【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆片热处理，具体为一种热处理设备及其热处理方法。
技术介绍
1、现有的快速热处理（rtp）设备，都是单片处理居多，主要是将单片晶圆放入反应腔室，然后以极快的升温速率，使晶圆在极短的时间内加热到300℃-1200℃，以消除晶圆内部的一些缺陷，改善产品性能，并且还能够快速降温，以将晶圆片冷却；
2、上述热处理设备的单片处理方式，工作效率慢，从而导致生产效率降低，因此有必要进行改进。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种热处理设备及其热处理方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种热处理设备，包括机体，所述机体的内部两侧设有放置台，每个放置台均对应着机体的门，位于两个所述放置台之间设有移动机构，所述移动机构上设有承载机构，所述承载机构3的正前方对应设置有热处理机构；
3、每个所述放置台上方的机体上均设有直线电机，所述直线电机的滑块上设有升降式机械臂，所述升降式机械臂的下方连接晶圆片吸附手。
4、优选的，所述移动机构包括两个安装于机体底部的第二直线电机，两个所述第二直线电机的滑块之间连有第三直线电机，将所述承载机构安装至第三直线电机的滑块上。
5、优选的，所述承载机构包括安装架，所述安装架固定于第三直线电机的滑块上，所述安装架的前端固定有弧形机架，所述弧形机架的前端机壁上设有轴承座，所述弧形机架的边缘设有密封圈，
6、所述弧形机架内设有旋转电机
7、所述圆柱轴对接连接块，所述连接块连接着圆形载台，
8、所述圆形载台正反两面的边缘均设有多个吸嘴，
9、在所述圆形载台正反两面的侧边均开设有凹槽，所述凹槽的大小与晶圆片吸附手的大小相匹配。
10、优选的，所述热处理机构包括真空腔，所述真空腔的腔壁上设有出入口，所述出入口与承载机构对应，所述出入口的大小与弧形机架相匹配，
11、所述真空腔的内部设有加热组件，所述真空腔的腔壁上对接有冷气管。
12、优选的，所述加热组件包括两个安装板，两个所述安装板分别固定于真空腔的上端和下端，每个所述安装板上均安装有多个卤素加热管。
13、一种热处理设备的热处理方法，包括以下步骤：
14、s1:工人打开机体两侧的门，然后将载有晶圆片的晶圆盒放到放置台的指定区域，并关上门；
15、s2:随后移动机构先带动承载机构移动至左侧放置台旁，期间承载机构进行旋转，使圆形载台呈垂直状设置，且圆形载台上的凹槽向上；
16、s3:位于左侧放置台上方的吸附手在直线电机的带动下左右移动，并对准晶圆盒中的晶圆片，再在升降式机械臂配合下，伸入晶圆盒中，并取出一片；
17、s4:然后再通过通过升降式机械臂的配合，使吸附手与圆形载台正面的凹槽对应，随后直线电机带动吸附手靠近圆形载台的正面，直至吸附手进入凹槽内，此时吸附手上晶圆片与圆形载台的正面相贴，并通过吸嘴将晶圆片固定吸附，此时吸附手收回；
18、s5:随后移动机构带动承载机构再移动至右侧放置台旁，取片和放片方式与步骤s3和步骤s4相同，从而将晶圆片固定吸附在圆形载台的反面；
19、s6:然后将圆形载台旋转至水平位置，此时移动机构先带动承载机构移动，使之与热处理机构对应，再带动承载机构向前移动，直至圆形载台伸入热处理机构的真空腔内部，且弧形机架与出入口紧密贴合；
20、s7:此时真空腔开始抽真空，同时加热组件也开始进行加热，当内温度达到指定数值后停止加热，冷气管向真空腔内部输送冷气，使晶圆片快速退火；
21、s8:热处理完成后的晶圆片，在移动机构的带动下承载机构再次回到左侧的放置台旁，期间承载机构进行旋转，使圆形载台呈垂直状设置；
22、s9:然后吸附手在直线电机和升降式机械臂的配合下伸入圆形载台的凹槽内，将加工完成的晶圆片取下，并放回晶圆盒，随后再次从晶圆盒中取出一片待加工的晶圆片，固定吸附于圆形载台的正面，同理当圆形载台移动至右侧的放置台后，也是同样的操作；
23、s10:等圆形载台正反两面都装上晶圆片后，再次通过移动机构的配合送入热处理机构内加工，如此循环操作，直至将两个放置台上的晶圆片全部加工完成，最后工人打开门取出载有晶圆片的晶圆盒。
24、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术结构简单，设计新颖，承载机构中特设的圆形载台正反两面都可以装载上晶圆片，再通过移动机构送入热处理机构中，即可实现两个晶圆片同时加工处理，从而提高了工作效率，提高了生产效率。
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1.一种热处理设备，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）的内部两侧设有放置台（11），每个放置台（11）均对应着机体的门（12），位于两个所述放置台（11）之间设有移动机构（2），所述移动机构（2）上设有承载机构（3），所述承载机构（3）的正前方对应设置有热处理机构（4）；
2.根据权利要求1所述的一种热处理设备，其特征在于：所述移动机构（2）包括两个安装于机体（1）底部的第二直线电机（21），两个所述第二直线电机（21）的滑块之间连有第三直线电机（22），将所述承载机构（3）安装至第三直线电机（22）的滑块上。
3.根据权利要求2所述的一种热处理设备，其特征在于：所述承载机构（3）包括安装架（31），所述安装架（31）固定于第三直线电机（22）的滑块上，所述安装架（31）的前端固定有弧形机架（32），所述弧形机架（32）的前端机壁上设有轴承座（33），所述弧形机架（32）的边缘设有密封圈（34），
4.根据权利要求1所述的一种热处理设备，其特征在于：所述热处理机构（4）包括真空腔（41），所述真空腔（41）的腔壁上设有出入口（42），所
5.根据权利要求4所述的一种热处理设备，其特征在于：所述加热组件（43）包括两个安装板（431），两个所述安装板（431）分别固定于真空腔（41）的上端和下端，每个所述安装板（431）上均安装有多个卤素加热管（432）。
6.根据权利要求1所述的一种热处理设备的热处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种热处理设备，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）的内部两侧设有放置台（11），每个放置台（11）均对应着机体的门（12），位于两个所述放置台（11）之间设有移动机构（2），所述移动机构（2）上设有承载机构（3），所述承载机构（3）的正前方对应设置有热处理机构（4）；
2.根据权利要求1所述的一种热处理设备，其特征在于：所述移动机构（2）包括两个安装于机体（1）底部的第二直线电机（21），两个所述第二直线电机（21）的滑块之间连有第三直线电机（22），将所述承载机构（3）安装至第三直线电机（22）的滑块上。
3.根据权利要求2所述的一种热处理设备，其特征在于：所述承载机构（3）包括安装架（31），所述安装架（31）固定于第三直线电机（22）的滑块上，所述安装架...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾少俊，周航，黄柱龙，
申请(专利权)人：鑫德斯特电子设备安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：
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