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本实用新型涉及薄膜工艺设备技术领域，提供一种推舟座及管式PECVD设备。推舟座包括连接杆、安装框架及安装组件，所述连接杆适于安装推舟桨，所述安装框架适于连接模组滑块，安装组件设置于所述安装框架，所述安装组件包括竖向设置的第一调节件，所述第一...
该专利属于三一硅能（株洲）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三一硅能（株洲）有限公司授权不得商用。

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