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本实用新型涉及衍射光栅技术领域，且公开了一种干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设备，包括底座，所述底座的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的顶部固定连接有夹持机构，所述夹持机构的一侧设置有调节机构。该干法刻蚀衍射光栅制作用夹持设...
该专利属于大连榕树光学有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连榕树光学有限公司授权不得商用。

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