本实用新型专利技术涉及一种适用于液浸式超声波扫描检测的气泡快速去除装置。按照本实用新型专利技术提供的技术方案，所述适用于液浸式超声波扫描检测的气泡快速去除装置，包括：浸润装置，用于对进入耦合介质液池前的待测样品表面喷淋耦合介质，以利用所喷淋的耦合介质浸润待测样品的表面；气泡冲击装置，用于对进入耦合介质液池后的待测样品表面喷淋耦合介质，以冲击附着在待测样品表面的气泡，其中，气泡冲击装置所喷淋耦合介质的流量流速大于浸润装置所喷淋耦合介质的流量流速。本实用新型专利技术能快速去除待测器件表面的气泡，适于量产的超声波扫描检测，成本低，安全可靠。安全可靠。安全可靠。
【技术实现步骤摘要】
适用于液浸式超声波扫描检测的气泡快速去除装置
[0001]本技术涉及一种气泡快速去除装置，尤其是一种适用于液浸式超声波扫描检测的气泡快速去除装置。
技术介绍
[0002]液浸式超声波扫描检测时，需要把待测样品放置在耦合介质中，只要超声波信号在待测样品表面或者内部遇到声波阻抗界面(气泡，缝隙和裂纹)就会反射。耦合介质的作用是防止超声波信号快速的衰减，耦合介质一般是去离子水或者无水酒精。
[0003]对干燥的待测器件而言，待测器件的表面一般是不均匀不平滑的，在快速淹进入耦合介质的过程中，会裹挟大量细小的气泡附着在待测样品表面。而附着在待测样品表面上的气泡，会影响测试精度和结果。
[0004]目前，对附着在待测样品表面的细小气泡，市面上一般采用超声波振荡器去除。超声波振荡器去除附着在待测器件表面的气泡时，需要较长的时间，此外，在待测器件表面不均匀和不平滑下，超声波振荡器去除气泡需要的时间特别长，不适用于量产测试中。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种适用于液浸式超声波扫描检测的气泡快速去除装置，其能快速去除待测器件表面的气泡，适于量产的超声波扫描检测，成本低，安全可靠。
[0006]按照本技术提供的技术方案，所述适用于液浸式超声波扫描检测的气泡快速去除装置，包括：
[0007]浸润装置，用于对进入耦合介质液池前的待测样品表面喷淋耦合介质，以利用所喷淋的耦合介质浸润待测样品的表面；
[0008]气泡冲击装置，用于对进入耦合介质液池后的待测样品表面喷淋耦合介质，以冲击附着在待测样品表面的气泡，其中，
[0009]气泡冲击装置所喷淋耦合介质的流量流速大于浸润装置所喷淋耦合介质的流量流速。
[0010]浸润装置、气泡冲击装置装配于去除支架上，其中，
[0011]浸润装置、气泡冲击装置分布于所述去除支架的两侧，浸润装置与气泡冲击装置相互平行；
[0012]喷淋耦合介质时，浸润装置在耦合介质液池液面的上方喷淋，气泡冲击装置在耦合介质液池液面的下方喷淋。
[0013]所述浸润装置包括浸润分流管以及若干设置于浸润分流管上的浸润喷头，其中，
[0014]多个浸润喷头在浸润分流管上沿所述浸润分流管的长度方向均匀分布，且浸润喷头与浸润分流管相互连通。
[0015]所述浸润喷头的喷嘴呈扁平状，其中，
[0016]浸润喷头喷嘴的长度方向与待测样品逐步进入耦合介质液池的运动方向垂直。
[0017]所述气泡冲击装置包括气泡冲击分流管以及若干设置于所述气泡冲击分流管上的气泡冲击喷头，其中，
[0018]多个气泡冲击喷头在气泡冲击分流管上沿所述气泡冲击分流管的长度方向均匀分布，且气泡冲击喷头与气泡冲击分流管相互连通。
[0019]所述气泡冲击喷头的喷嘴呈扁平状，其中，
[0020]气泡冲击喷头喷嘴的长度方向与待测样品逐步进入耦合介质液池的运动方向垂直。
[0021]所述耦合介质液池形成于一耦合介质槽内，其中，
[0022]在耦合介质槽上设置样品输送导轨，所述样品输送导轨包括位于耦合介质槽一端外的轨道第一输送段以及位于耦合介质槽内的轨道第三输送段，轨道第三输送段通过倾斜分布的轨道第二输送段与轨道第一输送段适配连接；
[0023]去除支架横跨耦合介质槽的一端，且所述去除支架与轨道第二输送段正对应；
[0024]浸润装置与轨道第一输送段对应邻近，气泡冲击装置与轨道第三输送段对应邻近。
[0025]所述去除支架的两端设置支架臂，其中，
[0026]在支架臂上设置支架臂孔，将支架臂的支架臂孔与轨道第二输送段上相应的支架导轨装配孔对准，以将去除支架固定装配于轨道第二输送段上。
[0027]还包括用于提供浸润装置以及气泡冲击装置喷淋所需耦合介质的耦合介质源，其中，
[0028]耦合介质源包括用于抽取耦合介质的耦合介质泵以及用于调节流量流速的流量流速调节阀，耦合介质泵抽取的耦合介质，经流量流速调节阀调节分配后，以分别适配浸润装置、气泡冲击装置相应的喷淋流量流速。
[0029]所述流量流速调节阀包括质量流量控制器。
