【技术实现步骤摘要】
一种炉管气路连接组件
[0001]本技术涉及炉管气路连接
,具体为一种炉管气路连接组件。
技术介绍
[0002]生产晶圆片时,需要在炉管进行晶圆片表面热处理时调节炉管内气路的流量,以满足不同客户对晶圆片提出的不同要求,现有的调节阀拆卸与组装都较为困难和复杂,生产效率不高。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种炉管气路连接组件,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种炉管气路连接组件,包括第一接口,所述第一接口端部连接有第一阀盖,所述第一阀盖端部连接有第一阀体,所述第一阀体端部设有流量控制机构,所述流量控制机构包括移动块,所述移动块上设有封堵头,所述封堵头端部设有第二阀体,所述第二阀体端部连接有第二阀体,所述第二阀体端部连接有第二阀盖,所述第二阀盖端部连接有第二接口。
[0005]优选的,所述第一阀盖两侧设有一组相同的卡扣,所述卡扣的一端伸出第一阀盖的侧壁外,所述卡扣的另一端伸入第一阀体内,所述第一阀体内设有与卡扣相对应的卡槽。
[0006]优选的,所述封堵头截面为等腰梯形,所述第二阀体端部的截面与封堵头的截面形状贴合。
[0007]优选的,所述移动块端部的外侧设有第一旋转螺纹,所述第一阀体内侧设有与第一旋转螺纹相对应的第二旋转螺纹。
[0008]优选的,所述第一阀盖与第二阀盖上均设有防滑纹。
[0009]与现有技术相比,本技术的有益效果是:本技术结构简单,设计新颖,利用合理的机械结构,巧妙 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种炉管气路连接组件,包括第一接口(1),所述第一接口(1)端部连接有第一阀盖(2),其特征在于:所述第一阀盖(2)端部连接有第一阀体(3),所述第一阀体(3)端部设有流量控制机构(4),所述流量控制机构(4)包括移动块(41),所述移动块(41)上设有封堵头(42),所述封堵头(42)端部设有第二阀体(5),所述第二阀体(5)端部连接有第二阀体(5),所述第二阀体(5)端部连接有第二阀盖(6),所述第二阀盖(6)端部连接有第二接口(7)。2.根据权利要求1所述的一种炉管气路连接组件,其特征在于:所述第一阀盖(2)两侧设有一组相同的卡扣(21),所述卡扣(21)的一端伸出第一阀盖...
【专利技术属性】
技术研发人员:周航,耿伟,顾少俊,余珺,
申请(专利权)人:鑫德斯特电子设备安徽有限公司,
类型:新型
国别省市:
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