显示面板及其制备方法与显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种显示面板及其制备方法与显示装置，所述显示面板包括基板；薄膜晶体管层，包括多个薄膜晶体管；平坦化层，包括对应多个所述薄膜晶体管设置的多个第一接触孔；电极层，包括多个电极部；其中，所述平坦化层与所述电极层之间还设置有导电连接层，所述导电连接层的材料的延展性大于所述电极层的材料的延展性，所述导电连接层包括多个导电连接部，一所述导电连接部通过一所述第一接触孔与一所述薄膜晶体管电性连接，一所述电极部与一所述导电连接部电性连接，通过设置所述导电连接层，实现所述显示面板的显示良率的提升。实现所述显示面板的显示良率的提升。实现所述显示面板的显示良率的提升。

【技术实现步骤摘要】
显示面板及其制备方法与显示装置


[0001]本申请涉及显示
，具体涉及一种显示面板及其制备方法与显示装置。

技术介绍

[0002]在目前常规的显示面板中，通常包括基板以及依次设置于基板上的薄膜晶体管层、平坦化层以及电极层，其中电极层需跨过形成于平坦化层中的接触孔与薄膜晶体管层连接，而由于所述平坦化层的厚度相对较厚，通常厚度会达到2um，使得该接触孔深度非常深，而所述电极层的材料通常为延展性较差的氧化铟锡，且厚度较薄，使得所述电极层在跨过对应的接触孔时可能会出现膜层断裂导致信号传输异常进而导致显示不良出现，或所述电极部在覆盖所述接触孔表面的区域膜质疏松导致所述电极层与薄膜晶体管层的接触电阻过高进而导致显示不良出现。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种显示面板及其制备方法与显示装置，可解决电极层易断裂以及电极层与薄膜晶体管层接触电阻高导致的显示不良的问题。
[0004]为解决上述问题，第一方面，本专利技术提供了一种显示面板，所述显示面板包括：
[0005]基板；
[0006]薄膜晶体管层，设置于所述基板上，包括多个薄膜晶体管；
[0007]平坦化层，设置于所述薄膜晶体管层上，包括对应多个所述薄膜晶体管设置的多个第一接触孔；
[0008]电极层，设置于所述平坦化层上，包括多个电极部；
[0009]其中，所述平坦化层与所述电极层之间还设置有导电连接层，所述导电连接层的材料的延展性大于所述电极层的材料的延展性，所述导电连接层包括多个导电连接部，一所述导电连接部通过一所述第一接触孔与一所述薄膜晶体管电性连接，一所述电极部与一所述导电连接部电性连接。
[0010]在本专利技术实施例所提供的一种显示面板中，一所述导电连接部包括第一导电部与第二导电部，所述第一导电部覆盖对应的所述第一接触孔的侧壁并与对应的所述薄膜晶体管连接，所述第二导电部与所述第一导电部远离所述基板的一端连接并延伸至所述平坦化层远离所述基板的侧面上，所述电极部至少与所述第二导电部搭接。
[0011]在本专利技术实施例所提供的一种显示面板中，所述电极层与所述导电连接层之间还设置有第一钝化层，所述第一钝化层包括对应多个所述导电连接部设置的多个第二接触孔，所述第二接触孔的孔径大于对应的所述第一接触孔的孔径，一所述电极部通过对应的一所述第二接触孔与所述导电连接部电性连接且所述电极部与所述第二导电部至少部分搭接。
[0012]在本专利技术实施例所提供的一种显示面板中，一所述电极部在所述平坦化层上的正投影覆盖对应的所述第一接触孔，所述电极部通过对应的所述第二接触孔还与所述第一导
电部搭接。
[0013]在本专利技术实施例所提供的一种显示面板中，所述导电连接层包括第一导电连接子层，所述第一导电连接子层的材料为铜。
[0014]在本专利技术实施例所提供的一种显示面板中，所述导电连接层还包括设置于所述第一导电连接子层与所述平坦化层之间的第二导电连接子层，所述第二导电连接子层的材料为氧化铟锡。
[0015]在本专利技术实施例所提供的一种显示面板中，所述平坦化层与所述薄膜晶体管层之间还设置有第二钝化层，所述第二钝化层包括对应多个所述第一接触孔设置的多个第三接触孔，一所述导电连接部通过一所述第一接触孔以及一对应的所述第三接触孔与一所述薄膜晶体管电性连接；
[0016]其中，在一所述第一接触孔与对应的一所述第三接触孔中，所述第一接触孔靠近所述基板的一端与所述第三接触孔远离所述基板的一端连接。
[0017]在本专利技术实施例所提供的一种显示面板中，所述第一接触孔的侧壁相较所述基板的形成的锐夹角的角度大于所述第三接触孔的侧壁相较所述基板的形成的锐夹角的角度。
[0018]第二方面，本专利技术提供了一种显示面板的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：
[0019]S10：提供一基板，在所述基板上形成薄膜晶体管层，所述薄膜晶体管层包括多个薄膜晶体管；
