一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备制造技术

本实用新型专利技术涉及衍射光栅技术领域，且公开了一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备，包括底座，所述底座的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的顶部固定连接有夹持机构，所述夹持机构的一侧设置有调节机构。该干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备，通过设置夹持机构，使用者可以通过调节螺纹杆使得夹持板进行移动，对光栅进行夹持，同时可以通过调节螺纹杆使得使用者可以夹持不同尺寸的光栅，并且方便使用者进行拆卸，加强了装置的便捷性，通过设置调节机构，使用者可以通过调节第一调节板的位置来方便使用者夹持光栅，并且进一步加强了对光栅夹持的稳定性与便捷性。且进一步加强了对光栅夹持的稳定性与便捷性。且进一步加强了对光栅夹持的稳定性与便捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备


[0001]本技术涉及衍射光栅
，具体为一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备。

技术介绍

[0002]衍射光栅是光栅的一种。它通过有规律的结构，使入射光的振幅或相位 (或两者同时)受到周期性空间调制。衍射光栅在光学上的最重要应用是作为分光器件，常被用于单色仪和光谱仪上。
[0003]在对衍射光栅进行加工时，有时需要使用到刻蚀机，在刻蚀机内部需要对光栅进行夹持固定，现有的对光栅的固定较为繁琐，需要使用者安装较多的螺丝来夹持固定，同时不方便使用者进行拆卸，降低了装置的实用性。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备，具备方便使用者对光栅进行夹持安装，并且方便使用者进行拆卸等优点，解决了现有的对光栅的固定较为繁琐，需要使用者安装较多的螺丝来夹持固定，同时不方便使用者进行拆卸，降低了装置的实用性的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备，包括底座，所述底座的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的顶部固定连接有夹持机构，所述夹持机构的一侧设置有调节机构；
[0008]所述夹持机构包括挡板，所述挡板的底部固定连接于底座的顶部，所述滑块的顶部固定连接有夹持板；
[0009]所述调节机构包括活动槽，所述活动槽开设于挡板的一侧，所述活动槽的内部固定连接有滑杆，所述滑杆的表面套设有配合块。
[0010]优选的，所述底座一侧的表面开设有调节槽，所述调节槽的内部转动连接有螺纹杆，所述调节槽的一侧开设有与螺纹杆配合使用的螺纹槽。
[0011]优选的，所述螺纹杆的表面套设有第一移动板，所述第一移动板的一侧与夹持板固定连接，所述第一移动板的表面开设有与螺纹杆配合使用的螺纹孔。
[0012]优选的，所述底座的一侧开设有导向槽，所述导向槽的内部固定连接有导向杆，所述导向杆的表面套设有与夹持板配合使用的第二移动板，所述第二移动板的表面开设有与导向杆配合使用的导向孔。
[0013]通过设置导向槽、导向杆与第二移动板的配合使用，可以使得使用者在调节螺纹杆时，可以使得夹持板移动的较为稳定，不会发生晃动的现象，加强了夹持板在移动时的稳定性。
[0014]优选的，所述配合块的一侧固定连接有第一调节板，所述第一调节板的一侧设置有第二调节板，所述第二调节板的一侧固定连接于挡板的一侧。
[0015]优选的，所述滑杆的表面套设有弹簧，所述弹簧的一端固定连接于活动槽的内部，所述弹簧的另一端固定连接于配合块的一侧。
[0016]通过设置弹簧，可以使得对配合块进行回弹，使得配合块可以实现自动复位的目的，加强了对光栅夹持的牢固性。
[0017]与现有技术相比，本技术提供了一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备，具备以下有益效果：
[0018]1、该干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备，通过设置夹持机构，使用者可以通过调节螺纹杆使得夹持板进行移动，对光栅进行夹持，同时可以通过调节螺纹杆使得使用者可以夹持不同尺寸的光栅，并且方便使用者进行拆卸，加强了装置的便捷性。
[0019]2、该干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备，通过设置调节机构，使用者可以通过调节第一调节板的位置来方便使用者夹持光栅，进一步加强了对光栅夹持的稳定性与便捷性。
