一种MEMS麦克风及其生产方法技术

本发明专利技术公开了一种MEMS麦克风及其生产方法，涉及到MEMS麦克风技术领域，解决了现有的麦克风的圆形进音孔大小固定不能调节的问题，包括壳体，壳体顶面开设有活动槽，活动槽底部设有薄片；还包括两个相互配合的弹性杆；活动组件，活动组件用于带动两个弹性杆相互移动，从而使两个弹性杆形成进音的孔洞；维持组件，维持组件配合活动组件自动撑开弹性杆从而保证孔洞呈圆形；封堵组件，封堵组件用于配合活动组件保证两个弹性杆周边封堵，本发明专利技术通过活动的活动板一方面使两个弹性杆相互靠近，同时在倾斜的限位板的作用下，使第一套管沿着第一套杆向外移动，并在U形板的作用下，使弹性杆撑开，从而在调整孔洞的大小同时保证孔洞呈圆形，保证音质质量。保证音质质量。保证音质质量。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS麦克风及其生产方法


[0001]本专利技术涉及MEMS麦克风
，具体为一种MEMS麦克风及其生产方法。

技术介绍

[0002]MEMS（微型机电系统）麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风，简单的说就是一个电容器集成在微硅晶片上，可以采用表贴工艺进行制造，能够承受很高的回流焊温度，容易与 CMOS 工艺及其它音频电路相集成，ECM麦克风就是根据声波产生的空气流动对薄片的冲击，使其产生形变，从而改变电容，使输出电信号的改变，从而反映出入口处的声波频率和幅度的变化。
[0003]ECM麦克风的壳体上开设有进音孔，进音孔正对应有薄片，通过从进音孔进入的流动空气对薄片进行冲击，而进音孔一般设置为圆孔，这是因为圆形孔相对于其他形状的孔来说，主要是应力集中的区别，圆形的孔的边缘上处处同性，也就是说每一点的受力是一样的，从而保证音质质量，现有的ECM麦克风上的圆形进音孔大小固定，不能调节，而现有的专利中可以调节大小的进音孔的形状又不是圆形，不能保证音质质量。
[0004]为此，我们提出一种MEMS麦克风及其生产方法。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种便于调节进音孔大小的MEMS麦克风及其生产方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种MEMS麦克风，包括壳体，所述壳体顶面开设有活动槽，所述活动槽底部设有薄片；还包括两个相互配合的弹性杆；活动组件，所述活动组件用于带动两个所述弹性杆相互移动，从而使两个所述弹性杆形成进音的孔洞；维持组件，所述维持组件配合所述活动组件自动撑开所述弹性杆从而保证孔洞呈圆形；封堵组件，所述封堵组件用于配合所述活动组件保证两个所述弹性杆周边封堵。
[0007]优选的，所述活动组件包括两个于所述壳体内水平滑动的活动板，所述活动板内侧固定连接有滑动杆，所述活动板两端均设有与所述滑动杆滑动配合的抵压板，所述弹性杆两端分别与两个所述抵压板端部连接，所述活动板侧边设有带动所述活动板相互活动的动力组件。
[0008]优选的，所述维持组件包括连接固定于所述壳体内的第一套杆，所述第一套杆两端均套设有第一套管，所述第一套管侧面固定连接有呈倾斜分布的限位板，所述限位板与所述活动板滑动配合，所述第一套管顶面固定连接有U形板，所述U形板与所述抵压板滑动配合。
[0009]优选的，所述动力组件包括连接固定于所述壳体内的电机，所述电机的输出轴固定连接有两个相互连接的螺纹杆，两个所述螺纹杆的螺纹方向相反，所述螺纹杆上螺纹套设有螺纹筒，所述螺纹筒外表面固定连接有于所述壳体内水平滑动的连接板，所述连接板与所述活动板连接固定。
[0010]优选的，所述封堵组件包括具有弹性性能的防护层和限位框杆，所述限位框杆两端与两个所述抵压板连接固定，所述防护层连接于所述限位框杆与所述弹性杆之间，所述限位框杆和所述弹性杆均于所述壳体内水平活动，所述防护层上抵压接触有抵压杆，所述螺纹杆上设有配合活动的所述活动板使所述抵压杆远离所述防护层的配合组件。
[0011]优选的，所述配合组件包括位于两个所述螺纹杆之间的第一锥齿轮，所述第一锥齿轮与所述螺纹杆连接固定，所述壳体上转动连接有转动杆，所述转动杆端部固定连接有与所述第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮，所述壳体内转动连接有两个呈水平分布的第二套杆，所述第二套杆上套设有与所述抵压杆转动连接的第二套管，其中一个所述第二套管上开设有滑动槽，所述抵压杆上设有带动所述第二套杆转动一定角度后维持原位置的抵压组件。
[0012]优选的，所述抵压组件包括套设于所述转动杆的并与所述转动杆转动配合的转动盘，所述转动盘边缘处固定连接有多个凸块，所述壳体上转动连接有第一转杆，所述第一转杆端部与所述凸块抵压配合，所述第一转杆另一端固定连接有呈倾斜分布的第二转杆，所述第二转杆端部穿入所述滑动槽内并与所述第二套杆转动连接，所述第二转杆侧面挂接有呈倾斜分布并与所述壳体连接的第一弹性拉绳，所述限位框杆与所述抵压杆之间固定连接有呈U形结构的伸缩杆。
[0013]优选的，所述抵压组件还包括与所述转动杆连接固定的两个第一转板，所转动盘内开设有转动槽，所述第一转板端部与所述转动槽活动配合，所述转动槽内壁固定连接有第二转板，所述第一转板和所述第二转板之间挂接配合有第二弹性拉绳。
[0014]一种MEMS麦克风的生产方法，包括以下步骤；S1.零部件加工，将麦克风内零部件加工生产出来；S2.焊锡，通过焊锡将所述壳体内的电子元器件联通电路；S3.组装，将所述壳体和零部件组装，并进行测试。
[0015]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、本专利技术通过活动的活动板一方面使两个弹性杆相互靠近，同时在倾斜的限位板的作用下，使第一套管沿着第一套杆向外移动，并在U形板的作用下，使弹性杆撑开，从而在调整孔洞的大小同时保证孔洞呈圆形，保证音质质量。
