一种单晶炉的炉盖提升装置制造方法及图纸

技术编号:36481716 阅读:26 留言:0更新日期:2023-01-25 23:36
本实用新型专利技术公开了一种单晶炉的炉盖提升装置,包括支架,所述支架顶部设有横梁,所述横梁的前端安装有电动伸缩缸,所述电动伸缩缸的活塞杆连接着安装板,所述安装板下方安装有滑动轴承,所述滑动轴承内穿插有滑动杆,所述滑动杆的前端设有炉盖连接组件,所述滑动杆的后端设有齿条;通过炉盖连接组件上的两个安装臂,能够与炉盖的两侧紧密连接实现夹持固定,有效防止炉盖脱落,特设的电动伸缩缸能够带动炉盖连接组件上的炉盖进行上升,整个提升过程稳定且不会发生便宜,特设的齿轮会带动滑动杆后移,即而使上升后的炉盖后移,使炉盖远离炉体,方便工作人员操作。方便工作人员操作。方便工作人员操作。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉的炉盖提升装置


[0001]本技术涉及单晶炉
,具体为一种单晶炉的炉盖提升装置。

技术介绍

[0002]单晶炉炉盖提升装置是单晶硅生产过程中必不可少的装置,现有的炉盖提升装置一般通过吊带穿过吊耳来,向上提升炉盖,提升过程中吊带容易脱落或偏移,使得吊装过程中发生重心偏移,吊装不稳定。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种单晶炉的炉盖提升装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种单晶炉的炉盖提升装置,包括支架,所述支架顶部设有横梁,所述横梁的前端安装有电动伸缩缸,所述电动伸缩缸的活塞杆连接着安装板,所述安装板下方安装有滑动轴承,所述滑动轴承内穿插有滑动杆,所述滑动杆的前端设有炉盖连接组件,所述滑动杆的后端设有齿条。
[0005]优选的,所述炉盖连接组件包括U形安装架和两个安装臂,所述U形安装架的后端与滑动杆固定连接,所述U形安装架的两侧均设有安装孔,每个所述安装臂的后端均设有连接杆,所述安装臂上还设有多个定位孔。/>[0006]优选本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉的炉盖提升装置,包括支架(1),所述支架(1)顶部设有横梁(11),其特征在于:所述横梁(11)的前端安装有电动伸缩缸(2),所述电动伸缩缸(2)的活塞杆(21)连接着安装板(22),所述安装板(22)下方安装有滑动轴承(3),所述滑动轴承(3)内穿插有滑动杆(31),所述滑动杆(31)的前端设有炉盖连接组件(4),所述滑动杆(31)的后端设有齿条(5)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉盖提升装置,其特征在于:所述炉盖连接组件(4)包括U形安装架(41)和两个安装臂(42),所述U形安装架(41)的后端与滑动杆(31...

【专利技术属性】
技术研发人员:耿伟顾少俊张西东周航
申请(专利权)人:鑫德斯特电子设备安徽有限公司
类型:新型
国别省市:

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