本实用新型专利技术涉及一种半导体功率器件自动化测试用载盘搬运装置。其包括载盘搬运夹紧连板、设置于所述载盘搬运夹紧连板两端的载盘夹紧头以及能在竖直方向上驱动所述载盘搬运夹紧连板升降的载盘提拉机构，所述载盘夹紧头铰接在载盘搬运夹紧连板相应的端部；在载盘搬运夹紧连板上还设置用于驱动载盘夹紧头运动的夹紧头运动驱动机构，通过夹紧头运动驱动机构能驱动载盘搬运夹紧连板端部的载盘夹紧头同步运动，以对位于所述载盘夹紧头间的器件载盘相应的端部接触后夹紧，通过载盘提拉机构能将所述被载盘夹紧头接触夹紧的器件载盘提拉或下放置所需的位置。本实用新型专利技术结构紧凑，能有效实现对器件载盘的搬运，提高自动化测试的效率，安全可靠。安全可靠。安全可靠。
【技术实现步骤摘要】
半导体功率器件自动化测试用载盘搬运装置
[0001]本技术涉及一种载盘搬运装置，尤其是一种半导体功率器件自动化测试用载盘搬运装置。
技术介绍
[0002]半导体功率器件测试设备中，为了能提高自动化程度以及测试效率，一般需要利用器件载盘对个半导体功率器件同时搬运，而器件载盘一般通过输送线输送至指定工位，以便对器件载盘上的半导体功率器件进行相应的测试工序。在对器件载盘上的半导体功率器件测试完成或其他测试工序的需要，一般需要将器件载盘从输送线上搬运离开，以便进行后续的半导体功率器件测试工序。而目前缺少能有效实现对器件载盘搬运的形式，导致自动化测试效率低，难以满足实际测试的需要。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种半导体功率器件自动化测试用载盘搬运装置，其结构紧凑，能有效实现对器件载盘的搬运，提高自动化测试的效率，安全可靠。
[0004]按照本技术提供的技术方案，所述半导体功率器件自动化测试用载盘搬运装置，包括载盘搬运夹紧连板、设置于所述载盘搬运夹紧连板两端的载盘夹紧头以及能在竖直方向上驱动所述载盘搬运夹紧连板升降的载盘提拉机构，所述载盘夹紧头铰接在载盘搬运夹紧连板相应的端部；
[0005]在载盘搬运夹紧连板上还设置用于驱动载盘夹紧头运动的夹紧头运动驱动机构，通过夹紧头运动驱动机构能驱动载盘搬运夹紧连板端部的载盘夹紧头同步运动，以对位于所述载盘夹紧头间的器件载盘相应的端部接触后夹紧，通过载盘提拉机构能将所述被载盘夹紧头接触夹紧的器件载盘提拉或下放置所需的位置。
[0006]所述载盘夹紧头通过夹紧头连接轴铰接在载盘搬运夹紧连板的端部，所述载盘夹紧头的夹紧连接端包括能与器件载盘端部适配的夹紧定位端板，所述夹紧连接端位于载盘搬运夹紧连板的下方。
[0007]所述夹紧头运动驱动机构包括设置于载盘搬运夹紧连板上的夹紧头气缸，载盘搬运夹紧连板上的夹紧头气缸与载盘夹紧头一一对应连接配合，夹紧头气缸的活塞杆与载盘夹紧头的运动连接端适配连接，夹紧头气缸驱动载盘搬运夹紧连板端部的载盘夹紧头同步运动时，能使得载盘夹紧头的夹紧连接端相互靠近或相互远离；
[0008]载盘搬运夹紧连板两端部载盘夹紧头的夹紧连接端相互远离时，能允许器件载盘置于在载盘夹紧头间，载盘搬运夹紧连板两端部载盘夹紧头的夹紧连接端相互靠近时，通过载盘夹紧头的夹紧连接端能与器件载盘接触后夹紧。
[0009]所述载盘提拉机构包括提拉基板、设置于所述提拉基板上的搬运气缸以及与载盘搬运夹紧连板适配连接的提拉导向机构；
[0010]搬运气缸的活塞杆与载盘搬运夹紧连板适配连接，通过搬运气缸能驱动载盘搬运夹紧连板升降，且通过提拉导向机构能对搬运气缸驱动载盘搬运夹紧连板升降过程导向。
[0011]所述提拉导向机构包括对称分布的提拉导向杆，所述提拉导向杆的一端与载盘搬运夹紧连板固定，提拉导向杆的另一端穿过提拉基板以及所述提拉基板上的导向杆套，提拉导向杆能相对提拉基板以及导向杆套运动。
[0012]还包括与载盘夹紧头适配连接的夹紧弹性机构，通过夹紧弹性机构能提供载盘夹紧头运动后的弹性复位作用力。
[0013]在所述载盘搬运夹紧连板上设置搬运连接座，搬运气缸活塞杆的端部设置能与搬运连接座适配的搬运连接头，所述搬运气缸活塞杆的轴线通过搬运连接座的中心以及载盘搬运夹紧连板的中心。
[0014]所述器件载盘呈矩形状，在所述器件载盘的端部设置能允许夹紧定位端板嵌置的载盘夹紧定位槽；
[0015]器件载盘上设置若干能与半导体功率器件适配的测试工位区，装配于测试工位区的半导体功率器件能与器件载盘分离。
[0016]在所述器件载盘一侧面的端脚设置载盘层叠定位块，在器件载盘另一侧面的端部设置载盘层叠支撑间隔条；两个器件载盘层叠时，位于上方器件载盘的载盘层叠支撑间隔条的端部能置于下方器件载盘上的载盘层叠定位块内，载盘层叠支撑间隔条的高度不小于载盘层叠定位块的高度。
[0017]通过载盘夹紧头对器件载盘相应的端部接触后夹紧时，器件载盘与载盘搬运夹紧连板相互平行。
[0018]本技术的优点：在载盘搬运夹紧连板两端铰接有的载盘夹紧头，在载盘搬运夹紧连板上还设置用于驱动载盘夹紧头运动的夹紧头运动驱动机构，通过夹紧头运动驱动机构能驱动载盘搬运夹紧连板端部的载盘夹紧头同步运动，以对位于所述载盘夹紧头间的器件载盘相应的端部接触后夹紧，通过载盘提拉机构能将所述被载盘夹紧头接触夹紧的器件载盘提拉或下放置所需的位置，即能有效实现对器件载盘竖直方向的搬运，提高自动化测试的效率，安全可靠。
附图说明
[0019]图1为本技术的结构示意图。
[0020]图2为本技术的立体图。
[0021]图3为本技术的使用状态图。
[0022]图4为本技术通过夹紧头运动驱动机构驱动载盘夹紧头处于张开状态的示意图。
[0023]图5为本技术器件载盘的示意图。
[0024]图6为本技术两个器件载盘层叠时的立体图。
[0025]图7为本技术两个器件载盘层叠时的示意图。
[0026]附图标记说明：1
