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本申请涉及一种探针卡监控系统及方法。探针卡监控系统包括：探针机，用于承载探针卡并带动待测样品移动，并记录探针卡的第一扎针次数；测试机，其中，测试机包括：测试机机头，用于在与探针卡接触连接时，获取探针卡的特征信息；第一主控装置，分别与测试机机...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

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