一种空腔滤波器用复合膜及空腔滤波器制造技术

本发明专利技术提供一种空腔滤波器用复合膜及空腔滤波器，所述复合膜包括依次层叠的第一树脂层、第二树脂层和第三树脂层，第一树脂层在80～120℃之间出现500Pa

【技术实现步骤摘要】
一种空腔滤波器用复合膜及空腔滤波器


[0001]本专利技术属于滤波器
，涉及一种空腔滤波器用复合膜及空腔滤波器。

技术介绍

[0002]声表面波滤波器利用压电材料上的声表面波的激发、传播与接收完成其滤波特性。声表面波波长在100μm～2μm的范围，是一种对其传播表面非常敏感的机械波。为了让声波元件中的声表面波在无干扰的情况下传播，封装中的芯片表面上方要有一个空腔。
[0003]无线通信宽带化发展趋势，要求基站射频前端双工器具有更小体积、更大功率容量、更低成本的同时能够维持损耗等性能基本不变。空腔(即充满空气的同轴谐振腔)滤波器是基站双工器的传统技术，技术成熟，成本低廉。空腔滤波器通常包括盖板及多个腔体，每个腔体中设有多个谐振管。每个腔体的功能相当于一个电子振荡电路，当滤波器被调谐到所接收信号的适当波长时，所述振荡电路可表示为包括电感部分和电容部分的并联振荡电路，通过调整电感部分或电容部分，即可对滤波器的谐振频率进行调整。一般情况下，空腔滤波器的腔体由金属材料制造，而金属腔体滤波器存在高度极限，无法满足小型化需求。因此近年来利用有机化合物与无机物复合制作的绝缘树脂膜制作空腔滤波器的需求越来越多，现有技术CN114499433A的图1中的空腔滤波器的强化结构层304为绝缘材料，可以是有机材料如聚酰亚胺，或模塑料，或者有机材料和无机填料混合物。但是，该绝缘材料当前只能从国外进口，材料成本高，供货周期长，以及在使用过程中容易出现填充不良，或在空腔上表面局部凹陷等问题。
[0004]因此，在本领域，我们期望开发一种满足空腔滤波器的空腔底部边缘填充，解决空腔上表面凹陷问题，保证滤波器性能的胶膜。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种空腔滤波器用复合膜及空腔滤波器。
[0006]为达到此专利技术目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0007]一方面，本专利技术提供一种空腔滤波器用复合膜，所述复合膜包括依次层叠的第一树脂层、第二树脂层和第三树脂层，所述第一树脂层在80～120℃之间出现最低熔融粘度值，所述最低熔融粘度值在500Pa
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s以下，其固化后在80～150℃之间延伸率在10％以上；所述第二树脂层在80～120℃之间出现最低熔融粘度值，所述最低熔融粘度值在3000Pa
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s以上，其固化后拉伸模量在9GPa以上；所述第三树脂层固化后的拉伸模量在5GPa以上、50～150℃之间的CTE在40ppm/℃以下。
[0008]在本专利技术中，第一树脂层为高流动性、高粘结性和柔韧性树脂层，第二树脂层为低流动性和高模量树脂层，第三树脂层为高粘结性和低CTE树脂层。通过使用第一树脂层、第二树脂层和第三树脂层进行配合，能够同时满足空腔滤波器的空腔底部边缘填充、空腔形成且空腔上方外层表面平整、以及外层可以通过SAP工艺制作细线路，在生产操作过程中更
加方便，实现空腔滤波器应用的特殊胶膜的国产化替代，以及具有更好的性价比。
[0009]在本专利技术中，所述第一树脂层在80～120℃(例如80℃、85℃、90℃、100℃、110℃或120℃)之间出现最低熔融粘度值，所述最低熔融粘度值在500Pa
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s以下(例如500Pa
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s、450Pa
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s、400Pa
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s、350Pa
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s、300Pa
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s、200Pa
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s、100Pa
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s等)，其固化后在80～150℃之间延伸率在10％以上(例如10％、15％、20％、25％、30％、35％或40％等)。
[0010]在本专利技术中，所述第二树脂层在80～120℃之间出现最低熔融粘度值，所述最低熔融粘度值在3000Pa
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s以上(例如3000Pa
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s、3500Pa
