一种硅片表面处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片表面处理装置，包括底座，所述底座的侧边设有电动升降杆，所述底座上设有转盘，所述转盘的底部与底座内的旋转电机相连接，所述转盘上设有多个夹持机构，本实用新型专利技术结构简单，设计新颖，特设的夹持机构不仅可对硅片进行定位，保证硅片在抛光过程中，不会随意移动，大大降低了硅片边缘被擦伤的风险，而且只需要通过调整夹持机构的松紧，即可轻松的将硅片取出，方便快捷。方便快捷。方便快捷。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片表面处理装置


[0001]本技术涉及硅片处理
，具体为一种硅片表面处理装置。

技术介绍

[0002]单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是制作成单晶硅片用作半导体材料，单晶硅片在生产过程中，通常需要对其表面进行抛光处理，以保证其具有较高的光滑度。
[0003]市场上的常见的单晶硅片表面处理装置，多是开设固定槽来直接放置硅片，硅片放入后与槽体之间任然有点间隙，在抛光过程中随着抛光设备的转动，硅片的边缘容易被槽壁擦伤，另外抛光结束后，员工多是用手直接从槽中取出硅片，由于硅片较薄，取出较为麻烦，稍有不慎容易造成碎片的风险。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种硅片表面处理装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片表面处理装置，包括底座，所述底座的侧边设有电动升降杆，所述底座上设有转盘，所述转盘的底部与底座内的旋转电机相连接，所述转盘上设有多个夹持机构，所述夹持机构包括呈十字状设计的滑轨，连动盘和放置盘，所述滑轨固定于转盘上，所述滑轨的中间设有一根连接轴，所述滑轨的每个轨道内均设有L形的滑块，所述滑块的底端设有连杆，所述滑块的顶端设有弧形夹板，所述滑轨的其中一个轨道旁设有卡扣。
[0006]优选的，所述连动盘的中间设有滚动轴承，所述连动盘的边缘设有卡环，所述连动盘的表面设有四条弧形的长腰孔，所述滚动轴承套接于连接轴上，所述长腰孔套接于对应的连杆上，所述卡环与卡扣相匹配。
[0007]优选的，所述放置盘固定于连接轴的顶部，所述放置盘上设有一层橡胶垫，所述放置盘与弧形夹板位于同一水平线上。
[0008]优选的，所述弧形夹板上同样设有一层橡胶垫。
[0009]优选的，所述电动升降杆的顶部设有横梁，所述横梁上设有第二旋转电机，所述第二旋转电机的输出端连接着抛光盘。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术结构简单，设计新颖，特设的夹持机构不仅可对硅片进行定位，保证硅片在抛光过程中，不会随意移动，大大降低了硅片边缘被擦伤的风险，而且只需要通过调整夹持机构的松紧，即可轻松的将硅片取出，方便快捷。
附图说明
[0011]图1为本技术整体结构示意图；
[0012]图2为本技术转盘的结构示意图；
[0013]图3为本技术滑轨的结构示意图；
[0014]图4为本技术连动盘的结构示意图；
[0015]图5为本技术滑轨和连动盘的连接结构示意图；
[0016]图6为本技术夹持机构的侧面结构剖视示意图。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]如图1和图2所示，本技术提供一种技术方案：一种硅片表面处理装置，包括底座1，所述底座1上设有转盘12，所述底座1的侧边设有电动升降杆11，在所述电动升降杆11的顶部设置一个横梁111，并在所述横梁111上安装第二旋转电机3，再将所述第二旋转电机3的输出端与抛光盘31固定连接，安装后的抛光盘对应于转盘的上方；
[0019]将所述转盘12的底部与底座1内的旋转电机13相连接后，通过启动旋转电机即可带动转盘进行旋转，此时所述转盘12上设置的多个夹持机构2，随着旋转，依次经过抛光盘的正下方。
[0020]本实施例中，如图3所示，所述夹持机构2包括呈十字状设计的滑轨21，连动盘22和放置盘23，所述滑轨21固定于转盘12上，在所述滑轨21的中间设有一根连接轴211，然后在所述滑轨21的每个轨道内均设置一个L形的滑块212，
[0021]该所述滑块212的底端设置有连杆213，所述滑块212的顶端设置有弧形夹板214，
[0022]另外，再在所述滑轨21的其中一个轨道旁设置一个卡扣215；
[0023]如图4和图5所示，在所述连动盘22的中间设有滚动轴承221，并在所述连动盘22的表面设有四条弧形的长腰孔223，然后将所述滚动轴承221套接于连接轴211上后，所述长腰孔223也套接于对应的连杆213上，当连动盘转动时，长腰孔内的连杆也会被牵动着移动，从而实现滑块的收紧或放松；
[0024]由于所述连动盘22的边缘设置的卡环222与卡扣215是相匹配的，所以当连动盘向着收紧方向旋转时，卡环会靠近卡扣，员工将卡扣和卡环相互固定后，即可使连动盘固定不动，从而实现四个滑块收紧，弧形夹板向着滑轨中间靠拢；
[0025]如图6所示，最后在连接轴211顶部的固定安装一个用于放置硅片的放置盘23，其与弧形夹板214位于同一水平线上，因此当弧形夹板向着弧形夹板向着滑轨中间靠拢时，会夹持住硅片的边缘，对硅片进行定位。
[0026]本实施例中，在所述放置盘23上设有一层橡胶垫，然后也在所述弧形夹板214上同样设有一层橡胶垫，以起到保护硅片的作用。
[0027]工作原理：将硅片放置在夹持机构内，随着转盘的旋转，将夹持机构带动至抛光盘下方，此时启动电动升降杆下降，直至抛光盘与硅片表面贴合后，启动旋转电机带动抛光盘进行旋转抛光，抛光结束后电动升降杆带动抛光盘上升，转盘继续旋转将，新的带抛光的硅片移动至抛光盘下方，抛光后的硅片移出抛光区，员工在旁进行上下料即可。
[0028]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片表面处理装置，包括底座（1），所述底座（1）的侧边设有电动升降杆（11），所述底座（1）上设有转盘（12），所述转盘（12）的底部与底座（1）内的旋转电机（13）相连接，其特征在于：所述转盘（12）上设有多个夹持机构（2），所述夹持机构（2）包括呈十字状设计的滑轨（21），连动盘（22）和放置盘（23），所述滑轨（21）固定于转盘（12）上，所述滑轨（21）的中间设有一根连接轴（211），所述滑轨（21）的每个轨道内均设有L形的滑块（212），所述滑块（212）的底端设有连杆（213），所述滑块（212）的顶端设有弧形夹板（214），所述滑轨（21）的其中一个轨道旁设有卡扣（215）。2.根据权利要求1所述的一种硅片表面处理装置，其特征在于：所述连动盘（22）的中间设有滚动轴承（221），所述连动盘（22）的边...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿伟，顾少俊，张西东，周航，
申请(专利权)人：鑫德斯特电子设备安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：