推舟座及管式PECVD设备制造技术

本实用新型专利技术涉及薄膜工艺设备技术领域，提供一种推舟座及管式PECVD设备。推舟座包括连接杆、安装框架及安装组件，所述连接杆适于安装推舟桨，所述安装框架适于连接模组滑块，安装组件设置于所述安装框架，所述安装组件包括竖向设置的第一调节件，所述第一调节件连接所述连接杆的一端，所述第一调节件适于调节所述连接杆的高度。本实用新型专利技术提供的推舟座及管式PECVD设备，可以通过第一调节件调节连接杆的高度，由此可以在竖直方向上调节推舟桨，保证推舟桨因石墨舟载片量发生变化时推舟桨不会与炉管发生刮擦，进而可以适应大载片量的生产过程，有效提高生产效率。有效提高生产效率。有效提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
推舟座及管式PECVD设备


[0001]本技术涉及薄膜工艺设备
，尤其涉及一种推舟座及管式PECVD设备。

技术介绍

[0002]PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子增强化学气相沉积是光伏产业生产电池过程中重要的薄膜工艺设备。PECVD具备投资成本低、占地面积小、开机率高等特点。
[0003]目前管式PECVD设备采用推舟装置将石墨舟推至炉体反应管内，同时将反应管内石墨舟取出。推舟装置包含推舟座及推舟桨，推舟座连接模组滑块和推舟桨，推舟桨连接石墨舟，推舟座是影响石墨舟能否正常送入炉体反应管的重要部件。
[0004]推舟桨为悬臂梁结构，推舟桨的变形会导致进舟时，推舟桨与炉管发生刮擦。
[0005]随着光伏产业发展，行业内迫切需要提高管式PECVD的生产效率，因此需要增大石墨舟的载片量。而石墨舟的载片量增大时，石墨舟的重量增大，造成推舟桨的变形量增大，容易与炉管发生刮擦。由此可见，推舟桨所产生变形是限制石墨舟载片量以及限制生产效率的重要因素。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种推舟座及管式PECVD设备，用以解决现有技术中推舟桨所产生的变形限制石墨舟载片量的问题。
[0007]本技术提供一种推舟座，包括：
[0008]连接杆，所述连接杆适于安装推舟桨；
[0009]安装框架，所述安装框架适于连接模组滑块；
[0010]安装组件，设置于所述安装框架，所述安装组件包括竖向设置的第一调节件，所述第一调节件连接所述连接杆的一端，所述第一调节件适于调节所述连接杆的高度。
[0011]根据本技术提供的一种推舟座，所述安装组件还包括：
[0012]夹块，所述夹块与所述安装框架固定连接，所述夹块上设置有贯穿孔和第一调节孔，所述第一调节孔连通所述贯穿孔；
[0013]所述连接杆穿设于所述贯穿孔，所述连接杆的上侧与所述贯穿孔的顶部内壁之间和/或所述连接杆的下侧与所述贯穿孔的底部内壁之间间隔设置；
[0014]所述第一调节件穿设于所述第一调节孔，且端部与所述连接杆连接。
[0015]根据本技术提供的一种推舟座，所述夹块设置有两个，所述连接杆同时穿设于两个所述夹块，且分别通过对应的所述第一调节件与两个所述夹块连接。
[0016]根据本技术提供的一种推舟座，
[0017]所述第一调节孔为长圆孔，且所述第一调节孔的长度方向平行于所述连接杆的长度方向。
[0018]根据本技术提供的一种推舟座，所述夹块的上下两侧分别设置有至少一个与
所述连接杆连接的所述第一调节件。
[0019]根据本技术提供的一种推舟座，所述安装框架上设置有第二调节孔，所述第二调节孔为长圆孔，所述第二调节孔的长度方向水平且垂直于所述连接杆的长度方向；
[0020]所述安装组件还包括第二调节件，所述第二调节件穿设于所述第二调节孔，并与所述夹块连接，所述第二调节件适于沿所述第二调节孔的长度方向调节位置。
[0021]根据本技术提供的一种推舟座，所述安装组件还包括第三调节件，所述第三调节件穿设于所述安装框架，所述第三调节件的轴线平行于所述第二调节孔的长度方向，所述第三调节件与所述夹块连接，所述第三调节件适于沿所述第二调节孔的长度方向调节所述连接杆的位置。