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s、4000Pa
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s、4500Pa
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s、5000Pa
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s等)，其其固化后拉伸模量在9GPa以上(例如9Gpa、10Gpa、11Gpa、12Gpa、13Gpa、14Gpa、15Gpa等)。
[0011]在本专利技术中，所述第三树脂层固化后的拉伸模量在5GPa以上(例如5Gpa、10Gpa、11Gpa、12Gpa、13Gpa、14Gpa、15Gpa等)、50～150℃之间的CTE在40ppm/℃以下(例如40ppm/℃、35ppm/℃、30ppm/℃、25ppm/℃、20ppm/℃、10ppm/℃等)。
[0012]在本专利技术中，所述复合膜包括依次层叠的第一树脂层、第二树脂层和第三树脂层，该三层树脂层均为半固化状态，其最低熔融粘度值可通过流变仪测得，而半固化状态的树脂层不能直接测试延伸率、拉伸模量或CTE，前述延伸率、拉伸模量或CTE需要将树脂层固化后测得，固化条件可为170～190℃、60～120min。例如，固化温度可以是170℃、172℃、175℃、178℃、180℃、182℃、185℃、188℃或190℃，固化时间可以是60min、70min、80min、90min、100min、110min或120min。
[0013]在本专利技术中，可以先分别涂覆制备三层不同的半固化状态树脂层，然后通过辊压或传压装置将其复合，也可以采用三段涂头同时涂覆或分段涂覆的方式，获得依次层叠的第一树脂层、第二树脂层和第三树脂层，复合和涂覆属于本领域的现有技术，在此不做赘述。
[0014]具体地，本专利技术中所述空腔滤波器用复合膜的制备方法可以是，例如利用第三树脂层的胶液涂覆在离型基膜上，烘干，而后在第三树脂层表面继续涂覆第二树脂层的胶液，烘干，然后在第二树脂层表面继续涂覆第一树脂层的胶液，烘干，而后通过辊压在第一树脂层表面复合保护膜，得到所述复合膜。烘干温度可以是在50～120℃，例如50℃、60℃、70℃、80℃、90℃、100℃、110℃或120℃。
[0015]优选地，所述空腔滤波器用复合膜固化后在50～150℃之间的CTE在30ppm/℃以下(例如30ppm/℃、28ppm/℃、25ppm/℃、22ppm/℃、20ppm/℃、15ppm/℃、10ppm/℃、5ppm/℃等)，拉伸模量在8GPa以上(例如8Gpa、10Gpa、12Gpa、15Gpa、18Gpa、20Gpa等)。
[0016]优选地，在所述第三树脂层表面沉铜电镀的铜层与该树脂层结合力在4N/cm以上，例如4N/cm、5N/cm、8N/cm、10N/cm、12N/cm、15N/cm、18N/cm或20N/cm；第三树脂层具有较高的粘结性，优选6N/cm以上。
[0017]优选地，所述第三树脂层的表面经过表面处理使得表面粗糙度Ra在300nm以下，例如300nm、250nm、200nm、100nm、50nm、30nm、20nm、10nm等。在本专利技术中，所述表面处理为经过高锰酸盐药水咬蚀处理。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种空腔滤波器用复合膜，其特征在于，所述复合膜包括依次层叠的第一树脂层、第二树脂层和第三树脂层，所述第一树脂层在80～120℃之间出现最低熔融粘度值，所述最低熔融粘度值在500Pa
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s以下，其固化后在80～150℃之间延伸率在10％以上；所述第二树脂层在80～120℃之间出现最低熔融粘度值，所述最低熔融粘度值在3000Pa
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s以上，其固化后拉伸模量在9GPa以上；所述第三树脂层固化后的拉伸模量在5GPa以上、50～150℃之间的CTE在40ppm/℃以下。2.根据权利要求1所述的空腔滤波器用复合膜，其特征在于，所述空腔滤波器用复合膜固化后在50～150℃之间的CTE在30ppm/℃以下，拉伸模量在8GPa以上；优选地，在所述第三树脂层表面沉铜电镀的铜层与该树脂层结合力在4N/cm以上，优选6N/cm以上。3.根据权利要求1或2所述的空腔滤波器用复合膜，其特征在于，所述第三树脂层的表面经过表面处理使得表面粗糙度Ra在300nm以下。4.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的空腔滤波器用复合膜，其特征在于，所述第一树脂层的厚度为1～10μm；优选地，所述第二树脂层的厚度为10～100μm；优选地，所述第三树...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘东亮，陈涛，刘潜发，
申请(专利权)人：广东生益科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：