一种硅片表面处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片表面处理装置，包括底座，所述底座的侧边设有电动升降杆，所述底座上设有转盘，所述转盘的底部与底座内的旋转电机相连接，所述转盘上设有多个夹持机构，本实用新型专利技术结构简单，设计新颖，特设的夹持机构不仅可对硅片进行定位，保证硅片在抛光过程中，不会随意移动，大大降低了硅片边缘被擦伤的风险，而且只需要通过调整夹持机构的松紧，即可轻松的将硅片取出，方便快捷。方便快捷。方便快捷。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片表面处理装置


[0001]本技术涉及硅片处理
，具体为一种硅片表面处理装置。

技术介绍

[0002]单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是制作成单晶硅片用作半导体材料，单晶硅片在生产过程中，通常需要对其表面进行抛光处理，以保证其具有较高的光滑度。
[0003]市场上的常见的单晶硅片表面处理装置，多是开设固定槽来直接放置硅片，硅片放入后与槽体之间任然有点间隙，在抛光过程中随着抛光设备的转动，硅片的边缘容易被槽壁擦伤，另外抛光结束后，员工多是用手直接从槽中取出硅片，由于硅片较薄，取出较为麻烦，稍有不慎容易造成碎片的风险。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种硅片表面处理装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片表面处理装置，包括底座，所述底座的侧边设有电动升降杆，所述底座上设有转盘，所述转盘的底部与底座内的旋转电机相连接，所述转盘上设有多个夹持机构，所述夹持机构包括呈十字状设计的滑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片表面处理装置，包括底座（1），所述底座（1）的侧边设有电动升降杆（11），所述底座（1）上设有转盘（12），所述转盘（12）的底部与底座（1）内的旋转电机（13）相连接，其特征在于：所述转盘（12）上设有多个夹持机构（2），所述夹持机构（2）包括呈十字状设计的滑轨（21），连动盘（22）和放置盘（23），所述滑轨（21）固定于转盘（12）上，所述滑轨（21）的中间设有一根连接轴（211），所述滑轨（21）的每个轨道内均设有L形的滑块（212），所述滑块（212）的底端设有连杆（213），所述滑块（212）的顶端设有弧形夹板（214），所述滑轨（21）的其中一个轨道旁设有卡扣（215）。2.根据权利要求1所述的一种硅片表面处理装置，其特征在于：所述连动盘（22）的中间设有滚动轴承（221），所述连动盘（22）的边...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿伟，顾少俊，张西东，周航，
申请(专利权)人：鑫德斯特电子设备安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：