附图说明
[0020]图1为本技术的立体图；
[0021]图2为本技术的图1中A处的局部放大图；
[0022]图3为本技术的局部结构的第一立体图
[0023]图4为本技术的图3中B处的局部放大图；
[0024]图5为本技术的局部结构的立体图。
[0025]其中：1、底座；2、夹持机构；201、挡板；202、夹持板；203、调节槽； 204、螺纹杆；205、螺纹槽；206、第一移动板；207、螺纹孔；3、调节机构； 301、活动槽；302、滑杆；303、配合块；304、第一调节板；305、第二调节板；306、弹簧；4、滑槽；5、滑块；6、导向槽；7、导向杆；8、第二移动板；9、导向孔。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1
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4，一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备，包括底座1，底座1的顶部开设有滑槽4，滑槽4的内部滑动连接有滑块5，滑块5的顶部固定连接有夹持机构2，夹持机构2的一侧设置有调节机构3；
[0028]夹持机构2包括挡板201，挡板201的底部固定连接于底座1的顶部，滑块5的顶部固定连接有夹持板202；
[0029]调节机构3包括活动槽301，活动槽301开设于挡板201的一侧，活动槽301的内部固定连接有滑杆302，滑杆302的表面套设有配合块303。
[0030]通过上述技术方案，通过设置夹持机构2，使用者可以通过调节螺纹杆 204使得夹
持板202进行移动，对光栅进行夹持，同时可以通过调节螺纹杆 204使得使用者可以夹持不同尺寸的光栅，并且方便使用者进行拆卸，加强了装置的便捷性，通过设置调节机构3，使用者可以通过调节第一调节板304的位置来方便使用者夹持光栅，进一步加强了对光栅夹持的稳定性与便捷性。
[0031]具体的，底座1一侧的表面开设有调节槽203，调节槽203的内部转动连接有螺纹杆204，调节槽203的一侧开设有与螺纹杆204配合使用的螺纹槽 205。
[0032]通过上述技术方案，通过设置螺纹槽205与螺纹杆204的配合使用，可以方便使用者进行调节螺纹杆204，能够使得夹持板202进行移动，从而对光栅进行夹持。
[0033]具体的，螺纹杆204的表面套设有第一移动板206，第一移动板206的一侧与夹持板202固定连接，第一移动板206的表面开设有与螺纹杆204配合使用的螺纹孔207。
[0034]通过上述技术方案，通过设置第一移动板206可以带动夹持板202进行移动，并且螺纹孔207可以使得在螺纹杆204转动时，可以带动第一移动板 206进行移动。
[0035]具体的，底座1的一侧开设有导向槽6，导向槽6的内部固定连接有导向杆7，导向杆7的表面套设有与夹持板202配合使用的第二移动板8，第二移动板8的表面开设有与导向杆7配合使用的导向孔9。
[0036]通过上述技术方案，通过设置导向槽6、导向杆7与第二移动板8的配合使用，可以使得使用者在调节螺纹杆204时，可以使得夹持板202移动的较为稳定，不会发生晃动的现本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部开设有滑槽(4)，所述滑槽(4)的内部滑动连接有滑块(5)，所述滑块(5)的顶部固定连接有夹持机构(2)，所述夹持机构(2)的一侧设置有调节机构(3)；所述夹持机构(2)包括挡板(201)，所述挡板(201)的底部固定连接于底座(1)的顶部，所述滑块(5)的顶部固定连接有夹持板(202)；所述调节机构(3)包括活动槽(301)，所述活动槽(301)开设于挡板(201)的一侧，所述活动槽(301)的内部固定连接有滑杆(302)，所述滑杆(302)的表面套设有配合块(303)。2.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备，其特征在于：所述底座(1)一侧的表面开设有调节槽(203)，所述调节槽(203)的内部转动连接有螺纹杆(204)，所述调节槽(203)的一侧开设有与螺纹杆(204)配合使用的螺纹槽(205)。3.根据权利要求2所述的一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备，其特征在于：所述螺纹杆(204)的表面套设有第一移动板(206)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：高岩，叶东国，付志江，
申请(专利权)人：大连榕树光学有限公司，
类型：新型
国别省市：