下载一种MEMS麦克风及其生产方法的技术资料

文档序号:36502729

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本发明公开了一种MEMS麦克风及其生产方法,涉及到MEMS麦克风技术领域,解决了现有的麦克风的圆形进音孔大小固定不能调节的问题,包括壳体,壳体顶面开设有活动槽,活动槽底部设有薄片;还包括两个相互配合的弹性杆;活动组件,活动组件用于带动两个弹...
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