一种检测硅片边缘状况的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种检测硅片边缘状况的装置，包括平台，所述的平台上端的两侧分别转动安装有手轮和真空吸盘，所述的手轮与真空吸盘之间传动连接，所述的真空吸盘随着手轮的转动而转动，所述的平台上端位于真空吸盘的前方竖直安装有一升降气缸，该升降气缸的活塞杆上安装有对中块，所述的对中块的后端设有圆环板，该圆环板套在真空吸盘外，所述的圆环板的后端开设有缺口，所述的圆环板上方设置有电子放大镜。本实用新型专利技术解决了人眼检查容易疲劳，以及效率低下等问题，能更方便快捷地将硅片边缘的状况展现出来，提供全方位的视觉效果；硅片能够很好的显示出来，并提供相片保存。并提供相片保存。并提供相片保存。

【技术实现步骤摘要】
一种检测硅片边缘状况的装置


[0001]本技术涉及硅片检测
，特别是涉及一种检测硅片边缘状况的装置。

技术介绍

[0002]目前，硅片的检测大多是利用目测或手持10倍放大镜对硅片边缘情况进行检查，缺点是放大倍数不够，清晰度差，容易视觉疲劳；不适用较多数量硅片检测，且不利于保存。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是提供一种检测硅片边缘状况的装置，解决了人眼检查容易疲劳，以及效率低下等问题，能更方便快捷地将硅片边缘的状况展现出来，提供全方位的视觉效果；硅片能够很好的显示出来，并提供相片保存。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种检测硅片边缘状况的装置，包括平台，所述的平台上端的两侧分别转动安装有手轮和真空吸盘，所述的手轮与真空吸盘之间传动连接，所述的真空吸盘随着手轮的转动而转动，所述的平台上端位于真空吸盘的前方竖直安装有一升降气缸，该升降气缸的活塞杆上安装有对中块，所述的对中块的后端设有圆环板，该圆环板套在真空吸盘外，所述的圆环板的后端开设有缺口，所述的圆环板上方设置有电子放大本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测硅片边缘状况的装置，包括平台(1)，其特征在于：所述的平台(1)上端的两侧分别转动安装有手轮(7)和真空吸盘(9)，所述的手轮(7)与真空吸盘(9)之间传动连接，所述的真空吸盘(9)随着手轮(7)的转动而转动，所述的平台(1)上端位于真空吸盘(9)的前方竖直安装有一升降气缸(4)，该升降气缸(4)的活塞杆上安装有对中块(2)，所述的对中块(2)的后端设有圆环板(15)，该圆环板(15)套在真空吸盘(9)外，所述的圆环板(15)的后端开设有缺口(17)，所述的圆环板(15)上方设置有电子放大镜(8)。2.根据权利要求1所述的一种检测硅片边缘状况的装置，其特征在于：所述的平台(1)上端的两侧各安装有一转动支座(3)，每个转动支座(3)上端均转动安装有一皮带轮(6)，其中一个皮带轮(6)上端安装有手轮(7)，另一个皮带轮(6)上端安装有真空吸盘(9)，两个皮...

【专利技术属性】
技术研发人员：周峰，梁兴勃，潘建平，张海英，沈海潮，
申请(专利权)人：浙江金瑞泓科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：