[0030]本技术的优点：利用浸润装置对进入耦合介质液池前的待测样品表面喷淋耦合介质，以浸润待测样品的表面，避免待测样品直接以干燥的表面进入耦合介质液池内，减少待测样品进入耦合介质液池内时表面附着的气泡，利用气泡冲击装置在耦合介质液池内喷淋耦合介质，将进入耦合介质液池内待测样品表面附着的气泡冲击去除，从而能快速去除待测器件表面的气泡，适于量产的超声波扫描检测，成本低，安全可靠。
附图说明
[0031]图1为本技术一种实施例的示意图。
[0032]图2为图1中实施例的侧视图。
[0033]图3为本技术气泡冲击分流管的一种实施例示意图。
[0034]图4为本技术气泡冲击喷头的一种实施例示意图。
[0035]图5为本技术一种使用状态的示意图。
[0036]附图标记说明：1
‑
去除支架、2
‑
浸润装置、3
‑
气泡冲击装置、4
‑
支架臂孔、5
‑
浸润进液接头管、6
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冲击进液接头管、7
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气泡冲击喷头、8
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浸润分流管、9
‑
气泡冲击分流管、10
‑
浸润喷头、11
‑
接头螺纹管、12
‑
扁平部、13
‑
耦合介质槽、14
‑
输送驱动齿轮、15
‑
密封盒载盘、
16
‑
载盘固定架、17
‑
轨道第一输送段、18
‑
轨道第二输送段、19
‑
轨道第三输送段、20
‑
密封盒、21
‑
支架臂、22
‑
耦合介质泵、23
‑
流量流速调节阀。
具体实施方式
[0037]下面结合具体附图和实施例对本技术作进一步说明。
[0038]为了能快速去除待测器件表面的气泡，适于量产的超声波扫描检测，降低测试成本，对适用于液浸式超声波扫描检测的气泡快速去除装置，本技术的一种实施例中，包括：
[0039]浸润装置2，用于对进入耦合介质液池前的待测样品表面喷淋耦合介质，以利用所喷淋的耦合介质浸润待测样品的表面；
[0040]气泡冲击装置3，用于对进入耦合介质液池后的待测样品表面喷淋耦合介质，以冲击附着在待测样品表面的气泡，其中，
[0041]气泡冲击装置3所喷淋耦合介质的流量流速大于浸润装置2所喷淋耦合介质的流量流速。
[0042]由上述说明可知，耦合介质可为去离子水或者无水酒精，待测样品一般为功率半导体器件，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种适用于液浸式超声波扫描检测的气泡快速去除装置，其特征是，包括：浸润装置(2)，用于对进入耦合介质液池前的待测样品表面喷淋耦合介质，以利用所喷淋的耦合介质浸润待测样品的表面；气泡冲击装置(3)，用于对进入耦合介质液池后的待测样品表面喷淋耦合介质，以冲击附着在待测样品表面的气泡，其中，气泡冲击装置(3)所喷淋耦合介质的流量流速大于浸润装置(2)所喷淋耦合介质的流量流速。2.根据权利要求1所述适用于液浸式超声波扫描检测的气泡快速去除装置，其特征是：浸润装置(2)、气泡冲击装置(3)装配于去除支架(1)上，其中，浸润装置(2)、气泡冲击装置(3)分布于所述去除支架(1)的两侧，浸润装置(2)与气泡冲击装置(3)相互平行；喷淋耦合介质时，浸润装置(2)在耦合介质液池液面的上方喷淋，气泡冲击装置(3)在耦合介质液池液面的下方喷淋。3.根据权利要求1所述适用于液浸式超声波扫描检测的气泡快速去除装置，其特征是：所述浸润装置(2)包括浸润分流管(8)以及若干设置于浸润分流管(8)上的浸润喷头(10)，其中，多个浸润喷头(10)在浸润分流管(8)上沿所述浸润分流管(8)的长度方向均匀分布，且浸润喷头(10)与浸润分流管(8)相互连通。4.根据权利要求3所述适用于液浸式超声波扫描检测的气泡快速去除装置，其特征是：所述浸润喷头(10)的喷嘴呈扁平状，其中，浸润喷头(10)喷嘴的长度方向与待测样品逐步进入耦合介质液池的运动方向垂直。5.根据权利要求1所述适用于液浸式超声波扫描检测的气泡快速去除装置，其特征是：所述气泡冲击装置(3)包括气泡冲击分流管(9)以及若干设置于所述气泡冲击分流管(9)上的气泡冲击喷头(7)，其中，多个气泡冲击喷头(7)在气泡冲击分流管(9)上沿所述气泡冲击分流管(9)的长度方向均匀分布，且气泡冲击喷头(7)与气泡冲击分流管(9)相互连通。6.根据权利要求5所述适用于液浸式超声...
【专利技术属性】
技术研发人员：张军辉，宋志威，张文亮，朱阳军，
申请(专利权)人：山东阅芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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