[0016]2、孔洞调整的同时，抵压杆远离防护层，便于孔洞的调整，当活动板停止活动时，抵压杆重新抵压防护层，且抵压杆支撑防护层保证防护层绷直，使两个防护层抵压紧密，保证弹性杆周边封闭，仅弹性杆形成的孔洞流动空气。
[0017]3、抵压杆的位置随防护层移动而改变，始终保证抵压位置，避免孔洞调整后，抵压位置过于靠近或者远离，影响抵压效果。
附图说明
[0018]图1为本专利技术整体结构示意图；图2为本专利技术整体结构拆分示意图；图3为图2中局部结构放大示意图；图4为图3中结构仰视示意图；图5为图3中结构拆分示意图；
图6为图5中左端结构拆分示意图；图7为图6中左端结构拆分示意图；图8为图6中右端局部结构示意图；图9为图8中结构拆分示意图；图10为图9中转动盘结构剖面示意图；图11为图10中结构拆分示意图。
[0019]图中：1
‑
壳体；2
‑
活动槽；3
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薄片；4
‑
弹性杆；5
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活动组件；6
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活动板；7
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滑动杆；8
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抵压板；9
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维持组件；10
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第一套杆；11
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第一套管；12
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限位板；13
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U形板；14
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动力组件；15
‑
电机；16
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螺纹杆；17
‑
螺纹筒；18
‑
连接板；19
‑
封堵组件；20
‑
防护层；21
‑
限位框杆；22
‑
抵压杆；23
‑
配合组件；24
‑
第一锥齿轮；25
‑
转动杆；26
‑
第二锥齿轮；27
‑
第二套杆；28
‑
第二套管；29
‑
滑动槽；30
‑
抵压组件；31
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风，包括：壳体（1），所述壳体（1）顶面开设有活动槽（2），所述活动槽（2）底部设有薄片（3）；其特征在于，还包括：两个相互配合的弹性杆（4）；活动组件（5），所述活动组件（5）用于带动两个所述弹性杆（4）相互移动，从而使两个所述弹性杆（4）形成进音的孔洞；维持组件（9），所述维持组件（9）配合所述活动组件（5）自动撑开所述弹性杆（4）从而保证孔洞呈圆形；封堵组件（19），所述封堵组件（19）用于配合所述活动组件（5）保证两个所述弹性杆（4）周边封堵。2.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于：所述活动组件（5）包括两个于所述壳体（1）内水平滑动的活动板（6），所述活动板（6）内侧固定连接有滑动杆（7），所述活动板（6）两端均设有与所述滑动杆（7）滑动配合的抵压板（8），所述弹性杆（4）两端分别与两个所述抵压板（8）端部连接，所述活动板（6）侧边设有带动所述活动板（6）相互活动的动力组件（14）。3.根据权利要求2所述的一种MEMS麦克风，其特征在于：所述维持组件（9）包括连接固定于所述壳体（1）内的第一套杆（10），所述第一套杆（10）两端均套设有第一套管（11），所述第一套管（11）侧面固定连接有呈倾斜分布的限位板（12），所述限位板（12）与所述活动板（6）滑动配合，所述第一套管（11）顶面固定连接有U形板（13），所述U形板（13）与所述抵压板（8）滑动配合。4.根据权利要求3所述的一种MEMS麦克风，其特征在于：所述动力组件（14）包括连接固定于所述壳体（1）内的电机（15），所述电机（15）的输出轴固定连接有两个相互连接的螺纹杆（16），两个所述螺纹杆（16）的螺纹方向相反，所述螺纹杆（16）上螺纹套设有螺纹筒（17），所述螺纹筒（17）外表面固定连接有于所述壳体（1）内水平滑动的连接板（18），所述连接板（18）与所述活动板（6）连接固定。5.根据权利要求4所述的一种MEMS麦克风，其特征在于：所述封堵组件（19）包括具有弹性性能的防护层（20）和限位框杆（21），所述限位框杆（21）两端与两个所述抵压板（8）连接固定，所述防护层（20）连接于所述限位框杆（21）与所述弹性杆（4）之间，所述限位框杆（21）和所述弹性杆（4）均于所述壳体（1）内水平活动，所述防护层（20）上抵压接触有抵压杆（22）...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘得胜，石旭金，王宁，杨文凯，隆昌学，
申请(专利权)人：广范企业发展连云港有限公司，
类型：发明
国别省市：