‑
搬运气缸、2
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提拉基板、3
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导向杆套、4
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搬运连接架、5
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提拉导向杆、6
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载盘搬运夹紧连板、7
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载盘夹紧头、8
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搬运连接座、9
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夹紧头连接轴、10
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夹紧头气缸、11
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夹紧定位槽、12
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夹紧定位端板、13
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气缸电磁阀单元、14
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器件载盘、15
‑
半导体功率器
件、16
‑
载盘层叠定位块、17
‑
搬运连接头、18
‑
夹紧头气缸气源接头、19
‑
夹紧头弹性体、20
‑
夹紧头弹性连接块、21
‑
载盘层叠支撑间隔条以及22
‑
载盘夹紧定位槽。
具体实施方式
[0027]下面结合具体附图和实施例对本技术作进一步说明。
[0028]如图1、图2和图3所示：能有效实现对器件载盘14的搬运，提高自动化测试的效率，本技术包括载盘搬运夹紧连板6、设置于所述载盘搬运夹紧连板6两端的载盘夹紧头7以及能在竖直方向上驱动所述载盘搬运夹紧连板6升降的载盘提拉机构，所述载盘夹紧头7铰接在载盘搬运夹紧连板6相应的端部；
[0029]在载盘搬运夹紧连板6上还设置用于驱动载盘夹紧头7运动的夹紧头运动驱动机构，通过夹紧头运动驱动机构能驱动载盘搬运夹紧连板6端部的载盘夹紧头7同步运动，以对位于所述载盘夹紧头7间的器件载盘14相应的端部接触后夹紧，通过载盘提拉机构能将所述被载盘夹紧头7接触夹紧的器件载本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体功率器件自动化测试用载盘搬运装置，其特征是：包括载盘搬运夹紧连板(6)、设置于所述载盘搬运夹紧连板(6)两端的载盘夹紧头(7)以及能在竖直方向上驱动所述载盘搬运夹紧连板(6)升降的载盘提拉机构，所述载盘夹紧头(7)铰接在载盘搬运夹紧连板(6)相应的端部；在载盘搬运夹紧连板(6)上还设置用于驱动载盘夹紧头(7)运动的夹紧头运动驱动机构，通过夹紧头运动驱动机构能驱动载盘搬运夹紧连板(6)端部的载盘夹紧头(7)同步运动，以对位于所述载盘夹紧头(7)间的器件载盘(14)相应的端部接触后夹紧，通过载盘提拉机构能将被所述载盘夹紧头(7)接触夹紧的器件载盘(14)提拉或下放置所需的位置。2.根据权利要求1所述的半导体功率器件自动化测试用载盘搬运装置，其特征是：所述载盘夹紧头(7)通过夹紧头连接轴(9)铰接在载盘搬运夹紧连板(6)的端部，所述载盘夹紧头(7)的夹紧连接端包括能与器件载盘(14)端部适配的夹紧定位端板(12)，所述夹紧连接端位于载盘搬运夹紧连板(6)的下方。3.根据权利要求2所述的半导体功率器件自动化测试用载盘搬运装置，其特征是：所述夹紧头运动驱动机构包括设置于载盘搬运夹紧连板(6)上的夹紧头气缸(10)，载盘搬运夹紧连板(6)上的夹紧头气缸(10)与载盘夹紧头(7)一一对应连接配合，夹紧头气缸(10)的活塞杆与载盘夹紧头(7)的运动连接端适配连接，夹紧头气缸(10)驱动载盘搬运夹紧连板(6)端部的载盘夹紧头(7)同步运动时，能使得载盘夹紧头(7)的夹紧连接端相互靠近或相互远离；载盘搬运夹紧连板(6)两端部载盘夹紧头(7)的夹紧连接端相互远离时，能允许器件载盘(14)置于在载盘夹紧头(7)间，载盘搬运夹紧连板(6)两端部载盘夹紧头(7)的夹紧连接端相互靠近时，通过载盘夹紧头(7)的夹紧连接端能与器件载盘(14)接触后夹紧。4.根据权利要求1至3任一项所述的半导体功率器件自动化测试用载盘搬运装置，其特征是：所述载盘提拉机构包括提拉基板(2)、设置于所述提拉基板(2)上的搬运气缸(1)以及与载盘搬运夹紧连板(6)适配连接的提拉导向机构；搬运气缸(1)的活塞杆与载盘搬运夹紧连板(6)适配连接，通过搬运气缸(1)能驱动载盘搬运夹紧...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋志威，张军辉，张文亮，朱阳军，
申请(专利权)人：山东阅芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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