[0020]S20：在所述薄膜晶体管层上形成平坦化层，所述平坦化层包括对应多个所述薄膜晶体管形成的多个第一接触孔；
[0021]S30：在所述平坦化层上形成导电连接层，所述导电连接层包括多个导电连接部，一所述导电连接部通过一所述第一接触孔与一所述薄膜晶体管电性连接；
[0022]S40：在所述导电连接层上形成电极层，所述电极层包括多个电极部，一所述电极部与一所述导电连接部电性连接，所述导电连接层的材料的延展性大于所述电极层的材料的延展性。
[0023]第三方面，本专利技术提供了一种显示装置，所述显示装置包括上述的显示面板。
[0024]有益效果：本专利技术提供了一种显示面板及其制备方法与显示装置，所述显示面板包括基板；薄膜晶体管层，设置于所述基板上，包括多个薄膜晶体管；平坦化层，设置于所述薄膜晶体管层上，包括对应多个所述薄膜晶体管设置的多个第一接触孔；电极层，设置于所述平坦化层上，包括多个电极部；其中，所述平坦化层与所述电极层之间还设置有导电连接层，所述导电连接层的材料的延展性大于所述电极层的材料的延展性，所述导电连接层包括多个导电连接部，一所述导电连接部通过一所述第一接触孔与一所述薄膜晶体管电性连接，一所述电极部与一所述导电连接部电性连接，通过设置所述导电连接层，并使用所述导电连接部替代所述电极部跨过所述第一接触孔与所述薄膜晶体管直接连接，进而所述电极部再通过与所述导电连接部连接实现与所述薄膜晶体管的电性连接，由于所述导电连接层的材料的延展性大于所述电极层的材料的延展性，从而提升了所述电极部与所述薄膜晶体管的连接可靠性，且所述导电连接部与所述电极部作为等效电极部的这一整体与所述薄膜晶体管之间的接触电阻得以降低，进而使得所述显示面板具有更高的显示良率。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1是本专利技术现有技术提供的一种显示面板的截面结构示意图；
[0027]图2是本专利技术实施例提供的第一种显示面板的截面结构示意图；
[0028]图3是本专利技术实施例提供的第二种显示面板的截面结构示意图；
[0029]图4是本专利技术实施例提供的第三种显示面板的截面结构示意图；
[0030]图5是本专利技术实施例提供的第四种显示面板的截面结构示意图；
[0031]图6是本专利技术实施例提供的一种显示面板的制备方法的文字流程示意图；
[0032]图7a
‑
7e是本专利技术实施例提供的一种显示面板的制备方法的结构流程示意图。
具体实施方式
[0033]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括：基板；薄膜晶体管层，设置于所述基板上，包括多个薄膜晶体管；平坦化层，设置于所述薄膜晶体管层上，包括对应多个所述薄膜晶体管设置的多个第一接触孔；电极层，设置于所述平坦化层上，包括多个电极部；其中，所述平坦化层与所述电极层之间还设置有导电连接层，所述导电连接层的材料的延展性大于所述电极层的材料的延展性，所述导电连接层包括多个导电连接部，一所述导电连接部通过一所述第一接触孔与一所述薄膜晶体管电性连接，一所述电极部与一所述导电连接部电性连接。2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，一所述导电连接部包括第一导电部与第二导电部，所述第一导电部覆盖对应的所述第一接触孔的侧壁并与对应的所述薄膜晶体管连接，所述第二导电部与所述第一导电部远离所述基板的一端连接并延伸至所述平坦化层远离所述基板的侧面上，所述电极部至少与所述第二导电部搭接。3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述电极层与所述导电连接层之间还设置有第一钝化层，所述第一钝化层包括对应多个所述导电连接部设置的多个第二接触孔，所述第二接触孔的孔径大于对应的所述第一接触孔的孔径，一所述电极部通过对应的一所述第二接触孔与所述导电连接部电性连接且所述电极部与所述第二导电部至少部分搭接。4.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，一所述电极部在所述平坦化层上的正投影覆盖对应的所述第一接触孔，所述电极部通过对应的所述第二接触孔还与所述第一导电部搭接。5.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述导电连接层包括第一导电连接子层，所述第一导电连接子层的材料为铜。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：王航，
申请(专利权)人：广州华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：