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本实用新型公开了一种硅片表面处理装置,包括底座,所述底座的侧边设有电动升降杆,所述底座上设有转盘,所述转盘的底部与底座内的旋转电机相连接,所述转盘上设有多个夹持机构,本实用新型结构简单,设计新颖,特设的夹持机构不仅可对硅片进行定位,保证硅片...该专利属于鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种硅片表面处理装置,包括底座,所述底座的侧边设有电动升降杆,所述底座上设有转盘,所述转盘的底部与底座内的旋转电机相连接,所述转盘上设有多个夹持机构,本实用新型结构简单,设计新颖,特设的夹持机构不仅可对硅片进行定位,保证硅片...