[0022]根据本技术提供的一种推舟座，所述安装框架包括：
[0023]固定板，所述固定板上设置有第一安装件，所述第一安装件适于连接所述模组滑块；
[0024]一对侧支撑块，所述侧支撑块与所述固定板垂直固定，所述安装组件连接所述侧支撑块；以及
[0025]至少一个加强板，所述加强板位于一对所述侧支撑块之间，且分别与一对所述侧支撑块垂直固定，所述安装组件连接所述加强板。
[0026]根据本技术提供的一种推舟座，所述连接杆为方形管结构。
[0027]本技术还提供一种管式PECVD设备，包括模组滑块、推舟桨、石墨舟和上述的推舟座，所述安装框架与所述模组滑块固定连接，所述推舟桨安装于所述连接杆，所述石墨舟设置于所述推舟桨。
[0028]本技术提供的推舟座，可以通过第一调节件调节连接杆的高度，由此可以在竖直方向上调节推舟桨，保证推舟桨因石墨舟载片量发生变化时推舟桨不会与炉管发生刮擦，进而可以适应大载片量的生产过程，有效提高生产效率。
[0029]进一步地，在本技术提供的管式PECVD设备中，由于具备如上所述的推舟座，因此同样具备如上所述的优势。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1是本技术提供的一种推舟座整体结构示意图；
[0032]图2是本技术提供的一种推舟座中的夹块结构示意图；
[0033]图3是本技术提供的一种推舟座中的连接杆结构示意图；
[0034]图4是本技术提供的一种推舟座中的侧支撑块结构示意图；
[0035]图5是本技术提供的一种推舟座中的固定板结构示意图；
[0036]图6是本技术提供的一种推舟座中的加强板结构示意图；
[0037]附图标记：
[0038]1、安装框架；2、连接杆；3、第一调节件；4、夹块；5、贯穿孔；6、第一调节孔；7、第二
调节孔；8、侧向孔；9、第二调节件；10、第三调节件；11、第一安装孔；12、第二安装孔；13、第一安装件；14、第四安装孔；15、第五安装孔；16、第三安装件；17、第六安装孔；18、第七安装孔；19、第一避让孔；20、第二避让孔；21、固定板；22、侧支撑块；23、加强板；24、连接块；25、第三安装孔；26、第二安装件。
具体实施方式
[0039]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。
[0040]在本技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0041]在本技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种推舟座，其特征在于，包括：连接杆，所述连接杆适于安装推舟桨；安装框架，所述安装框架适于连接模组滑块；安装组件，设置于所述安装框架，所述安装组件包括竖向设置的第一调节件，所述第一调节件连接所述连接杆的一端，所述第一调节件适于调节所述连接杆的高度。2.根据权利要求1所述的推舟座，其特征在于，所述安装组件还包括：夹块，所述夹块与所述安装框架固定连接，所述夹块上设置有贯穿孔和第一调节孔，所述第一调节孔连通所述贯穿孔；所述连接杆穿设于所述贯穿孔，所述连接杆的上侧与所述贯穿孔的顶部内壁之间和/或所述连接杆的下侧与所述贯穿孔的底部内壁之间间隔设置；所述第一调节件穿设于所述第一调节孔，且端部与所述连接杆连接。3.根据权利要求2所述的推舟座，其特征在于，所述夹块设置有两个，所述连接杆同时穿设于两个所述夹块，且分别通过对应的所述第一调节件与两个所述夹块连接。4.根据权利要求2所述的推舟座，其特征在于，所述第一调节孔为长圆孔，且所述第一调节孔的长度方向平行于所述连接杆的长度方向。5.根据权利要求2至4任一项所述的推舟座，其特征在于，所述夹块的上下两侧分别设置有至少一个与所述连接杆连接的所述第一调节件。6.根据权利要求2所述的推舟座，其特征在于，所述安装框架上设置有第二调节孔，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨莎，袁骜，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：