探针机械臂；14
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清针装置；15
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针卡监控系统，其特征在于，包括：探针机，用于承载探针卡并带动待测样品移动，并记录所述探针卡的第一扎针次数；测试机，其中，所述测试机包括：测试机机头，用于在与所述探针卡接触连接时，获取所述探针卡的特征信息；第一主控装置，分别与所述测试机机头、所述探针机连接，用于获取所述第一扎针次数，以及根据所述特征信息获取所述探针卡的身份标识信息，并根据所述身份标识信息和所述第一扎针次数获取所述探针卡的第一累计扎针次数，并在所述第一累计扎针次数达到第一预设阈值时，向所述探针机输出清针指令，以使所述探针机对所述探针卡进行清针处理。2.根据权利要求1所述的探针卡监控系统，其特征在于，所述特征信息包括电阻信息，所述测试机机头还用于在与所述探针卡接触连接时测试所述探针卡的电阻信息；所述第一主控装置还用于根据存储的预设映射关系、所述电阻信息和所述第一扎针次数确定所述探针卡的第一累计扎针次数，所述预设映射关系用于表征包括电阻信息、身份标识信息和第一历史扎针次数的对应关系。3.根据权利要求2所述的探针卡监控系统，其特征在于，所述第一主控装置包括：存储单元，用于存储各所述预设映射关系；识别单元，分别与所述存储单元、测试机机头连接，用于根据所述电阻信息和所述预设映射关系确定所述身份标识信息，以及根据所述身份标识信息和所述预设映射关系确定所述探针卡的第一历史扎针次数；处理单元，分别与所述识别单元、所述探针机连接，用于获取所述第一历史扎针次数及所述第一扎针次数，根据所述第一扎针次数和所述第一历史扎针次数获取所述第一累计扎针次数，并在所述第一累计扎针次数达到第一预设阈值时，向所述探针机发送清针指令。4.根据权利要求2所述的探针卡监控系统，其特征在于，所述探针机还用于在对所述探针卡进行清针处理后，对所述第一扎针次数进行清零处理。5.根据权利要求4所述的探针卡监控系统，其特征在于，所述预设映射关系还用于表征包括电阻信息、身份标识信息和第二历史扎针次数的对应关系，其中，所述第二历史扎针次数为所述探针卡的历史总扎针次数，所述第一历史扎针次数为所述探针卡经过清针处理重新计数的历史扎针次数；所述第一主控装置还用于根据存储的预设映射关系、所述电阻信息...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴哲佳，张锦涛，黄晓敏，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：